Hoë suiwer Ioon inplanting wolfram filament

Kort beskrywing:

Hoë-suiwer ioon-inplanting wolfram filament is 'n filament wat gebruik word in ioon inplanting toerusting. Dit is ontwerp om die strawwe toestande van die ioon-inplantingsproses te weerstaan, waar ione versnel en in die teikenmateriaal ingespuit word.


Produkbesonderhede

Produk Tags

Produkbeskrywings

Ioon-inplantings-wolframdraad is 'n sleutelkomponent wat in ioon-inplantingsmasjiene gebruik word, hoofsaaklik in halfgeleiervervaardigingsprosesse. Hierdie tipe wolframdraad speel 'n belangrike rol in halfgeleiertoerusting, en die kwaliteit en werkverrigting daarvan beïnvloed die doeltreffendheid van IC-proseslyne direk. Ioon-inplantingsmasjien is 'n sleuteltoerusting in die vervaardigingsproses van VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), en die rol van wolframdraad as 'n ioonbron kan nie geïgnoreer word nie. ‌

Produkspesifikasies

Afmetings Soos jou tekeninge
Plek van oorsprong Luoyang, Henan
Handelsnaam FGD
Toepassing halfgeleier
Oppervlakte Swart vel, alkali was, motor glans, gepoleer
Reinheid 99,95%
Materiaal W1
Digtheid 19,3 g/cm3
Uitvoering standaarde GB/T 4181-2017
Smeltpunt 3400 ℃
Onreinheid inhoud 0,005%
Ioon inplanting van wolfram filament

Chemiese samestelling

Hoofkomponente

W>99.95%

Onreinheid inhoud≤

Pb

0,0005

Fe

0,0020

S

0,0050

P

0,0005

C

0,01

Cr

0,0010

Al

0,0015

Cu

0,0015

K

0,0080

N

0,003

Sn

0,0015

Si

0,0020

Ca

0,0015

Na

0,0020

O

0,008

Ti

0,0010

Mg

0,0010

Verdampingstempo van vuurvaste metale

Dampdruk Van Vuurvaste Metale

Hoekom ons kies

1. Ons fabriek is geleë in Luoyang City, Henan Provinsie. Luoyang is 'n produksiegebied vir wolfram- en molibdeenmyne, so ons het absolute voordele in kwaliteit en prys;

2. Ons maatskappy het tegniese personeel met meer as 15 jaar ondervinding, en ons verskaf doelgerigte oplossings en voorstelle vir elke kliënt se behoeftes.

3. Al ons produkte ondergaan streng kwaliteit inspeksie voordat dit uitgevoer word.

4. As jy gebrekkige goedere ontvang, kan jy ons kontak vir 'n terugbetaling.

Ioon inplanting van wolfram filament (2)

Produksievloei

1.Raw materiaal seleksie

(Kies wolfram-grondstowwe van hoë gehalte om die suiwerheid en meganiese eienskappe van die finale produk te verseker. ‌)

2. Smelt en Suiwering

(Geselekteerde wolfram-grondstowwe word in 'n beheerde omgewing gesmelt om onsuiwerhede te verwyder en die verlangde suiwerheid te bereik.)

3. Draadtrekking

(Gesuiwerde wolframmateriaal word uitgedruk of deur 'n reeks matryse getrek om die vereiste draaddiameter en meganiese eienskappe te bereik.)

4.Uitgloeiing

(Die getrekte wolfraamdraad word uitgegloei om interne spanning uit te skakel en die rekbaarheid en verwerkingsprestasie daarvan te verbeter ‌)

5. Ioon-inplantingsproses

In hierdie spesifieke geval kan die wolfraamfilament self 'n ioon-inplantingsproses ondergaan, waarin ione in die oppervlak van die wolframfilament ingespuit word om sy eienskappe te verander om werkverrigting in die iooninplanter te verbeter.)

Aansoeke

In die halfgeleierskyfieproduksieproses is iooninplantingsmasjien een van die sleuteltoerusting wat gebruik word om die skyfiekringdiagram van die masker na die silikonwafer oor te dra en die teikenskyfiefunksie te bereik. Hierdie proses sluit stappe in soos chemiese meganiese polering, dunfilmafsetting, fotolitografie, ets en iooninplanting, waaronder iooninplanting een van die belangrike middele is om die werkverrigting van silikonwafels te verbeter. Die toepassing van ioon-inplantingsmasjiene beheer effektief die tyd en koste van skyfieproduksie, terwyl die werkverrigting en betroubaarheid van skyfies verbeter word. ‌

Iooninplanting van wolframfilament (3)

Sertifikate

Getuigskrifte

水印1
水印2

Versendingsdiagram

1
2
3
Iooninplanting van wolframfilament (4)

Gereelde vrae

Sal wolfraamdraad tydens iooninplanting besoedel word?

Ja, wolframfilamente is vatbaar vir kontaminasie tydens die ioon-inplantingsproses. Besoedeling kan voorkom as gevolg van 'n verskeidenheid faktore, soos oorblywende gasse, deeltjies of onsuiwerhede wat in die ioon-inplantingskamer voorkom. Hierdie kontaminante kan aan die oppervlak van die wolframfilament kleef, wat die suiwerheid daarvan beïnvloed en moontlik die werkverrigting van die ioon-inplantingsproses beïnvloed. Daarom is die handhawing van 'n skoon en beheerde omgewing binne die ioon-inplantingskamer van kritieke belang om die risiko van kontaminasie te minimaliseer en die integriteit van die wolframfilament te verseker. Gereelde skoonmaak- en instandhoudingsprosedures kan ook help om die potensiaal vir kontaminasie tydens ioon-inplanting te verminder.

Sal wolfraamdraad vervorm tydens iooninplanting?

Wolframdraad is bekend vir sy hoë smeltpunt en uitstekende meganiese eienskappe, wat dit bestand maak teen vervorming onder normale ioon-inplantingstoestande. Die hitte wat tydens hoë-energie ioonbombardement en iooninplanting gegenereer word, kan egter met verloop van tyd vervorming veroorsaak, veral as prosesparameters nie noukeurig beheer word nie.

Faktore soos die intensiteit en duur van die ioonstraal en die temperatuur en spanningsvlakke wat deur die wolframdraad ervaar word, kan almal bydra tot die potensiaal vir vervorming. Boonop sal enige onsuiwerhede of defekte in die wolframdraad die vatbaarheid vir vervorming vererger.

Om die risiko van vervorming te verminder, moet prosesparameters noukeurig gemonitor en beheer word, die suiwerheid en kwaliteit van die wolframfilament moet verseker word, en toepaslike instandhoudings- en inspeksieprotokolle moet geïmplementeer word vir die iooninplantingstoerusting. Gereelde assessering van die toestand en werkverrigting van wolframdraad kan help om enige tekens van vervorming te identifiseer en regstellende stappe te neem soos nodig.


  • Vorige:
  • Volgende:

  • Skryf jou boodskap hier en stuur dit vir ons