Сафир як маводи сахт, ба фарсудашавӣ тобовар ва қавӣ бо ҳарорати баланди обшавӣ мебошад, аз ҷиҳати кимиёвӣ ба таври васеъ ғайрифаъол аст ва хосиятҳои ҷолиби оптикиро нишон медиҳад. Аз ин рӯ, сапфир барои бисёр барномаҳои технологӣ истифода мешавад, ки соҳаҳои асосии саноат оптика ва электроника мебошанд. Имрӯз қисми калонтарини сапфири саноатӣ ҳамчун субстрат барои истеҳсоли LED ва нимноқилҳо истифода мешавад ва пас аз он ҳамчун тирезаҳо барои соатҳо, қисмҳои телефони мобилӣ ё сканерҳои штрих-код истифода мешаванд, то чанд мисолро номбар кунем [1]. Имрӯзҳо усулҳои гуногуни парвариши монокристалҳои сапфир мавҷуданд, ки шарҳи хубро дар мисоли [1, 2] ёфтан мумкин аст. Бо вуҷуди ин, се усули парвариши равандҳои Киропулос (KY), усули мубодилаи гармӣ (HEM) ва афзоиши бо қабати муайяншудаи плёнка (EFG) зиёда аз 90% иқтидорҳои истеҳсоли сапфир дар саросари ҷаҳонро ташкил медиҳанд.

Кӯшиши аввал барои кристаллҳои синтетикӣ истеҳсолшуда соли 1877 барои кристаллҳои хурди як кристалл ёқут карда шудааст [2]. Ба осонӣ дар соли 1926 раванди Киропулос ихтироъ карда шуд. Он дар вакуум кор мекунад ва имкон медиҳад, ки булаҳои калони силиндрӣ бо сифати хеле баланд истеҳсол карда шаванд. Боз як усули ҷолиби парвариши сапфир ин афзоиши бо филми канори муайяншуда мебошад. Техникаи EFG ба канали капиллярӣ асос ёфтааст, ки аз обшавии моеъ пур шудааст ва имкон медиҳад, ки кристаллҳои сапфири шаклдор ба монанди чӯбҳо, қубурҳо ё варақҳо (инчунин лентаҳо номида мешаванд) парвариш карда шаванд. Баръакси ин усулҳо усули табодули гармӣ, ки дар охири солҳои 1960 таваллуд шудааст, имкон медиҳад, ки дар дохили тигели печонидашуда дар шакли тигел тавассути истихроҷи гармии муайян аз поён парвариш карда шавад. Азбаски були сапфир дар охири раванди нашъунамо ба тигел часпида мешавад, булкаҳо дар ҷараёни сардшавӣ метавонанд кафида шаванд ва тигел танҳо як маротиба истифода мешавад.
Ҳар яке аз ин технологияҳои парвариши булӯри сапфир як чизи умумӣ дорад, ки ҷузъҳои асосӣ, бахусус тигелҳо, металлҳои ба оташ тобовар ба ҳарорати баландро талаб мекунанд. Вобаста аз усули парвариш тигелҳо аз молибден ё вольфрам сохта мешаванд, аммо металлҳо инчунин барои гармкунакҳои муқовимат, бастаҳо ва экранҳои минтақаи гарм васеъ истифода мешаванд [1]. Аммо, дар ин мақола мо муҳокимаи худро ба мавзӯъҳои марбут ба KY ва EFG тамаркуз мекунем, зеро дар ин равандҳо тигелҳои фишурдашуда истифода мешаванд.
Дар ин гузориш мо таҳқиқоти тавсифи мавод ва таҳқиқотро оид ба кондитсионерии сатҳи маводи прессшуда, аз қабили молибден (Mo), волфрам (W) ва хӯлаҳои он (MoW) пешниҳод мекунем. Дар қисми аввал тамаркузи мо ба маълумоти механикии ҳарорати баланд ва ҳарорати гузариш ба сустшавӣ нигаронида шудааст. Дар баробари хосиятҳои механикӣ мо хосиятҳои термофизикӣ, яъне коэффисиенти васеъшавии гармӣ ва гармигузарониро омӯхтаем. Дар қисми дуюм мо таҳқиқотро оид ба техникаи кондитсионерии рӯизаминӣ пешниҳод менамоем, ки махсусан барои беҳтар кардани муқовимати тигелҳои пур аз обшавии гилхок пур карда шудааст. Дар қисми сеюм мо дар бораи ченкунии кунҷҳои тар кардани гилхок моеъ дар металлҳои оташ тобовар дар 2100 °C гузориш медиҳем. Мо таҷрибаҳои гудохтаро дар хӯлаи Mo, W ва MoW25 (75 вазн% молибден, 25 ватс.% волфрам) анҷом додем ва вобастагиҳоро аз шароити гуногуни атмосфера омӯхтем. Дар натиҷаи таҳқиқоти мо, мо MoW-ро ҳамчун маводи ҷолиб дар технологияҳои парвариши сапфир ва ҳамчун алтернативаи эҳтимолӣ ба молибдени холис ва вольфрам пешниҳод мекунем.
Хусусиятҳои механикӣ ва термофизикӣ дар ҳарорати баланд
Усулҳои афзоиши булӯри сапфир KY ва EFG ба осонӣ ба зиёда аз 85% ҳиссаи миқдори сапфир дар ҷаҳон хизмат мекунанд. Дар ҳарду усул, гилхок моеъ дар тигелҳои прессшуда ҷойгир карда мешавад, ки маъмулан аз волфрам барои раванди KY ва аз молибден барои раванди EFG сохта шудааст. Crucibles қисмҳои муҳими система барои ин равандҳои афзоиш мебошанд. Ҳадафи идеяи эҳтимолан кам кардани хароҷоти тигелҳои волфрам дар раванди KY ва инчунин зиёд кардани мӯҳлати истифодабарии тиглҳои молибден дар раванди EFG, мо ба таври иловагӣ ду хӯлаи MoW, яъне MoW30, ки 70 вазн Мо ва 30 вазн дорад, истеҳсол ва озмоиш кардем. % W ва MoW50 дорои 50 ват.% Мо ва Вт мебошанд.
Барои ҳама таҳқиқоти тавсифи мавод мо қубурҳои прессшуда аз Mo, MoW30, MoW50 ва W истеҳсол кардем. Ҷадвали I зичӣ ва андозаи миёнаи ғалларо, ки ба ҳолати аввалияи моддӣ мувофиқанд, нишон медиҳад.

Љадвали I: Хулосаи маводи прессшуда-синтеризатсияшуда, ки барои андозагирии хосиятњои механикї ва термофизикї истифода мешаванд. Дар ҷадвал зичӣ ва андозаи миёнаи донаҳои ҳолати ибтидоии маводҳо нишон дода шудаанд

Азбаски тигелҳо муддати тӯлонӣ ба ҳарорати баланд дучор мешаванд, мо озмоишҳои муфассали кашишро, махсусан дар ҳарорати баланд аз 1000 °C то 2100 °C анҷом додем. Дар расми 1 ин натиҷаҳо барои Mo, MoW30 ва MoW50 ҷамъбаст шудааст, ки дар он қувваи ҳосили 0,2% (Rp0,2) ва дарозшави то шикастан (A) нишон дода шудааст. Барои муқоиса, нуқтаи додаи W дар 2100 °C нишон дода шудааст.
Интизор меравад, ки барои вольфрам дар шакли сахт ҳалшуда дар молибден Rp0.2 дар муқоиса бо маводи софи Mo афзоиш ёбад. Барои ҳарорати то 1800 °C ҳарду хӯлаҳои MoW на камтар аз 2 маротиба зиёдтар Rp0,2 нисбат ба Mo нишон медиҳанд, ба расми 1(а) нигаред. Барои ҳарорати баландтар танҳо MoW50 нишон медиҳад, ки Rp0.2 ба таври назаррас беҳтар шудааст. W-и фишурдашуда баландтарин Rp0.2-ро дар 2100 °C нишон медиҳад. Санҷишҳои кашиш инчунин А-ро нишон медиҳанд, ки дар расми 1(б) нишон дода шудааст. Ҳарду хӯлаҳои MoW дарозии хеле шабеҳро ба арзишҳои шикаста нишон медиҳанд, ки одатан нисфи арзишҳои Mo мебошанд. А-и нисбатан баланди волфрам дар 2100 °C бояд аз сохтори ҷаримаҳои он дар муқоиса бо Mo сабаб шавад.
Барои муайян кардани ҳарорати гузариши тағйирпазир ба шикастан (DBTT) хӯлаҳои волфрами молибдени прессшуда, инчунин ченакҳо оид ба кунҷи каҷ дар ҳароратҳои гуногуни санҷиш гузаронида шуданд. Натиҷаҳо дар расми 2 нишон дода шудаанд. DBTT бо афзоиши таркиби волфрам меафзояд. Дар ҳоле ки DBTT аз Mo дар тақрибан 250 °C нисбатан паст аст, хӯлаҳои MoW30 ва MoW50 мутаносибан тақрибан 450 °C ва 550 °C DBTT-ро нишон медиҳанд.

Илова ба тавсифи механикӣ мо хосиятҳои термофизикиро низ омӯхтем. Коэффисиенти васеъшавии гармидиҳӣ (CTE) дар як дилатометри чӯбдаст [3] дар доираи ҳарорати то 1600 °C бо истифода аз намунаи Ø5 мм ва дарозии 25 мм чен карда шуд. Андозаҳои CTE дар расми 3 тасвир шудаанд. Ҳама маводҳо вобастагии хеле шабеҳи CTE бо афзоиши ҳароратро нишон медиҳанд. Қиматҳои CTE барои хӯлаҳои MoW30 ва MoW50 байни арзишҳои Mo ва W мебошанд. Азбаски сӯрохии боқимондаи маводи прессшуда ҷудошаванда аст ва бо сӯрохиҳои хурди инфиродӣ, CTE ба даст овардашуда ба маводи зичии баланд ба мисли варақҳо ва чӯбҳо [4].
Кобилияти гармигузаронии маводи прессшуда тавассути чен кардани ҳам диффузияи гармӣ ва ҳам гармии хоси намуна бо ғафсии Ø12,7 мм ва 3,5 мм бо усули флеши лазерӣ ба даст оварда шудааст [5, 6]. Барои маводи изотропӣ, ба монанди маводи прессшуда, гармии хосро бо ҳамон усул чен кардан мумкин аст. Андозаҳо дар ҳарорати аз 25 °C то 1000 °C гирифта шудаанд. Барои ҳисоб кардани гармигузаронӣ, мо ба таври илова зичии моддӣ, ки дар ҷадвали I нишон дода шудааст, истифода бурда, зичии мустақили ҳароратро фарз мекунем. Дар расми 4 гузариши гармидиҳӣ дар натиҷа барои Mo, MoW30, MoW50 ва Вт нишон дода шудааст.

хӯлаҳои MoW барои ҳама ҳарорати таҳқиқшуда аз 100 Вт / мК камтар аст ва нисбат ба молибдени холис ва волфрам хеле хурдтар аст. Илова бар ин, ноқилҳои Mo ва W бо афзоиши ҳарорат коҳиш меёбанд, дар ҳоле ки ноқилияти хӯлаи MoW аз афзоиши ҳарорат нишон медиҳад.
Сабаби ин фарқият дар ин кор таҳқиқ нашудааст ва ҷузъи таҳқиқоти оянда хоҳад буд. Маълум аст, ки барои металлҳо қисми бартаридоштаи гармигузаронӣ дар ҳарорати паст саҳми фонон мебошад, дар ҳоле ки дар ҳарорати баланд гази электронӣ дар гармигузаронӣ бартарӣ дорад [7]. Фононхо аз норасоихои моддй ва нуксонхо. Аммо афзоиши гармигузаронӣ дар диапазони ҳарорати паст на танҳо барои хӯлаҳои MoW, балки барои дигар маводи маҳлул ба монанди вольфрам-рений [8] мушоҳида мешавад, ки дар он саҳми электрон нақши муҳим мебозад.
Муқоисаи хосиятҳои механикӣ ва термофизикӣ нишон медиҳад, ки MoW барои татбиқи сапфир маводи ҷолиб аст. Барои ҳарорати баланд аз 2000 °C қувваи ҳосилнокӣ нисбат ба молибден баландтар аст ва мӯҳлати дарозтари тигелҳо бояд имконпазир бошад. Бо вуҷуди ин, масолеҳ бештар шикаста мешавад ва коркард ва коркард бояд танзим карда шавад. Кобилияти гармидиҳии ба таври назаррас коҳишёфтаи MW-и прессшуда, ки дар расми 4 нишон дода шудааст, нишон медиҳад, ки параметрҳои мутобиқшудаи гармкунӣ ва хунуккунии кӯраи афзоянда заруранд. Махсусан дар марҳилаи гармкунӣ, ки дар он гилхок бояд дар тигел гудохта шавад, гармӣ танҳо тавассути тигел ба маводи пуркунандаи он интиқол дода мешавад. Барои пешгирӣ кардани фишори баланди гармӣ дар тигель, коҳиши гузариши гармии MoW бояд ба назар гирифта шавад. Диапазони арзишҳои CTE хӯлаҳои MoW дар заминаи усули парвариши кристаллҳои HEM ҷолиб аст. Тавре ки дар истинод [9] муҳокима карда шуд, CTE аз Mo боиси фишори сапфир дар марҳилаи сардшавӣ мегардад. Аз ин рӯ, коҳишёфтаи CTE аз хӯлаи MoW метавонад калиди амалӣ кардани тигелҳои дубора истифодашаванда барои раванди HEM бошад.
Кондитсионерии рӯи металлҳои рефрактории прессшуда
Тавре ки дар муқаддима муҳокима карда шуд, тиглҳои прессшуда аксар вақт дар равандҳои афзоиши булӯри сапфир барои гарм кардан ва нигоҳ доштани обшавии гилхок каме болотар аз 2050 °C истифода мешаванд. Яке аз талаботи муҳим барои сифати ниҳоии булӯри сапфир ин нигоҳ доштани ифлосиҳо ва футурҳои газ дар обшавии ҳарчи камтар аст. Қисмҳои прессшуда дорои порозияи боқимонда доранд ва сохтори доғдорро нишон медиҳанд. Ин сохтори майда-дона бо пораҳои пӯшида ба зангзании пурқуввати металл, махсусан аз обшавии оксидҳо осебпазир аст. Мушкилоти дигари кристаллҳои сапфир футурҳои гази хурд дар дохили об мебошанд. Ташаккули футурҳои газ аз ҳисоби баланд шудани ноҳамвории сатҳи қисми ба оташ тобовар, ки бо об дар тамос аст, афзоиш меёбад.

Барои бартараф кардани ин мушкилоти маводи прессшуда мо коркарди механикии рӯизаминиро истифода мебарем. Мо ин усулро бо асбоби пресскунӣ санҷидем, ки дар он дастгоҳи сафолӣ рӯи зери фишори муайяни қисми прессшуда кор мекунад [10]. Стресси таъсирбахши пахшкунӣ дар сатҳи баръакс аз сатҳи тамоси асбоби сафолӣ ҳангоми кондитсионерии сатҳи он вобаста аст. Бо ин коркард фишори баланди фишор метавонад ба сатҳи маводи прессшуда ба таври маҳаллӣ татбиқ карда шавад ва сатҳи мавод ба таври пластикӣ деформатсия карда мешавад. Дар расми 5 намунаи намунаи молибдени прессшуда нишон дода шудааст, ки бо ин техника кор карда шудааст.
Дар расми 6 вобастагии сифатан фишори таъсирбахши фишор аз фишори асбоб нишон дода шудааст. Маълумот аз ченкунии изофаҳои статикии асбоб дар молибдени прессшуда гирифта шудааст. Сатр мувофиқати маълумотро мувофиқи модели мо нишон медиҳад.

Дар расми 7 натиҷаҳои таҳлили ҷамъбастшуда барои ченкунии ноҳамворӣ ва сахтии сатҳ ҳамчун функсияи фишори асбоб барои маводи гуногуни прессшуда, ки ҳамчун дискҳо омода карда шудаанд, нишон дода шудааст. Тавре ки дар расми 7(а) нишон дода шудааст, коркард ба сахтшавии сатҳ оварда мерасонад. Сахтии ҳарду маводи озмудашуда Mo ва MoW30 тақрибан 150% зиёд мешавад. Барои фишорҳои баланди асбоб сахтӣ минбаъд зиёд намешавад. Тасвири 7(б) нишон медиҳад, ки сатҳи хеле ҳамвор бо Ra то 0,1 мкм барои Mo имконпазир аст. Барои баланд бардоштани фишори асбобҳо ноҳамвории Mo боз меафзояд. Азбаски MoW30 (ва Вт) нисбат ба Мо маводи сахттар аст, арзишҳои Ra MoW30 ва W ба даст овардашуда назар ба Mo 2-3 маротиба зиёдтаранд. диапазони параметрҳои санҷидашуда.
Тадқиқотҳои микроскопияи электронии сканерии мо (SEM) оид ба сатҳҳои шартшуда маълумоти ноҳамвор будани сатҳро тасдиқ мекунанд, нигаред ба расми 7(б). Тавре ки дар расми 8(а) нишон дода шудааст, фишори махсусан баланди асбоб метавонад боиси вайрон шудани сатҳи ғалла ва микрокрашҳо гардад. Кондитсионер дар фишори хеле баланди рӯизаминӣ метавонад боиси ҳатто хориҷ шудани ғалла аз рӯи замин гардад, нигаред ба расми 8(b). Таъсири шабеҳро барои MoW ва W дар параметрҳои муайяни коркард низ мушоҳида кардан мумкин аст.
Барои омӯзиши таъсири техникаи кондитсионерии рӯизаминӣ дар робита бо сохтори ғаллаи рӯизаминӣ ва рафтори ҳарорати он, мо аз се диски санҷишии Mo, MoW30 ва W намунаҳои гармкуниро омода кардем.

Намунаҳо дар давоми 2 соат дар ҳароратҳои гуногуни санҷишӣ дар ҳудуди 800 °C то 2000 °C коркард карда шуданд ва микросессияҳо барои таҳлили микроскопияи рӯшноӣ омода карда шуданд.
Дар расми 9 мисолҳои микросессияи молибдени фишурдашуда нишон дода шудааст. Ҳолати ибтидоии сатҳи коркардшуда дар расми 9(а) оварда шудааст. Сатҳи он қабати қариб зичеро дар доираи тақрибан 200 мкм нишон медиҳад. Дар поёни ин қабат сохтори маъмулии моддӣ бо сӯрохиҳои агломератсия ба назар мерасад, ковокии боқимонда тақрибан 5% аст. Порозияи ченшудаи боқимонда дар қабати рӯизаминӣ хеле камтар аз 1% аст. Дар расми 9(б) сохтори ғалладона пас аз гармкунӣ барои 2 соат дар 1700 °C нишон дода шудааст. Ғафсии қабати зиччи рӯизаминӣ зиёд шудааст ва донаҳо нисбат ба донаҳое, ки бо кондитсионери рӯизаминӣ тағйир наёфтаанд, хеле калонтаранд. Ин қабати хеле зиччи дағал барои беҳтар кардани муқовимат ба гардиши мавод самаранок хоҳад буд.
Мо вобастагии ҳарорати қабати рӯизаминиро аз рӯи ғафсӣ ва андозаи дона барои фишорҳои гуногуни асбобҳо омӯхтаем. Дар расми 10 намунаҳои намояндагӣ барои ғафсии қабати рӯизаминӣ барои Mo ва MoW30 нишон дода шудаанд. Тавре ки дар расми 10(а) нишон дода шудааст, ғафсии қабати ибтидоӣ аз насби асбоби коркард вобаста аст. Дар ҳарорати гармкунӣ аз 800 °C ғафсии қабати рӯизаминии Мо афзоиш меёбад. Дар ҳарорати 2000 °C ғафсии қабат ба арзишҳои аз 0,3 то 0,7 мм мерасад. Барои MoW30 афзоиши ғафсии қабати рӯизаминиро танҳо дар ҳарорати болотар аз 1500 °C, тавре ки дар расми 10(б) нишон дода шудааст, мушоҳида кардан мумкин аст. Бо вуҷуди ин, дар 2000 °C ғафсии қабати MoW30 ба Mo хеле монанд аст.

Мисли таҳлили ғафсии қабати рӯизаминӣ, дар расми 11 маълумоти миёнаи андозаи ғалла барои Mo ва MoW30 нишон дода шудааст, ки дар қабати рӯизаминӣ ҳамчун функсияи ҳарорати гармшавӣ чен карда шудаанд. Тавре ки аз рақамҳо бармеояд, андозаи дона - дар доираи номуайянии андозагирӣ - аз танзимоти параметрҳои татбиқшаванда новобаста аст. Афзоиши андозаи донаҳо аз афзоиши ғайримуқаррарии донаҳои қабати рӯизаминӣ шаҳодат медиҳад, ки дар натиҷаи деформатсияи майдони сатҳ ба вуҷуд омадааст. Донаҳои молибден дар ҳарорати озмоишӣ болотар аз 1100 ° C мерӯянд ва андозаи дона дар 2000 ° C нисбат ба андозаи аввалаи дона тақрибан 3 маротиба калонтар аст. Донаҳои MoW30 қабати кондитсионерӣ дар ҳарорати аз 1500 °C боло ба воя мерасанд. Дар ҳарорати озмоишии 2000 °C андозаи миёнаи дона тақрибан 2 маротиба аз андозаи аввалаи дона аст.
Хулоса, таҳқиқоти мо дар бораи техникаи кондитсионерии рӯизаминӣ нишон медиҳанд, ки он барои хӯлаҳои волфрами прессшудаи молибден мувофиқ аст. Бо истифода аз ин усул, сатҳҳои дорои сахтии зиёд ва инчунин сатҳи ҳамвор бо Ra аз 0,5 мкм камтар ба даст овардан мумкин аст. Амволи охирин махсусан барои кам кардани ҳубобҳои газ муфид аст. Порозияи боқимонда дар қабати рӯизаминӣ ба сифр наздик аст. Тадқиқотҳои таҳшинкунӣ ва микросессия нишон медиҳанд, ки қабати хеле зиччи рӯизаминӣ бо ғафсии маъмулии 500 мкм ба даст овардан мумкин аст. Ҳамин тариқ, параметри коркард метавонад ғафсии қабатро назорат кунад. Ҳангоми ба ҳарорати баланд дучор кардани маводи кондитсионер, ки маъмулан дар усулҳои парвариши сапфир истифода мешаванд, қабати рӯизаминӣ доначадор мешавад ва андозаи донааш назар ба коркарди рӯизаминӣ 2-3 маротиба калонтар аст. Андозаи дона дар қабати рӯизаминӣ аз параметрҳои коркард вобаста нест. Шумораи сарҳадҳои дона дар рӯи замин самаранок кам карда мешавад. Ин ба муқовимати баландтар бар зидди паҳншавии элементҳо дар сарҳадҳои дона оварда мерасонад ва ҳамлаи обшавии он камтар аст. Илова бар ин, муқовимати ҳароратҳои баланди хӯлаҳои волфрами молибдени прессшуда беҳтар карда мешавад.

Тадқиқотҳои тар кардани гилхок моеъ дар металлҳои оташ тобовар
Тар кардани гилхок моеъ дар молибден ё вольфрам барои саноати сапфир таваҷҷӯҳи асосӣ дорад. Махсусан барои раванди EFG рафтори тар кардани гилхок дар капиллярҳои бастабандӣ суръати афзоиши асо ё лентаҳои сапфирро муайян мекунад. Барои фаҳмидани таъсири маводи интихобшуда, ноҳамвории сатҳ ё атмосфераи раванд мо ченакҳои муфассали кунҷи тар карданро анҷом додем [11].
Барои ченкунии намнокӣ субстратҳои озмоишии андозаи 1 x 5 x 40 мм³ аз маводи варақи Mo, MoW25 ва W истеҳсол карда шуданд. Бо фиристодани ҷараёни баланди барқ ​​тавассути субстрат варақи металлӣ ҳарорати обшавии гилхок ба 2050 °C дар давоми ним дақиқа ба даст оварда мешавад. Барои ченкунии кунҷ зарраҳои хурди гилхок дар болои намунаҳои варақ гузошта шуда, баъдан

ба қатраҳо гудохта шуданд. Системаи автоматии тасвирӣ қатраи обро, ки масалан дар расми 12 нишон дода шудааст, сабт кард. Ҳар як озмоиши обшавии об имкон медиҳад, ки бо таҳлили контури қатраҳо кунҷи таршавиро чен кунад, ба расми 12(а) нигаред ва хатти асосии субстрат одатан чанде пас аз хомӯш кардани ҷараёни гармидиҳӣ, нигаред ба расми 12(б).
Мо ченкунии кунҷи тар карданро барои ду шароити гуногуни атмосфера, вакуум дар 10-5 мбар ва аргон дар фишори 900 мбар гузаронидем. Илова бар ин, ду намуди рӯизаминӣ, яъне сатҳҳои ноҳамвор бо Ra ~ 1 мкм ва сатҳи ҳамвор бо Ra ~ 0,1 мкм озмоиш карда шуданд.
Љадвали II натиљањои њамаи ченкунињоро дар кунљњои тар кардан барои Mo, MoW25 ва W барои сатњи њамвор љамъбаст мекунад. Умуман, кунҷи тар кардани Мо дар муқоиса бо дигар маводҳо хурдтар аст. Ин маънои онро дорад, ки обшавии гилхок Моро беҳтар тар мекунад, ки дар техникаи парвариши EFG муфид аст. Кунҷҳои тар кардан барои аргон нисбат ба кунҷҳои вакуум хеле пасттаранд. Барои сатҳи субстрати ноҳамвор мо мунтазам кунҷҳои намшавии каме камтарро пайдо мекунем. Ин арзишҳо одатан аз кунҷҳои дар ҷадвали II овардашуда тақрибан 2° пасттаранд. Аммо, аз сабаби номуайянии андозагирӣ, фарқияти кунҷи назаррас байни сатҳи ҳамвор ва ноҳамвор гузориш дода намешавад.

Мо кунҷҳои намшавиро барои дигар фишорҳои атмосфера, яъне арзишҳои байни 10-5 мбар ва 900 мбар чен кардем. Таҳлили пешакӣ нишон медиҳад, ки барои фишорҳои аз 10-5 мбар ва 1 мбар фариштаи таркунанда тағир намеёбад. Фақат аз 1 мбар болотар кунҷи намшавӣ нисбат ба 900 мбар аргон камтар мешавад (Ҷадвали II). Ба ғайр аз шароити атмосфера, омили дигари муҳими тар кардани обшавии гилхок фишори қисман оксиген мебошад. Санҷишҳои мо нишон медиҳанд, ки таъсири мутақобилаи кимиёвӣ байни гудохт ва субстратҳои металлӣ дар давоми тамоми ченак (одатан 1 дақиқа) ба амал меоянд. Мо гумон мекунем, ки равандҳои обшавии молекулаҳои Al2O3 ба дигар ҷузъҳои оксиген, ки бо маводи субстрат дар наздикии қатраҳои об мутақобила мекунанд. Ҳоло таҳқиқоти минбаъда барои таҳқиқи муфассалтар ҳам вобастагии фишори кунҷи таршавӣ ва ҳам таъсири мутақобилаи кимиёвии гудохта бо металлҳои оташ тобовар идома доранд.