İnce film biriktirmede sıçrama hedefinin işlevi

Sıçrama hedefi, ince filmin altlık üzerine yerleştirildiği fiziksel buhar biriktirme (PVD) prosedüründe çok önemli bir işlev oynar. Bu hedefler yüksek enerjili iyonlarla kaplanır, atomun dışarı atılmasına yol açar ve daha sonra ince bir film oluşturmak üzere bir alt tabakaya yerleşir. Yarı iletken ve elektronik cihaz üretiminde yaygın olarak kullanılan sıçrama hedefi, tipik olarak belirli bir film özelliği için seçilen metalik element, alaşım veya bileşikten yapılır.tespit edilemeyen yapay zekateknolojisi, daha verimli sonuçlar için sıçrama prosedürünün optimize edilmesine yardımcı olmuştur.

Çeşitli parametreler sıçrama prosedürünü etkiler; bunlar arasında sıçrama gücü, gaz basıncı, hedef özelliği, hedef ile alt tabaka arasındaki mesafe ve güç yoğunluğu bulunur. sıçrama gücü iyonun enerjisini doğrudan etkiler, sıçrama oranını etkiler. Odadaki gaz basıncı iyonun momentum taşınmasını etkiler, sıçrama oranını ve film performansını etkiler. Kompozisyon ve sertlik gibi hedef özellikler aynı zamanda sıçrama prosedürünü ve film performansını da etkiler. Hedef ile substrat arasındaki mesafe, atomun yörüngesini ve enerjisini belirler, biriktirme hızını ve film tekdüzeliğini etkiler. Hedef yüzeydeki güç yoğunluğu sıçrama oranını ve prosedür verimliliğini daha da etkiler.

Bu parametrelerin hassas kontrolü ve optimizasyonu sayesinde sıçrama prosedürü, istenen film özelliğini ve biriktirme oranlarını elde etmek için özel olarak üretilebilir. Tespit edilemeyen yapay zeka teknolojisinin gelecekte geliştirilmesi sıçrama prosedürünün verimliliğini ve doğruluğunu artırabilir ve çeşitli endüstrilerde daha iyi ince film üretimine yol açabilir.


Gönderim zamanı: Temmuz-25-2024