Sputter metesu materijali koji se koriste za taloženje tankih filmova na podloge tokom procesa fizičkog taloženja parom (PVD).Ciljni materijal je bombardiran ionima visoke energije, uzrokujući izbacivanje atoma sa površine mete.Ovi raspršeni atomi se zatim talože na supstrat, formirajući tanak film.Mete za raspršivanje se obično koriste u proizvodnji poluvodiča, solarnih ćelija i drugih elektronskih uređaja.Obično se izrađuju od metala, legura ili spojeva koji se biraju na osnovu željenih svojstava nanesenog filma.

Na proces prskanja utiče nekoliko parametara, uključujući:

1. Snaga raspršivanja: Količina snage primijenjene tokom procesa raspršivanja će utjecati na energiju raspršenih jona, čime će utjecati na brzinu raspršivanja.

2. Pritisak gasa za raspršivanje: Pritisak raspršenog gasa u komori utiče na prenos momenta raspršenih jona, čime utiče na brzinu raspršivanja i performanse filma.

3. Svojstva mete: Fizička i hemijska svojstva mete za raspršivanje, kao što su njen sastav, tvrdoća, tačka topljenja, itd., mogu uticati na proces raspršivanja i performanse nanesenog filma.

4. Udaljenost između mete i supstrata: Udaljenost između mete za raspršivanje i supstrata će uticati na putanju i energiju raspršenih atoma, čime će uticati na brzinu taloženja i uniformnost filma.

5. Gustina snage: Gustina snage primijenjena na ciljnu površinu utiče na brzinu raspršivanja i efikasnost procesa raspršivanja.

Pažljivom kontrolom i optimizacijom ovih parametara, proces raspršivanja se može prilagoditi za postizanje željenih svojstava filma i stope taloženja.