Hoë suiwer Ioon inplanting wolfram filament
Ioon-inplantings-wolframdraad is 'n sleutelkomponent wat in ioon-inplantingsmasjiene gebruik word, hoofsaaklik in halfgeleiervervaardigingsprosesse. Hierdie tipe wolframdraad speel 'n belangrike rol in halfgeleiertoerusting, en die kwaliteit en werkverrigting daarvan beïnvloed die doeltreffendheid van IC-proseslyne direk. Ioon-inplantingsmasjien is 'n sleuteltoerusting in die vervaardigingsproses van VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), en die rol van wolframdraad as 'n ioonbron kan nie geïgnoreer word nie.
| Afmetings | Soos jou tekeninge |
| Plek van oorsprong | Luoyang, Henan |
| Handelsnaam | FGD |
| Toepassing | halfgeleier |
| Oppervlakte | Swart vel, alkali was, motor glans, gepoleer |
| Reinheid | 99,95% |
| Materiaal | W1 |
| Digtheid | 19,3 g/cm3 |
| Uitvoering standaarde | GB/T 4181-2017 |
| Smeltpunt | 3400 ℃ |
| Onreinheid inhoud | 0,005% |
| Hoofkomponente | W＞99.95% |
| Onreinheid inhoud≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Ons fabriek is geleë in Luoyang City, Henan Provinsie. Luoyang is 'n produksiegebied vir wolfram- en molibdeenmyne, so ons het absolute voordele in kwaliteit en prys;
2. Ons maatskappy het tegniese personeel met meer as 15 jaar ondervinding, en ons verskaf doelgerigte oplossings en voorstelle vir elke kliënt se behoeftes.
3. Al ons produkte ondergaan streng kwaliteit inspeksie voordat dit uitgevoer word.
4. As jy gebrekkige goedere ontvang, kan jy ons kontak vir 'n terugbetaling.
1.Raw materiaal seleksie
(Kies wolfram-grondstowwe van hoë gehalte om die suiwerheid en meganiese eienskappe van die finale produk te verseker. )
2. Smelt en Suiwering
(Geselekteerde wolfram-grondstowwe word in 'n beheerde omgewing gesmelt om onsuiwerhede te verwyder en die verlangde suiwerheid te bereik.)
3. Draadtrekking
(Gesuiwerde wolframmateriaal word uitgedruk of deur 'n reeks matryse getrek om die vereiste draaddiameter en meganiese eienskappe te bereik.)
4.Uitgloeiing
(Die getrekte wolfraamdraad word uitgegloei om interne spanning uit te skakel en die rekbaarheid en verwerkingsprestasie daarvan te verbeter )
5. Ioon-inplantingsproses
In hierdie spesifieke geval kan die wolfraamfilament self 'n ioon-inplantingsproses ondergaan, waarin ione in die oppervlak van die wolframfilament ingespuit word om sy eienskappe te verander om werkverrigting in die iooninplanter te verbeter.)
In die halfgeleierskyfieproduksieproses is iooninplantingsmasjien een van die sleuteltoerusting wat gebruik word om die skyfiekringdiagram van die masker na die silikonwafer oor te dra en die teikenskyfiefunksie te bereik. Hierdie proses sluit stappe in soos chemiese meganiese polering, dunfilmafsetting, fotolitografie, ets en iooninplanting, waaronder iooninplanting een van die belangrike middele is om die werkverrigting van silikonwafels te verbeter. Die toepassing van ioon-inplantingsmasjiene beheer effektief die tyd en koste van skyfieproduksie, terwyl die werkverrigting en betroubaarheid van skyfies verbeter word.
Ja, wolframfilamente is vatbaar vir kontaminasie tydens die ioon-inplantingsproses. Besoedeling kan voorkom as gevolg van 'n verskeidenheid faktore, soos oorblywende gasse, deeltjies of onsuiwerhede wat in die ioon-inplantingskamer voorkom. Hierdie kontaminante kan aan die oppervlak van die wolframfilament kleef, wat die suiwerheid daarvan beïnvloed en moontlik die werkverrigting van die ioon-inplantingsproses beïnvloed. Daarom is die handhawing van 'n skoon en beheerde omgewing binne die ioon-inplantingskamer van kritieke belang om die risiko van kontaminasie te minimaliseer en die integriteit van die wolframfilament te verseker. Gereelde skoonmaak- en instandhoudingsprosedures kan ook help om die potensiaal vir kontaminasie tydens ioon-inplanting te verminder.
Wolframdraad is bekend vir sy hoë smeltpunt en uitstekende meganiese eienskappe, wat dit bestand maak teen vervorming onder normale ioon-inplantingstoestande. Die hitte wat tydens hoë-energie ioonbombardement en iooninplanting gegenereer word, kan egter met verloop van tyd vervorming veroorsaak, veral as prosesparameters nie noukeurig beheer word nie.
Faktore soos die intensiteit en duur van die ioonstraal en die temperatuur en spanningsvlakke wat deur die wolframdraad ervaar word, kan almal bydra tot die potensiaal vir vervorming. Boonop sal enige onsuiwerhede of defekte in die wolframdraad die vatbaarheid vir vervorming vererger.
Om die risiko van vervorming te verminder, moet prosesparameters noukeurig gemonitor en beheer word, die suiwerheid en kwaliteit van die wolframfilament moet verseker word, en toepaslike instandhoudings- en inspeksieprotokolle moet geïmplementeer word vir die iooninplantingstoerusting. Gereelde assessering van die toestand en werkverrigting van wolframdraad kan help om enige tekens van vervorming te identifiseer en regstellende stappe te neem soos nodig.
