Yuqori toza ion implantatsiyasi volfram filamenti
Ion implantatsiyasi volfram simi ion implantatsiyasi mashinalarida, asosan yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlarida ishlatiladigan asosiy komponent hisoblanadi. Ushbu turdagi volfram simi yarimo'tkazgich uskunalarida muhim rol o'ynaydi va uning sifati va ishlashi IC texnologik liniyalarining samaradorligiga bevosita ta'sir qiladi. Ion implantatsiyasi mashinasi VLSI (juda katta o'lchamli o'rnatilgan sxema) ishlab chiqarish jarayonida asosiy uskuna bo'lib, ion manbai sifatida volfram simining rolini e'tiborsiz qoldirib bo'lmaydi. .
O'lchamlari | Sizning chizmalaringiz sifatida |
Kelib chiqqan joyi | Luoyang, Xenan |
Brend nomi | FGD |
Ilova | yarimo'tkazgich |
Yuzaki | Qora teri, gidroksidi yuvish, avtomobil porlashi, sayqallangan |
Poklik | 99,95% |
Material | W1 |
Zichlik | 19,3 g/sm3 |
Amalga oshirish standartlari | GB/T 4181-2017 |
Erish nuqtasi | 3400 ℃ |
Nopoklik tarkibi | 0,005% |
Asosiy komponentlar | W>99,95% |
Nopoklik tarkibi≤ | |
Pb | 0,0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0,0005 |
C | 0,01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. Fabrikamız Henan viloyati, Luoyang shahrida joylashgan. Luoyang - volfram va molibden konlari uchun ishlab chiqarish maydoni, shuning uchun biz sifat va narx bo'yicha mutlaq afzalliklarga egamiz;
2. Kompaniyamiz 15 yildan ortiq tajribaga ega texnik xodimlarga ega va biz har bir mijozning ehtiyojlari uchun maqsadli echimlar va takliflarni taqdim etamiz.
3. Bizning barcha mahsulotlarimiz eksport qilishdan oldin qattiq sifat nazoratidan o'tadi.
4. Agar siz nuqsonli tovarlarni olsangiz, pulni qaytarish uchun biz bilan bog'lanishingiz mumkin.
1.Xom ashyo tanlash
(Yakuniy mahsulotning tozaligi va mexanik xususiyatlarini ta'minlash uchun yuqori sifatli volfram xom ashyosini tanlang. )
2. Eritish va tozalash
(Tanlangan volfram xom ashyolari iflosliklarni olib tashlash va kerakli tozalikka erishish uchun boshqariladigan muhitda eritiladi.)
3. Simlarni chizish
(Tozalangan volfram materiali kerakli sim diametri va mexanik xususiyatlarga erishish uchun ekstrude qilinadi yoki bir qator qoliplar orqali tortiladi.)
4.Tavlanish
(Chizilgan volfram simi ichki stressni bartaraf etish va uning egiluvchanligi va ishlov berish samaradorligini oshirish uchun tavlanadi)
5. Ion implantatsiyasi jarayoni
Bunday holda, volfram filamentining o'zi ion implantatsiyasi jarayonidan o'tishi mumkin, bunda ion implantatorida ishlashni yaxshilash uchun uning xususiyatlarini o'zgartirish uchun volfram filamentining yuzasiga ionlar yuboriladi.)
Yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarish jarayonida ion implantatsiyasi mashinasi chip sxemasini niqobdan silikon gofretga o'tkazish va maqsadli chip funktsiyasiga erishish uchun ishlatiladigan asosiy jihozlardan biridir. Bu jarayon kimyoviy mexanik sayqallash, yupqa plyonkani cho'ktirish, fotolitografiya, etching va ion implantatsiyasi kabi bosqichlarni o'z ichiga oladi, ular orasida ion implantatsiyasi kremniy gofretlarning ish faoliyatini yaxshilashning muhim vositalaridan biridir. Ion implantatsiyasi mashinalarini qo'llash chiplarni ishlab chiqarish vaqti va narxini samarali nazorat qiladi, shu bilan birga chiplarning ishlashi va ishonchliligini oshiradi. .
Ha, volfram filamentlari ion implantatsiyasi jarayonida ifloslanishga moyil. Kontaminatsiya ion implantatsiyasi kamerasida mavjud bo'lgan qoldiq gazlar, zarralar yoki aralashmalar kabi turli omillar tufayli yuzaga kelishi mumkin. Ushbu ifloslantiruvchi moddalar volfram filamentining yuzasiga yopishib, uning tozaligiga ta'sir qilishi va ion implantatsiyasi jarayonining ishlashiga potentsial ta'sir qilishi mumkin. Shuning uchun ion implantatsiyasi kamerasida toza va boshqariladigan muhitni saqlash ifloslanish xavfini minimallashtirish va volfram filamentining yaxlitligini ta'minlash uchun juda muhimdir. Muntazam tozalash va parvarishlash tartib-qoidalari, shuningdek, ion implantatsiyasi paytida ifloslanish ehtimolini kamaytirishga yordam beradi.
Volfram simi o'zining yuqori erish nuqtasi va mukammal mexanik xususiyatlari bilan mashhur bo'lib, uni normal ion implantatsiyasi sharoitida deformatsiyaga chidamli qiladi. Biroq, yuqori energiyali ion bombardimon qilish va ion implantatsiyasi paytida hosil bo'lgan issiqlik, ayniqsa, jarayon parametrlari diqqat bilan nazorat qilinmasa, vaqt o'tishi bilan buzilishlarga olib kelishi mumkin.
Ion nurlarining intensivligi va davomiyligi, volfram simining harorati va kuchlanish darajasi kabi omillar deformatsiyaga olib kelishi mumkin. Bundan tashqari, volfram simidagi har qanday iflosliklar yoki nuqsonlar deformatsiyaga moyillikni kuchaytiradi.
Deformatsiya xavfini kamaytirish uchun jarayon parametrlarini diqqat bilan kuzatib borish va nazorat qilish, volfram filamentining tozaligi va sifatini ta'minlash va ion implantatsiyasi uskunasiga tegishli texnik xizmat ko'rsatish va tekshirish protokollarini amalga oshirish kerak. Volfram simining holati va ishlashini muntazam ravishda baholash har qanday buzilish belgilarini aniqlashga va kerak bo'lganda tuzatish choralarini ko'rishga yordam beradi.