هدف رش التيتانيوم عالي النقاء لطلاء الفراغ
أهداف الرش هي مواد عالية النقاء تستخدم في عمليات ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، وتحديداً تكنولوجيا الرش. تُستخدم هذه المواد لتشكيل أغشية رقيقة على ركائز في مجموعة متنوعة من الصناعات، بما في ذلك تصنيع أشباه الموصلات، والطلاءات البصرية، وترسيب الأغشية الرقيقة للأجهزة الإلكترونية.
يمكن تصنيع المواد المستهدفة بالرش من مجموعة متنوعة من العناصر والمركبات، بما في ذلك المعادن والسبائك والأكاسيد والنيتريدات. يعتمد اختيار المادة المستهدفة للرش على الخصائص المحددة المطلوبة لطلاء الأغشية الرقيقة، مثل التوصيل الكهربائي، والخصائص البصرية، والصلابة، والمقاومة الكيميائية.
تشمل أهداف الرش الشائعة المعادن مثل التيتانيوم والألومنيوم والنحاس، بالإضافة إلى مركبات مثل أكسيد القصدير الإنديوم (ITO) وأكاسيد المعادن المختلفة. يعد اختيار المادة المستهدفة المناسبة للرش أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق الخصائص والأداء المطلوب لطبقات الأغشية الرقيقة.
تأتي أهداف الرش بأحجام مختلفة اعتمادًا على المتطلبات المحددة لعملية ترسيب الأغشية الرقيقة ومعدات الرش. يمكن أن يتراوح حجم هدف الرش من بضعة سنتيمترات إلى عشرات السنتيمترات في القطر، ويمكن أن يختلف سمكه أيضًا.
يتم تحديد حجم هدف الاخرق بعوامل مثل حجم الركيزة المراد طلاءها، وتكوين نظام الاخرق، ومعدل الترسيب المطلوب والتوحيد. بالإضافة إلى ذلك، قد يتأثر حجم هدف الاخرق بالمتطلبات المحددة لتطبيق الأغشية الرقيقة، مثل المنطقة المراد طلاءها ومعلمات العملية الشاملة.
في النهاية، يتم تحديد حجم هدف الرش لضمان ترسيب فعال وموحد للفيلم على الركيزة، وتلبية الاحتياجات المحددة لعملية طلاء الأغشية الرقيقة في تصنيع أشباه الموصلات، والطلاءات البصرية والتطبيقات الأخرى ذات الصلة.
هناك عدة طرق لزيادة معدل الاخرق في عملية الاخرق:
1. تحسين الطاقة والضغط: يمكن أن يؤثر ضبط معلمات الطاقة والضغط في نظام الاخرق على معدل الاخرق. زيادة الطاقة وتحسين ظروف الضغط يمكن أن يعزز معدل الاخرق، مما يؤدي إلى ترسيب أسرع للفيلم الرقيق.
2. المواد المستهدفة والهندسة: يمكن أن يؤدي استخدام أهداف الرش مع تكوين المواد الأمثل والهندسة إلى تحسين معدل الرش. يمكن لأهداف الرش عالية الجودة والمصممة بشكل جيد أن تعزز كفاءة الرش وتؤدي إلى معدلات ترسيب أعلى.
3. إعداد السطح المستهدف: يمكن أن يساهم التنظيف والتكييف المناسبين للسطح المستهدف المتطاير في زيادة معدلات الرش. ضمان أن السطح المستهدف خالي من الملوثات والأكاسيد يمكن أن يحسن كفاءة الاخرق.
4. درجة حرارة الركيزة: التحكم في درجة حرارة الركيزة يمكن أن يؤثر على معدل الاخرق. في بعض الحالات، يمكن أن يؤدي رفع درجة حرارة الركيزة ضمن نطاق معين إلى زيادة معدلات الاخرق وتحسين جودة الفيلم.
5. تدفق الغاز وتكوينه: تحسين تدفق الغاز وتكوينه في غرفة الاخرق يمكن أن يؤثر على معدل الاخرق. ضبط معدلات تدفق الغاز واستخدام مخاليط الغاز الاخرق المناسبة يمكن أن يعزز كفاءة عملية الاخرق.
من خلال النظر بعناية في هذه العوامل وتحسين معلمات عملية الاخرق، فمن الممكن زيادة معدل الاخرق وتحسين الكفاءة العامة لترسيب الأغشية الرقيقة في تطبيقات الاخرق.
ويتشات: 15138768150
واتساب: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
