Beam ion air to ṣe pataki kan wa sinu ohun elo ti o lagbara, ion tan ina si awọn ọta ohun elo ti o lagbara tabi awọn ohun elo sinu dada ohun elo ti o lagbara, iṣẹlẹ yii ni a pe ni ion beam sputtering; ati nigbati awọn ohun elo ti o lagbara, dada ti awọn ohun elo to lagbara bounced pada, tabi jade ti awọn ohun elo to lagbara si awọn iyalenu wọnyi ni a npe ni tuka; Iyatọ miiran wa ni pe lẹhin ti ion tan ina si ohun elo ti o lagbara nipasẹ ohun elo ti o lagbara ati dinku resistance laiyara si isalẹ, ati nikẹhin duro ni awọn ohun elo ti o lagbara, iṣẹlẹ yii ni a npe ni ion gbin.
Ilana fifin ion:
Jẹ iru imọ-ẹrọ iyipada dada ohun elo eyiti o ti dagbasoke ni iyara ati lilo pupọ ni agbaye ni awọn ọdun 30 sẹhin. Ilana ipilẹ ni lati lo agbara ti iṣẹlẹ ion beam isẹlẹ si aṣẹ ti ohun elo 100keV si ion tan ina ati awọn ohun elo ti awọn ọta tabi awọn ohun elo yoo jẹ lẹsẹsẹ ti awọn ibaraenisepo ti ara ati kemikali, ipadanu agbara ion isẹlẹ naa diėdiẹ, iduro to kẹhin ninu awọn ohun elo ti, ati ki o fa awọn be ati awọn ini ti awọn ohun elo dada tiwqn, ayipada. Ni ibere lati je ki awọn dada-ini ti awọn ohun elo, tabi lati gba diẹ ninu awọn titun-ini. Imọ-ẹrọ tuntun nitori awọn anfani alailẹgbẹ rẹ, ti wa ninu ohun elo semikondokito doped, irin, seramiki, polima, iyipada dada ni lilo pupọ, ti ṣaṣeyọri awọn anfani aje ati awujọ nla.
Gbigbe Ion bi imọ-ẹrọ doping pataki ni imọ-ẹrọ itanna micro ṣe ipa pataki ni jijẹ awọn ohun-ini dada ti awọn ohun elo naa. Imọ-ẹrọ fifin ion jẹ iṣẹ iwọn otutu ti o ga pupọ ati resistance si resistance ipata kemikali ti ohun elo naa. Nitorina, awọn ẹya akọkọ ti iyẹwu ionization jẹ ti tungsten, molybdenum tabi awọn ohun elo graphite. Awọn ọdun Gemei ti iwadii ile-iṣẹ ati iṣelọpọ nipasẹ ion ion ti ohun elo tungsten molybdenum, ilana iṣelọpọ ni iduroṣinṣin ati iriri ọlọrọ.