أهداف التفلهي مواد تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز أثناء عملية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD).يتم قصف المادة المستهدفة بأيونات عالية الطاقة، مما يؤدي إلى قذف الذرات من السطح المستهدف.يتم بعد ذلك ترسيب هذه الذرات المرشوشة على الركيزة، لتشكل طبقة رقيقة.تُستخدم أهداف الرش بشكل شائع في إنتاج أشباه الموصلات والخلايا الشمسية والأجهزة الإلكترونية الأخرى.وهي عادة ما تكون مصنوعة من معادن أو سبائك أو مركبات يتم اختيارها بناءً على الخصائص المطلوبة للفيلم المترسب.

تتأثر عملية الاخرق بعدة عوامل، بما في ذلك:

1. قوة الاخرق: كمية الطاقة المطبقة أثناء عملية الاخرق سوف تؤثر على طاقة الأيونات الاخرق، وبالتالي تؤثر على معدل الاخرق.

2. ضغط الغاز المتخرق: يؤثر ضغط الغاز المتخرق في الغرفة على نقل زخم الأيونات المتخرقة، وبالتالي يؤثر على معدل التخرق وأداء الفيلم.

3. خصائص الهدف: يمكن أن تؤثر الخصائص الفيزيائية والكيميائية لهدف الرش، مثل تركيبه وصلابته ونقطة الانصهار وما إلى ذلك، على عملية الرش وأداء الفيلم المترسب.

4. المسافة بين الهدف والركيزة: ستؤثر المسافة بين هدف الرش والركيزة على مسار وطاقة الذرات المتناثرة، وبالتالي تؤثر على معدل الترسيب وتوحيد الفيلم.

5. كثافة الطاقة: تؤثر كثافة الطاقة المطبقة على السطح المستهدف على معدل الرش وكفاءة عملية الرش.

من خلال التحكم الدقيق في هذه المعلمات وتحسينها، يمكن تصميم عملية الرش لتحقيق خصائص الفيلم المطلوبة ومعدلات الترسيب.