Мішэнь для напылення з тытана высокай чысціні для вакуумнага пакрыцця
Мішэні для распылення - гэта матэрыялы высокай чысціні, якія выкарыстоўваюцца ў працэсах фізічнага нанясення з паравай фазы (PVD), у прыватнасці ў тэхналогіі распылення.Гэтыя матэрыялы выкарыстоўваюцца для фарміравання тонкіх плёнак на падкладках у розных галінах прамысловасці, уключаючы вытворчасць паўправаднікоў, аптычных пакрыццяў і нанясенне тонкіх плёнак для электронных прылад.
Матэрыялы мішэняў для распылення могуць вырабляцца з розных элементаў і злучэнняў, уключаючы металы, сплавы, аксіды і нітрыды.Выбар матэрыялу мішэні для распылення залежыць ад канкрэтных уласцівасцей, неабходных для тонкаплёнкавага пакрыцця, такіх як электраправоднасць, аптычныя ўласцівасці, цвёрдасць і хімічная ўстойлівасць.
Агульныя мішэні для распылення ўключаюць такія металы, як тытан, алюміній і медзь, а таксама такія злучэнні, як аксід індыя-волава (ITO) і розныя аксіды металаў.Выбар адпаведнага матэрыялу мішэні для напылення вельмі важны для дасягнення жаданых характарыстык і прадукцыйнасці тонкаплёнкавых пакрыццяў.
Мішэні для распылення бываюць розных памераў у залежнасці ад канкрэтных патрабаванняў працэсу нанясення тонкіх плёнак і абсталявання для распылення.Памер распыляльнай мішэні можа вар'іравацца ад некалькіх сантыметраў да дзясяткаў сантыметраў у дыяметры, таўшчыня таксама можа быць рознай.
Памер мішэні для распылення вызначаецца такімі фактарамі, як памер падкладкі, на якую трэба нанесці пакрыццё, канфігурацыя сістэмы распылення, а таксама жаданая хуткасць і аднастайнасць нанясення.Акрамя таго, памер мішэні для распылення можа залежаць ад асаблівых патрабаванняў прымянення тонкай плёнкі, такіх як плошча пакрыцця і агульныя параметры працэсу.
У рэшце рэшт, памер мішэні для распылення выбіраецца так, каб забяспечыць эфектыўнае і раўнамернае нанясенне плёнкі на падкладку, задавальняючы канкрэтныя патрэбы працэсу нанясення тонкаплёнкавага пакрыцця ў вытворчасці паўправаднікоў, аптычных пакрыццяў і іншых звязаных з імі прылажэннях.
Ёсць некалькі спосабаў павялічыць хуткасць напылення ў працэсе напылення:
1. Аптымізацыя магутнасці і ціску: Рэгуляванне параметраў магутнасці і ціску ў сістэме распылення можа паўплываць на хуткасць распылення.Павелічэнне магутнасці і аптымізацыя ўмоў ціску могуць павялічыць хуткасць распылення, што прывядзе да больш хуткага нанясення тонкай плёнкі.
2. Матэрыял і геаметрыя мішэні: выкарыстанне мішэняў для распылення з аптымізаваным складам матэрыялу і геаметрыяй можа палепшыць хуткасць распылення.Высакаякасныя, добра спраектаваныя мішэні для распылення могуць павысіць эфектыўнасць распылення і прывесці да больш высокай хуткасці нанясення.
3. Падрыхтоўка паверхні мішэні: належная ачыстка і кандыцыянаванне паверхні мішэні для распылення можа спрыяць павелічэнню хуткасці распылення.Перакананне, што паверхня мішэні не змяшчае забруджванняў і аксідаў, можа палепшыць эфектыўнасць распылення.
4. Тэмпература падкладкі: Кантроль тэмпературы падкладкі можа паўплываць на хуткасць распылення.У некаторых выпадках павышэнне тэмпературы падкладкі ў пэўным дыяпазоне можа прывесці да павелічэння хуткасці распылення і паляпшэння якасці плёнкі.
5. Паток і склад газу: аптымізацыя патоку і складу газу ў камеры распылення можа паўплываць на хуткасць распылення.Рэгуляванне хуткасці патоку газу і выкарыстанне адпаведных газавых сумесяў для распылення можа павысіць эфектыўнасць працэсу распылення.
Уважліва ўлічваючы гэтыя фактары і аптымізуючы параметры працэсу напылення, можна павялічыць хуткасць напылення і павысіць агульную эфектыўнасць нанясення тонкай плёнкі пры напыленні.
WeChat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
