అవును, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియలో టంగ్‌స్టన్ తంతువులు కాలుష్యానికి గురవుతాయి. అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ చాంబర్‌లో ఉన్న అవశేష వాయువులు, కణాలు లేదా మలినాలు వంటి వివిధ కారణాల వల్ల కాలుష్యం సంభవించవచ్చు. ఈ కలుషితాలు టంగ్స్టన్ ఫిలమెంట్ యొక్క ఉపరితలంపై కట్టుబడి, దాని స్వచ్ఛతను ప్రభావితం చేస్తాయి మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ యొక్క పనితీరును సమర్థవంతంగా ప్రభావితం చేస్తాయి. అందువల్ల, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ఛాంబర్‌లో శుభ్రమైన మరియు నియంత్రిత వాతావరణాన్ని నిర్వహించడం కాలుష్య ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి మరియు టంగ్‌స్టన్ ఫిలమెంట్ యొక్క సమగ్రతను నిర్ధారించడానికి కీలకం. రెగ్యులర్ క్లీనింగ్ మరియు మెయింటెనెన్స్ విధానాలు కూడా అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో కాలుష్యం యొక్క సంభావ్యతను తగ్గించడంలో సహాయపడతాయి.

టంగ్స్టన్ వైర్ దాని అధిక ద్రవీభవన స్థానం మరియు అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలకు ప్రసిద్ధి చెందింది, ఇది సాధారణ అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పరిస్థితులలో వైకల్యానికి నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. అయినప్పటికీ, అధిక-శక్తి అయాన్ బాంబర్‌మెంట్ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడి కాలక్రమేణా వక్రీకరణకు కారణమవుతుంది, ప్రత్యేకించి ప్రక్రియ పారామితులను జాగ్రత్తగా నియంత్రించకపోతే.

అయాన్ పుంజం యొక్క తీవ్రత మరియు వ్యవధి మరియు టంగ్‌స్టన్ వైర్ అనుభవించే ఉష్ణోగ్రత మరియు ఒత్తిడి స్థాయిలు వంటి అంశాలు వైకల్యానికి సంభావ్యతకు దోహదం చేస్తాయి. అదనంగా, టంగ్‌స్టన్ వైర్‌లోని ఏదైనా మలినాలు లేదా లోపాలు వైకల్యానికి గురికావడాన్ని మరింత తీవ్రతరం చేస్తాయి.

వైకల్యం యొక్క ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి, ప్రక్రియ పారామితులను జాగ్రత్తగా పర్యవేక్షించాలి మరియు నియంత్రించాలి, టంగ్స్టన్ ఫిలమెంట్ యొక్క స్వచ్ఛత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించాలి మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పరికరాల కోసం తగిన నిర్వహణ మరియు తనిఖీ ప్రోటోకాల్‌లు తప్పనిసరిగా అమలు చేయబడాలి. టంగ్‌స్టన్ వైర్ యొక్క పరిస్థితి మరియు పనితీరును క్రమం తప్పకుండా అంచనా వేయడం వలన వక్రీకరణకు సంబంధించిన ఏవైనా సంకేతాలను గుర్తించి, అవసరమైన విధంగా దిద్దుబాటు చర్య తీసుకోవచ్చు.