Ga ti nw Ion gbin tungsten filament
Ion ifibọ tungsten waya jẹ paati bọtini ti a lo ninu awọn ẹrọ ifibọ ion, nipataki ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. Iru okun waya tungsten yii ṣe ipa pataki ninu ohun elo semikondokito, ati didara ati iṣẹ rẹ taara ni ipa lori ṣiṣe ti awọn laini ilana IC. Ion fifi sori ẹrọ jẹ ohun elo bọtini ni ilana iṣelọpọ ti VLSI (Pircuit Integrated Scale Large Scale), ati ipa ti okun waya tungsten bi orisun ion ko le ṣe akiyesi. .
| Awọn iwọn | Bi awọn aworan rẹ |
| Ibi ti Oti | Luoyang, Henan |
| Orukọ Brand | FGD |
| Ohun elo | semikondokito |
| Dada | Awo dudu, ifo alkali, imole oko, didan |
| Mimo | 99.95% |
| Ohun elo | W1 |
| iwuwo | 19.3g/cm3 |
| Awọn ajohunše ipaniyan | GB/T 4181-2017 |
| Ojuami yo | 3400 ℃ |
| Akoonu aimọ | 0.005% |
| Awọn paati akọkọ | W 99.95% |
| Akoonu aimọ≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Ile-iṣẹ wa wa ni Ilu Luoyang, Henan Province. Luoyang jẹ agbegbe iṣelọpọ fun tungsten ati awọn maini molybdenum, nitorinaa a ni awọn anfani pipe ni didara ati idiyele;
2. Ile-iṣẹ wa ni awọn oṣiṣẹ imọ-ẹrọ pẹlu diẹ sii ju ọdun 15 ti iriri, ati pe a pese awọn iṣeduro ti a fojusi ati awọn imọran fun awọn aini alabara kọọkan.
3. Gbogbo awọn ọja wa ṣe ayẹwo didara didara ṣaaju ki o to okeere.
4. Ti o ba gba awọn ọja ti ko ni abawọn, o le kan si wa fun agbapada.
Aṣayan ohun elo 1.Raw
(Yan awọn ohun elo aise tungsten didara giga lati rii daju mimọ ati awọn ohun-ini ẹrọ ti ọja ikẹhin.)
2. Yo ati Mimo
(Awọn ohun elo aise tungsten ti a yan ni yo ni agbegbe iṣakoso lati yọ awọn aimọ kuro ati ṣaṣeyọri mimọ ti o fẹ.)
3. Iyaworan waya
(Awọn ohun elo tungsten ti a sọ di mimọ ti yọ jade tabi fa nipasẹ lẹsẹsẹ awọn ku lati ṣaṣeyọri iwọn ila opin waya ti a beere ati awọn ohun-ini ẹrọ.)
4.Annealing
(Okun waya tungsten ti a fa ti wa ni itusilẹ lati yọkuro aapọn inu ati ilọsiwaju ductility rẹ ati iṣẹ ṣiṣe )
5. Ion Implantation ilana
Ni ọran yii pato, filament tungsten funrararẹ le ṣe ilana ilana ion ion, ninu eyiti awọn ions ti wa ni itasi si oju ti filament tungsten lati yi awọn ohun-ini rẹ pada lati mu iṣẹ ṣiṣe ni imudara ion.)
Ninu ilana iṣelọpọ chirún semikondokito, ẹrọ ifibọ ion jẹ ọkan ninu ohun elo bọtini ti a lo lati gbe aworan iyaworan chirún lati iboju-boju si wafer ohun alumọni ati ṣaṣeyọri iṣẹ chirún ibi-afẹde. Ilana yii pẹlu awọn igbesẹ bii didan ẹrọ ti kemikali, ifisilẹ fiimu tinrin, fọtolithography, etching, ati ion gbin, laarin eyiti fifin ion jẹ ọkan ninu awọn ọna pataki lati mu iṣẹ ṣiṣe ti awọn wafers silikoni dara si. Ohun elo ti awọn ẹrọ ifibọ ion ni imunadoko ni iṣakoso akoko ati idiyele ti iṣelọpọ ërún, lakoko imudarasi iṣẹ ati igbẹkẹle ti awọn eerun igi. .
Bẹẹni, awọn filaments tungsten wa ni ifaragba si ibajẹ lakoko ilana gbin ion. Ibajẹ le waye nitori ọpọlọpọ awọn okunfa, gẹgẹbi awọn gaasi ti o ku, awọn patikulu, tabi awọn aimọ ti o wa ninu iyẹwu ion gbin. Awọn contaminants wọnyi le faramọ oju ti filament tungsten, ti o ni ipa lori mimọ rẹ ati ti o ni ipa ti o ni ipa lori iṣẹ ti ilana fifin ion. Nitorinaa, mimu agbegbe ti o mọ ati iṣakoso laarin iyẹwu ifisinu ion jẹ pataki lati dinku eewu ti idoti ati rii daju pe iduroṣinṣin ti filament tungsten. Ninu deede ati awọn ilana itọju le tun ṣe iranlọwọ lati dinku agbara fun idoti lakoko gbigbe ion.
Tungsten waya ni a mọ fun aaye yo ti o ga ati awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ, eyiti o jẹ ki o ni itara si abuku labẹ awọn ipo gbin ion deede. Bibẹẹkọ, ooru ti o waye lakoko bombardment ion agbara-giga ati gbin ion le fa ipalọlọ ni akoko pupọ, paapaa ti awọn ilana ilana ko ba ni iṣakoso ni pẹkipẹki.
Awọn okunfa bii kikankikan ati iye akoko ion beam ati iwọn otutu ati awọn ipele wahala ti o ni iriri nipasẹ okun waya tungsten le ṣe alabapin si agbara fun abuku. Ni afikun, eyikeyi aimọ tabi awọn abawọn ninu okun waya tungsten yoo mu ifaragba si abuku pọ si.
Lati dinku eewu ti ibajẹ, awọn ilana ilana gbọdọ wa ni abojuto ni pẹkipẹki ati iṣakoso, mimọ ati didara ti filament tungsten gbọdọ wa ni idaniloju, ati pe itọju ti o yẹ ati awọn ilana ayewo gbọdọ wa ni imuse fun ohun elo gbingbin. Ṣiṣayẹwo nigbagbogbo ipo ati iṣẹ ti waya tungsten le ṣe iranlọwọ idanimọ eyikeyi awọn ami ti iparun ati ṣe igbese atunṣe bi o ṣe nilo.
