Так, вольфрамові нитки чутливі до забруднення під час процесу іонної імплантації. Забруднення може виникнути внаслідок різноманітних факторів, таких як залишкові гази, частки або домішки, присутні в камері іонної імплантації. Ці забруднення можуть прилипати до поверхні вольфрамової нитки, впливаючи на її чистоту та потенційно впливаючи на ефективність процесу іонної імплантації. Таким чином, підтримка чистого та контрольованого середовища в камері іонної імплантації має вирішальне значення для мінімізації ризику забруднення та забезпечення цілісності вольфрамової нитки. Регулярні процедури очищення та технічного обслуговування також можуть допомогти зменшити ймовірність забруднення під час іонної імплантації.

Вольфрамовий дріт відомий своєю високою температурою плавлення та чудовими механічними властивостями, які роблять його стійким до деформації за нормальних умов іонної імплантації. Однак тепло, що утворюється під час бомбардування високоенергетичними іонами та іонної імплантації, може з часом викликати спотворення, особливо якщо параметри процесу не контролюються ретельно.

Такі фактори, як інтенсивність і тривалість іонного пучка, а також температура та рівні напруги, яких відчуває вольфрамовий дріт, можуть сприяти потенційній деформації. Крім того, будь-які домішки або дефекти вольфрамового дроту підвищать сприйнятливість до деформації.

Щоб зменшити ризик деформації, необхідно ретельно відстежувати та контролювати параметри процесу, забезпечувати чистоту та якість вольфрамової нитки, а також застосовувати відповідні протоколи технічного обслуговування та перевірки обладнання для іонної імплантації. Регулярна оцінка стану та продуктивності вольфрамового дроту може допомогти виявити будь-які ознаки викривлення та вжити необхідних заходів.