молибден вафли молибден варақи алмос дар CVD
Усули таҳшини буғи кимиёвии алмос (CVD) истифодаи як раванди кимиёвиро барои синтез кардани филми алмос ё рӯйпӯш дар муҳити назоратшаванда дар бар мегирад. Дар ин усул, омехтаи газ, ки маъмулан дорои газҳои карбогидридӣ ба монанди метан аст, ба камераи реаксия дар якҷоягӣ бо маводи субстрат ба монанди вафли молибденӣ ё вафли алмос ворид карда мешавад. Пас аз он газ бо воситаҳои гуногун, ба монанди гармӣ ё плазма фаъол карда мешавад, то молекулаҳои карбогидридҳоро вайрон кунад ва атомҳои карбонро ба субстрат ҷойгир кунад, ки дар натиҷа кристаллҳои алмос афзоиш меёбад.
Раванди CVD-и алмос як қатор бартариҳоро пешниҳод мекунад, аз ҷумла қобилияти истеҳсоли рӯйпӯшҳои баландсифати алмос бо назорати дақиқи ғафсӣ, якрангӣ ва таркиб. Он инчунин имкон медиҳад, ки плёнкаҳои алмос дар маводи гуногуни субстрат ҷойгир карда шаванд, ки имкон медиҳад қисмҳои бо алмос пӯшидашуда барои барномаҳои гуногуни саноатӣ ва тадқиқотӣ эҷод карда шаванд.
Умуман, усули CVD аз алмос як техникаи гуногунҷабҳа ва васеъ истифодашаванда барои истеҳсоли плёнкаҳои алмоси синтетикӣ ва рӯйпӯшҳои дорои хосиятҳои фармоишӣ мебошад, ки онҳоро дар соҳаҳои монанди электроника, асбобҳои буридан ва пӯшишҳои ба фарсуда тобовар арзишманд мегардонад.
Сахтии рӯйпӯшҳои буғҳои кимиёвӣ (CVD) вобаста аз маводи мушаххаси гузошташуда ва параметрҳои раванди истифодашуда метавонад фарқ кунад. Бо вуҷуди ин, пӯшишҳои CVD бо сахтии истисноии худ маълуманд, ки аксар вақт аз қабатҳои анъанавии буғҳои физикӣ (PVD) зиёдтаранд.
Барои рӯйпӯшҳои алмос CVD сахтӣ махсусан қобили таваҷҷӯҳ аст. Алмос яке аз сахттарин масолеҳи маълум аст ва рӯйпӯшҳои алмосии CVD сахтии истисноӣ доранд, ки аксар вақт аз дигар намудҳои рӯйпӯшҳо зиёдтаранд. Сахтии рӯйпӯшҳои алмосии CVD маъмулан бо истифода аз ҷадвали сахтии Викерс чен карда мешавад ва аз 8000 Вт то зиёда аз 10000 Вт буда, онро яке аз сахттарин ва ба фарсудашавӣ тобовар табдил медиҳад.
Барои дигар рӯйпӯшҳои CVD, ба монанди рӯйпӯшҳои карбид ё нитрид, сахтӣ низ метавонад баланд бошад, ки муқовимати аълои фарсудашавӣ ва устувориро дар барномаҳои гуногуни саноатӣ таъмин мекунад.
Дар маҷмӯъ, рӯйпӯшҳои CVD барои сахтии истисноии худ қадр карда мешаванд ва онҳоро барои барномаҳое мувофиқ месозанд, ки муқовимат ба фарсудашавӣ, устувории ҳарорати баланд ва иҷрои дарозмуддат муҳим аст.
Wechat: 15138768150
Сайтҳо: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
