Филаменти волфрами имплантатсияи ионҳои тозагии баланд
Сими волфрами имплантатсияи ион як ҷузъи калидӣ мебошад, ки дар мошинҳои имплантатсияи ионҳо, асосан дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешавад. Ин навъи сими вольфрам дар таҷҳизоти нимноқилӣ нақши муҳим дорад ва сифат ва иҷрои он ба самаранокии хатҳои коркарди IC бевосита таъсир мерасонад. Мошини имплантатсияи ион як таҷҳизоти калидӣ дар раванди истеҳсоли VLSI (Silver Integrated Circuit-и хеле калон) мебошад ва нақши сими волфрамро ҳамчун манбаи ион сарфи назар кардан мумкин нест. .
| Андозаҳо | Ҳамчун расмҳои шумо |
| Ҷои пайдоиш | Луоян, Хэнань |
| Номи бренд | ФГД |
| Ариза | нимноқил |
| Сатҳи | Пӯсти сиёҳ, шустушӯи сілтӣ, дурахши мошин, сайқал додашуда |
| Покӣ | 99,95% |
| Материал | W1 |
| Зичии | 19,3 г/см3 |
| Стандартҳои иҷро | GB/T 4181-2017 |
| Нуқтаи обшавӣ | 3400℃ |
| Мазмуни ифлос | 0,005% |
| Компонентҳои асосӣ | W＞99,95% |
| Мазмуни наҷосат≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Корхонаи мо дар шаҳри Луоянг, музофоти Хэнань ҷойгир аст. Луоян як минтақаи истеҳсоли конҳои волфрам ва молибден аст, бинобар ин мо дар сифат ва нарх бартарии мутлақ дорем;
2. Ширкати мо дорои кормандони техникӣ бо зиёда аз 15 сол таҷрибаи, ва мо пешниҳод ҳалли мақсаднок ва пешниҳодҳои барои ниёзҳои ҳар як муштарӣ.
3. Ҳамаи маҳсулоти мо пеш аз содирот аз санҷиши сифат мегузаранд.
4. Агар шумо моли пастсифат гиред, шумо метавонед барои баргардонидани маблағ бо мо дар тамос шавед.
1. Интихоби ашёи хом
(Барои таъмини тозагӣ ва хосиятҳои механикии маҳсулоти ниҳоӣ ашёи хоми баландсифати волфрамро интихоб кунед. )
2. Гудохтан ва поксозӣ
(Ашёи хоми интихобшудаи волфрам дар муҳити назоратшаванда гудохта мешавад, то ифлосҳоро тоза кунад ва ба тозагии дилхоҳ ноил шавад.)
3. кашидани сим
(Маводи тозашудаи волфрам барои ба даст овардани диаметри сим ва хосиятҳои механикӣ тавассути як қатор қолабҳо истихроҷ карда мешавад ё кашида мешавад.)
4.Тавф кардан
(Сими волфрами кашидашуда барои бартараф кардани фишори дохилӣ ва беҳтар кардани қобилияти коркард ва коркарди он тафсон карда мешавад)
5. Раванди имплантатсияи ион
Дар ин ҳолат, худи филаменти волфрам метавонад раванди имплантатсияи ионҳоро аз сар гузаронад, ки дар он ионҳо ба сатҳи филами волфрам ворид карда мешаванд, то хосиятҳои онро тағир диҳанд, то иҷрои онро дар имплантатори ион беҳтар созанд.)
Дар раванди истеҳсоли чипи нимноқилҳо мошини имплантатсияи ион яке аз таҷҳизоти калидӣ мебошад, ки барои интиқол додани диаграммаи схемаи чип аз ниқоб ба вафли кремний ва ноил шудан ба вазифаи чипи ҳадаф истифода мешавад. Ин раванд марҳилаҳоеро дар бар мегирад, аз қабили сайқал додани механикии кимиёвӣ, пошидани филми тунук, фотолитография, қишлоқ ва имплантатсияи ион, ки дар байни онҳо имплантатсияи ион яке аз воситаҳои муҳими беҳтар кардани кори вафли кремний мебошад. Истифодаи мошинҳои имплантатсияи ионҳо вақт ва арзиши истеҳсоли чипҳоро самаранок назорат карда, дар айни замон кор ва эътимоднокии чипҳоро беҳтар мекунад. .
Бале, филаментҳои волфрам ҳангоми имплантатсияи ионҳо ба ифлосшавӣ дучор мешаванд. Ифлосшавӣ метавонад аз омилҳои гуногун, ба монанди газҳои боқимонда, зарраҳо ё ифлосиҳо дар камераи имплантатсияи ион мавҷуд бошад. Ин ифлоскунандаҳо метавонанд ба сатҳи филами волфрам часпида, ба тозагии он таъсир расонанд ва эҳтимолан ба иҷрои раванди имплантатсияи ионҳо таъсир расонанд. Аз ин рӯ, нигоҳ доштани муҳити тоза ва назоратшаванда дар дохили камераи имплантатсияи ионҳо барои кам кардани хатари ифлосшавӣ ва таъмини якпорчагии филаменти волфрам муҳим аст. Тартиби тозакунӣ ва нигоҳдории мунтазам инчунин метавонад барои кам кардани эҳтимолияти ифлосшавӣ ҳангоми имплантатсияи ион кӯмак расонад.
Сими вольфрам бо нуқтаи обшавии баланд ва хосиятҳои хуби механикии худ маълум аст, ки онро дар шароити муқаррарии имплантатсияи ион ба деформатсия тобовар мегардонад. Аммо, гармие, ки ҳангоми бомбаборони ионҳои энергияи баланд ва имплантатсияи ионҳо тавлид мешавад, метавонад бо мурури замон таҳрифро ба вуҷуд орад, хусусан агар параметрҳои раванд бодиққат назорат карда нашаванд.
Омилҳо ба монанди шиддат ва давомнокии нури ионҳо ва ҳарорат ва фишори аз сими волфрам дучоршуда метавонанд ҳама ба потенсиали деформатсия мусоидат кунанд. Илова бар ин, ҳама гуна ифлосиҳо ё нуқсонҳо дар сими волфрам ҳассосиятро ба деформатсия зиёд мекунанд.
Барои кам кардани хатари деформатсия, параметрҳои раванд бояд бодиққат назорат ва назорат карда шаванд, покӣ ва сифати филами волфрам таъмин карда шаванд ва барои таҷҳизоти имплантатсияи ионҳо протоколҳои дахлдори нигоҳдорӣ ва санҷиш татбиқ карда шаванд. Баҳодиҳии мунтазами ҳолат ва кори сими волфрам метавонад ҳама гуна аломатҳои таҳрифро муайян кунад ва дар ҳолати зарурӣ чораҳои ислоҳӣ андешад.
