וואַקוום יוואַפּעריישאַן טעכנאָלאָגיע פֿאַר מעטאַליזאַטיאָן ינוואַלווז דיפּאַזייטינג דין פילמס פון מעטאַל אויף סאַבסטרייץ ניצן אַ הויך וואַקוום סוויווע און אַ גשמיות פארע דעפּאַזישאַן (פּווד) פּראָצעס.אין דעם טעכנאָלאָגיע, אַ מעטאַל מקור מאַטעריאַל, אַזאַ ווי אַלומינום, גאָלד אָדער זילבער, איז העאַטעד אין אַ יוואַפּעריישאַן שיפל, קאָזינג עס צו יוואַפּערייט און דאַן קאַנדענס אויף די סאַבסטרייט צו פאָרעם אַ דין און מונדיר מעטאַל פילם.

די סטעפּס ינוואַלווד אין מעטאַליזאַטיאָן וואַקוום יוואַפּעריישאַן טעכנאָלאָגיע בכלל אַרייַננעמען:

1. צוגרייטונג: ריין די סאַבסטרייט צו זיין מעטאַלליזעד און שטעלן עס אין די וואַקוום קאַמער.

2. יוואַפּעריישאַן: שטעלן די מעטאַל מקור מאַטעריאַל אין אַ יוואַפּעריישאַן שיפל, אַזאַ ווי אַ טאַנגסטאַן שיפל, און היץ עס צו די יוואַפּעריישאַן טעמפּעראַטור אין אַ הויך וואַקוום סוויווע.ווען מעטאַל יוואַפּערייץ, עס באוועגט אין אַ גלייַך שורה צו די סאַבסטרייט.

3. דעפּאַזישאַן: מעטאַל פארע קאַנדענסיז אויף די סאַבסטרייט צו פאָרעם אַ דין פילם וואָס אַדכירז צו די ייבערפלאַך.

4. פילם גראָוט: די דעפּאַזישאַן פּראָצעס האלט ביז דער געוואלט מעטאַל פילם גרעב איז ריטשט.

5. סאַבסאַקוואַנט פּראַסעסינג: נאָך מעטאַליזאַטיאָן, די סאַבסטרייט קען אַנדערגאָו נאָך פּראַסעסינג סטעפּס, אַזאַ ווי אַנילינג אָדער קאָוטינג, צו פאַרבעסערן די פּראָפּערטיעס פון די מעטאַל פילם.

וואַקוום יוואַפּעריישאַן מעטאַלליזיישאַן טעכנאָלאָגיע איז וויידלי געניצט אין ינדאַסטריז אַזאַ ווי עלעקטראָניק, אָפּטיקס און אָטאַמאָוטיוו, ווו מעטאַל פילמס זענען געווענדט צו סאַבסטרייץ צו דערגרייכן קאַנדאַקטיוו, ריפלעקטיוו אָדער דעקאָראַטיווע פינישעס.