הויך ריינקייַט יאָן ימפּלאַנטיישאַן טאַנגסטאַן פאָדעם
יאָן ימפּלאַנטיישאַן טאַנגסטאַן דראָט איז אַ שליסל קאָמפּאָנענט געניצט אין יאָן ימפּלאַנטיישאַן מאשינען, דער הויפּט אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז. דעם טיפּ פון טאַנגסטאַן דראָט פיעסעס אַ וויכטיק ראָלע אין סעמיקאַנדאַקטער עקוויפּמענט, און זייַן קוואַליטעט און פאָרשטעלונג גלייך ווירקן די עפעקטיווקייַט פון IC פּראָצעס שורות. יאָן ימפּלאַנטיישאַן מאַשין איז אַ שליסל ויסריכט אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון VLSI (זייער גרויס סקאַלע ינטעגראַטעד קרייַז), און די ראָלע פון טאַנגסטאַן דראָט ווי אַ יאָן מקור קענען ניט זיין איגנאָרירט.
דימענשאַנז | ווי דיין דראַווינגס |
אָרט פון אָריגין | לויאַנג, הענאַן |
סאָרט נאָמען | פגד |
אַפּפּליקאַטיאָן | סעמיקאַנדאַקטער |
ייבערפלאַך | שוואַרץ הויט, אַלקאַלי וואַשן, מאַשין שייַנען, פּאַלישט |
ריינקייַט | 99.95% |
מאַטעריאַל | W1 |
געדיכטקייַט | 19.3g/cm3 |
דורכפירונג סטאַנדאַרדס | GB/T 4181-2017 |
מעלטינג פונט | 3400℃ |
תוכן טומאה | 0.005% |
הויפּט קאַמפּאָונאַנץ | W ~ 99.95% |
טומאה אינהאַלט≤ | |
Pb | 0.0005 |
Fe | 0.0020 |
S | 0.0050 |
P | 0.0005 |
C | 0.01 |
Cr | 0.0010 |
Al | 0.0015 |
Cu | 0.0015 |
K | 0.0080 |
N | 0.003 |
Sn | 0.0015 |
Si | 0.0020 |
Ca | 0.0015 |
Na | 0.0020 |
O | 0.008 |
Ti | 0.0010 |
Mg | 0.0010 |
1. אונדזער פאַבריק איז ליגן אין לוויאַנג סיטי, הענאַן פּראַווינס. Luoyang איז אַ פּראָדוקציע געגנט פֿאַר טאַנגסטאַן און מאָליבדענום מינעס, אַזוי מיר האָבן אַבסאָלוט אַדוואַנטידזשיז אין קוואַליטעט און פּרייַז;
2. אונדזער פירמע האט טעכניש פּערסאַנעל מיט איבער 15 יאָרן פון דערפאַרונג, און מיר צושטעלן טאַרגעטעד סאַלושאַנז און פֿירלייגן פֿאַר יעדער קונה ס באדערפענישן.
3. אַלע אונדזער פּראָדוקטן אַנדערגאָו שטרענג קוואַליטעט דורכקוק איידער זיי זענען יקספּאָרטאַד.
4. אויב איר באַקומען דעפעקטיווע סכוירע, איר קענען קאָנטאַקט אונדז פֿאַר אַ צוריקצאָל.
1. ראַ מאַטעריאַל סעלעקציע
(קלייַבן הויך-קוואַליטעט טאַנגסטאַן רוי מאַטעריאַלס צו ענשור די ריינקייַט און מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס פון די לעצט פּראָדוקט. )
2. מעלטינג און רייניקונג
(אויסגעקליבן טאַנגסטאַן רוי מאַטעריאַלס זענען צעלאָזן אין אַ קאַנטראָולד סוויווע צו באַזייַטיקן ימפּיוראַטיז און דערגרייכן די געוואלט ריינקייַט.)
3. דראָט צייכענונג
(פּוראַפייד טאַנגסטאַן מאַטעריאַל איז יקסטרודאַד אָדער ציען דורך אַ סעריע פון דייז צו דערגרייכן די פארלאנגט דראָט דיאַמעטער און מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס.)
4. אַנילינג
(די ציען טאַנגסטאַן דראָט איז אַנניילד צו עלימינירן ינערלעך דרוק און פֿאַרבעסערן זייַן דאַקטילאַטי און פּראַסעסינג פאָרשטעלונג )
5. יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס
אין דעם באַזונדער פאַל, די טאַנגסטאַן פאָדעם זיך קען דורכגיין אַן יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס, אין וואָס ייאַנז זענען ינדזשעקטיד אין די ייבערפלאַך פון די טאַנגסטאַן פאָדעם צו טוישן זייַן פּראָפּערטיעס צו פֿאַרבעסערן פאָרשטעלונג אין די יאָן ימפּלאַנטער.)
אין די פּראָדוקציע פּראָצעס פון סעמיקאַנדאַקטער שפּאָן, יאָן ימפּלאַנטיישאַן מאַשין איז איינער פון די שליסל ויסריכט געניצט צו אַריבערפירן די שפּאָן קרייַז דיאַגראַמע פון די מאַסקע צו די סיליציום ווייפער און דערגרייכן די ציל שפּאָן פונקציע. דער פּראָצעס כולל סטעפּס אַזאַ ווי כעמישער מעטשאַניקאַל פּאַלישינג, דין פילם דעפּאַזישאַן, פאָטאָליטאָגראַפי, עטשינג און יאָן ימפּלאַנטיישאַן, צווישן וואָס יאָן ימפּלאַנטיישאַן איז איינער פון די וויכטיק מיטלען צו פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון סיליציום ווייפערז. די אַפּלאַקיישאַן פון יאָן ימפּלאַנטיישאַן מאשינען יפעקטיוולי קאָנטראָלס די צייט און פּרייַז פון שפּאָן פּראָדוקציע, בשעת ימפּרוווינג די פאָרשטעלונג און רילייאַבילאַטי פון טשיפּס.
יאָ, טאַנגסטאַן פילאַמאַנץ זענען סאַסעפּטאַבאַל צו קאַנטאַמאַניישאַן בעשאַס די יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס. קאַנטאַמאַניישאַן קענען פּאַסירן רעכט צו אַ פאַרשיידנקייַט פון סיבות, אַזאַ ווי ריזידזשואַל גאַסאַז, פּאַרטיקאַלז אָדער ימפּיוראַטיז פאָרשטעלן אין די יאָן ימפּלאַנטיישאַן קאַמער. די קאַנטאַמאַנאַנץ קענען אַדכיר צו די ייבערפלאַך פון די טאַנגסטאַן פאָדעם, אַפעקטינג זייַן ריינקייַט און פּאַטענטשאַלי אַפעקטינג די פאָרשטעלונג פון די יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס. דעריבער, האַלטן אַ ריין און קאַנטראָולד סוויווע אין די יאָן ימפּלאַנטיישאַן קאַמער איז קריטיש צו מינאַמייז די ריזיקירן פון קאַנטאַמאַניישאַן און ינשורינג די אָרנטלעכקייַט פון די טאַנגסטאַן פאָדעם. רעגולער רייניקונג און וישאַלט פּראָוסידזשערז קענען אויך העלפֿן פאַרמינערן די פּאָטענציעל פֿאַר קאַנטאַמאַניישאַן בעשאַס יאָן ימפּלאַנטיישאַן.
טאַנגסטאַן דראָט איז באַוווסט פֿאַר זייַן הויך מעלטינג פונט און ויסגעצייכנט מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס, וואָס מאַכן עס קעגנשטעליק צו דיפאָרמיישאַן אונטער נאָרמאַל יאָן ימפּלאַנטיישאַן טנאָים. אָבער, די היץ דזשענערייטאַד בעשאַס הויך-ענערגיע יאָן באָמבאַרדמענט און יאָן ימפּלאַנטיישאַן קענען פאַרשאַפן דיסטאָרשאַן איבער צייַט, ספּעציעל אויב פּראָצעס פּאַראַמעטערס זענען נישט קערפאַלי קאַנטראָולד.
סיבות אַזאַ ווי די ינטענסיטי און געדויער פון די יאָן שטראַל און די טעמפּעראַטור און דרוק לעוועלס יקספּיריאַנסט דורך די טאַנגסטאַן דראָט קענען אַלע ביישטייערן צו די פּאָטענציעל פֿאַר דיפאָרמיישאַן. אַדדיטיאָנאַללי, קיין ימפּיוראַטיז אָדער חסרונות אין די טאַנגסטאַן דראָט וועט פאַרשטאַרקן סאַסעפּטאַבילאַטי צו דיפאָרמיישאַן.
צו רעדוצירן די ריזיקירן פון דיפאָרמיישאַן, פּראָצעס פּאַראַמעטערס מוזן זיין קערפאַלי מאָניטאָרעד און קאַנטראָולד, די ריינקייַט און קוואַליטעט פון די טאַנגסטאַן פאָדעם מוזן זיין ינשורד, און צונעמען וישאַלט און דורכקוק פּראָטאָקאָלס מוזן זיין ימפּלאַמענאַד פֿאַר די יאָן ימפּלאַנטיישאַן ויסריכט. קעסיידער אַססעסס די צושטאַנד און פאָרשטעלונג פון טאַנגסטאַן דראָט קענען העלפן ידענטיפיצירן קיין וואונדער פון דיסטאָרשאַן און נעמען קערעקטיוו קאַמף ווי דארף.