Распыляльныя мішэнігэта матэрыялы, якія выкарыстоўваюцца для нанясення тонкіх плёнак на падкладкі ў працэсе фізічнага нанясення з паравай фазы (PVD).Матэрыял мішэні падвяргаецца бамбардзіроўцы іёнамі высокай энергіі, у выніку чаго атамы выкідваюцца з паверхні мішэні.Затым гэтыя распыленыя атамы асаджваюцца на падкладку, утвараючы тонкую плёнку.Мішэні для распылення звычайна выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, сонечных батарэй і іншых электронных прылад.Як правіла, яны вырабляюцца з металаў, сплаваў або злучэнняў, якія падбіраюцца ў залежнасці ад жаданых уласцівасцяў нанесенай плёнкі.

На працэс напылення ўплывае некалькі параметраў, у тым ліку:

1. Магутнасць распылення: магутнасць, якая ўжываецца ў працэсе распылення, будзе ўплываць на энергію распыленых іёнаў, тым самым уплываючы на ​​хуткасць распылення.

2. Ціск распыляльнага газу: ціск распыляльнага газу ў камеры ўплывае на перадачу імпульсу распыленых іёнаў, тым самым уплываючы на ​​хуткасць распылення і прадукцыйнасць плёнкі.

3. Уласцівасці мішэні: фізічныя і хімічныя ўласцівасці мішэні для напылення, такія як яе склад, цвёрдасць, тэмпература плаўлення і г.д., могуць уплываць на працэс напылення і прадукцыйнасць нанесенай плёнкі.

4. Адлегласць паміж мішэнню і падкладкай: адлегласць паміж мішэнню для распылення і падкладкай будзе ўплываць на траекторыю і энергію распыленых атамаў, тым самым уплываючы на ​​хуткасць нанясення і аднастайнасць плёнкі.

5. Шчыльнасць магутнасці: шчыльнасць магутнасці, прымененая да паверхні мішэні, уплывае на хуткасць распылення і эфектыўнасць працэсу напылення.

Уважліва кантралюючы і аптымізуючы гэтыя параметры, можна наладзіць працэс напылення для дасягнення жаданых уласцівасцей плёнкі і хуткасці нанясення.