Qattiq materialga jiddiy havo ion nurlari, qattiq moddaning atomlari yoki molekulalariga ion nurlari qattiq material yuzasiga o'tadi, bu hodisa ion nurlarining sochilishi deb ataladi; Qattiq modda, qattiq moddaning sirti orqaga qaytsa yoki qattiq moddadan bu hodisalarga sochilish deyiladi; Yana bir hodisa borki, ion nurlari qattiq material bilan qattiq materialga o'tib, qarshilik asta-sekin pasayadi va oxir-oqibat qattiq materiallarda qoladi, bu hodisa ion implantatsiyasi deb ataladi.
Ion implantatsiyasi texnologiyasi:
So'nggi 30 yil ichida dunyoda tez va keng qo'llaniladigan material sirtini o'zgartirish texnologiyasining bir turi. Asosiy printsip - ion nurining energiyasini 100keV materialdan ion nuriga qadar ishlatish va atomlar yoki molekulalarning materiallari bir qator fizik va kimyoviy o'zaro ta'sirlar bo'ladi, hodisa ion energiyasini asta-sekin yo'qotadi, oxirgi to'xtash. material va materialning sirt tarkibining tuzilishi va xususiyatlari, o'zgarishiga olib keladi. Materiallarning sirt xususiyatlarini optimallashtirish yoki ba'zi yangi xususiyatlarni olish uchun. Yangi texnologiya o'zining noyob afzalliklari tufayli yarimo'tkazgichli material, metall, keramika, polimer, sirt modifikatsiyasi keng qo'llaniladi, katta iqtisodiy va ijtimoiy imtiyozlarga erishdi.
Mikroelektron texnologiyada muhim doping texnologiyasi sifatida ion implantatsiyasi materiallarning sirt xususiyatlarini optimallashtirishda asosiy rol o'ynaydi. Ion implantatsiyasi texnologiyasi juda yuqori harorat ko'rsatkichi va materialning kimyoviy korroziyaga chidamliligiga qarshilik. Shuning uchun ionlash kamerasining asosiy qismlari volfram, molibden yoki grafit materiallaridan tayyorlanadi. Gemei yillar davomida volfram molibden materialini ion implantatsiyasi orqali sanoat tadqiqotlari va ishlab chiqarish, ishlab chiqarish jarayoni barqaror va boy tajribaga ega.
Ion implantatsiyasi uchun issiq mahsulotlar
