Dây tóc vonfram cấy ion có độ tinh khiết cao
Dây vonfram cấy ion là thành phần chính được sử dụng trong máy cấy ion, chủ yếu trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Loại dây vonfram này đóng vai trò quan trọng trong thiết bị bán dẫn, chất lượng và hiệu suất của nó ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả của dây chuyền xử lý IC. Máy cấy ion là thiết bị chủ chốt trong quy trình sản xuất VLSI (Mạch tích hợp quy mô rất lớn) và không thể bỏ qua vai trò của dây vonfram như một nguồn ion.
Kích thước | Như bản vẽ của bạn |
Nơi xuất xứ | Lạc Dương, Hà Nam |
Tên thương hiệu | thảo luận nhóm |
Ứng dụng | chất bán dẫn |
Bề mặt | Da đen, rửa kiềm, đánh bóng xe |
độ tinh khiết | 99,95% |
Vật liệu | W1 |
Tỉ trọng | 19,3g/cm3 |
Tiêu chuẩn thực hiện | GB/T 4181-2017 |
điểm nóng chảy | 3400oC |
Hàm lượng tạp chất | 0,005% |
Thành phần chính | W>99,95% |
Nội dung tạp chất< | |
Pb | 0,0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0,0005 |
C | 0,01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. Nhà máy của chúng tôi được đặt tại thành phố Lạc Dương, tỉnh Hà Nam. Lạc Dương là khu vực sản xuất mỏ vonfram và molypden nên chúng tôi có lợi thế tuyệt đối về chất lượng và giá cả;
2. Công ty chúng tôi có nhân viên kỹ thuật với hơn 15 năm kinh nghiệm và chúng tôi cung cấp các giải pháp và đề xuất có mục tiêu cho nhu cầu của từng khách hàng.
3. Tất cả các sản phẩm của chúng tôi đều trải qua quá trình kiểm tra chất lượng nghiêm ngặt trước khi xuất khẩu.
4. Nếu bạn nhận được hàng bị lỗi, bạn có thể liên hệ với chúng tôi để được hoàn lại tiền.
1. Lựa chọn nguyên liệu
(Chọn nguyên liệu vonfram chất lượng cao để đảm bảo độ tinh khiết và tính chất cơ học của sản phẩm cuối cùng. )
2. Tan chảy và thanh lọc
(Nguyên liệu vonfram thô được chọn lọc được nấu chảy trong môi trường được kiểm soát để loại bỏ tạp chất và đạt được độ tinh khiết mong muốn.)
3. Vẽ dây
(Vật liệu vonfram tinh khiết được ép đùn hoặc kéo qua một loạt khuôn để đạt được đường kính dây và tính chất cơ học cần thiết.)
4. ủ
(Dây vonfram đã rút được ủ để loại bỏ ứng suất bên trong và cải thiện độ dẻo cũng như hiệu suất xử lý của nó)
5. Quy trình cấy ion
Trong trường hợp cụ thể này, bản thân dây tóc vonfram có thể trải qua quá trình cấy ion, trong đó các ion được bơm vào bề mặt của dây tóc vonfram để thay đổi đặc tính của nó nhằm nâng cao hiệu suất trong bộ cấy ion.)
Trong quy trình sản xuất chip bán dẫn, máy cấy ion là một trong những thiết bị quan trọng dùng để chuyển sơ đồ mạch chip từ mặt nạ sang tấm wafer silicon và đạt được chức năng chip mục tiêu. Quá trình này bao gồm các bước như đánh bóng cơ học hóa học, lắng đọng màng mỏng, quang khắc, khắc và cấy ion, trong đó cấy ion là một trong những phương tiện quan trọng để cải thiện hiệu suất của tấm silicon. Việc ứng dụng máy cấy ion giúp kiểm soát hiệu quả thời gian và chi phí sản xuất chip, đồng thời nâng cao hiệu suất và độ tin cậy của chip.
Có, sợi vonfram dễ bị nhiễm bẩn trong quá trình cấy ion. Sự ô nhiễm có thể xảy ra do nhiều yếu tố khác nhau, chẳng hạn như khí dư, hạt hoặc tạp chất có trong buồng cấy ion. Những chất gây ô nhiễm này có thể bám vào bề mặt của dây tóc vonfram, ảnh hưởng đến độ tinh khiết của nó và có khả năng ảnh hưởng đến hiệu suất của quá trình cấy ion. Do đó, việc duy trì môi trường sạch sẽ và được kiểm soát trong buồng cấy ion là rất quan trọng để giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm và đảm bảo tính toàn vẹn của dây tóc vonfram. Quy trình vệ sinh và bảo trì thường xuyên cũng có thể giúp giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm trong quá trình cấy ion.
Dây vonfram được biết đến với điểm nóng chảy cao và tính chất cơ học tuyệt vời, giúp nó có khả năng chống biến dạng trong điều kiện cấy ion thông thường. Tuy nhiên, nhiệt sinh ra trong quá trình bắn phá ion năng lượng cao và cấy ion có thể gây biến dạng theo thời gian, đặc biệt nếu các thông số quy trình không được kiểm soát cẩn thận.
Các yếu tố như cường độ và thời gian của chùm ion cũng như mức nhiệt độ và ứng suất mà dây vonfram trải qua đều có thể góp phần gây ra khả năng biến dạng. Ngoài ra, bất kỳ tạp chất hoặc khuyết tật nào trong dây vonfram sẽ làm tăng khả năng biến dạng.
Để giảm nguy cơ biến dạng, các thông số quy trình phải được theo dõi và kiểm soát cẩn thận, phải đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của dây tóc vonfram, đồng thời phải thực hiện các quy trình bảo trì và kiểm tra thích hợp cho thiết bị cấy ion. Thường xuyên đánh giá tình trạng và hiệu suất của dây vonfram có thể giúp xác định bất kỳ dấu hiệu biến dạng nào và thực hiện hành động khắc phục nếu cần.