มีหลายวิธีในการเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ในกระบวนการสปัตเตอร์:

1. การเพิ่มประสิทธิภาพกำลังและแรงดัน: การปรับพารามิเตอร์กำลังและแรงดันในระบบสปัตเตอร์อาจส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์ การเพิ่มกำลังและการปรับสภาวะความดันให้เหมาะสมจะช่วยเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ ส่งผลให้ฟิล์มบางสะสมเร็วขึ้น

2. วัสดุเป้าหมายและรูปทรง: การใช้เป้าหมายการสปัตเตอร์ที่มีองค์ประกอบของวัสดุและรูปทรงที่เหมาะสมที่สุดสามารถปรับปรุงอัตราการสปัตเตอร์ได้ เป้าหมายสปัตเตอร์คุณภาพสูงและออกแบบมาอย่างดีสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการสปัตเตอร์และนำไปสู่อัตราการสะสมที่สูงขึ้น

3. การเตรียมพื้นผิวเป้าหมาย: การทำความสะอาดและปรับสภาพพื้นผิวเป้าหมายการสปัตเตอร์อย่างเหมาะสมสามารถช่วยเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ได้ การตรวจสอบให้แน่ใจว่าพื้นผิวเป้าหมายปราศจากสิ่งปนเปื้อนและออกไซด์สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการสปัตเตอร์ได้

4. อุณหภูมิของพื้นผิว: การควบคุมอุณหภูมิของพื้นผิวอาจส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์ ในบางกรณี การเพิ่มอุณหภูมิของวัสดุพิมพ์ภายในช่วงที่กำหนดอาจทำให้อัตราการสปัตเตอร์เพิ่มขึ้นและคุณภาพของฟิล์มดีขึ้น

5. การไหลของก๊าซและองค์ประกอบของ: การปรับการไหลของก๊าซและองค์ประกอบของห้องสปัตเตอร์ให้เหมาะสมอาจส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์ การปรับอัตราการไหลของก๊าซและการใช้ส่วนผสมของก๊าซสปัตเตอร์ที่เหมาะสมสามารถเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการสปัตเตอร์ได้

เมื่อพิจารณาปัจจัยเหล่านี้อย่างรอบคอบและปรับพารามิเตอร์กระบวนการสปัตเตอร์ให้เหมาะสม จะสามารถเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์และปรับปรุงประสิทธิภาพโดยรวมของการสะสมฟิล์มบางในการใช้งานสปัตเตอร์ได้