உயர் தூய்மை அயன் பொருத்துதல் டங்ஸ்டன் இழை
அயன் பொருத்துதல் டங்ஸ்டன் கம்பி என்பது அயன் பொருத்துதல் இயந்திரங்களில், முக்கியமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இந்த வகை டங்ஸ்டன் கம்பி குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, மேலும் அதன் தரம் மற்றும் செயல்திறன் நேரடியாக IC செயல்முறை வரிகளின் செயல்திறனை பாதிக்கிறது. அயன் பொருத்துதல் இயந்திரம் என்பது VLSI (மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று) உற்பத்தி செயல்முறையில் ஒரு முக்கிய கருவியாகும், மேலும் அயனி மூலமாக டங்ஸ்டன் கம்பியின் பங்கை புறக்கணிக்க முடியாது. .
| பரிமாணங்கள் | உங்கள் வரைபடங்களாக |
| பிறந்த இடம் | லுயோயாங், ஹெனான் |
| பிராண்ட் பெயர் | FGD |
| விண்ணப்பம் | குறைக்கடத்தி |
| மேற்பரப்பு | கருப்பு தோல், காரம் கழுவுதல், கார் பளபளப்பு, பளபளப்பானது |
| தூய்மை | 99.95% |
| பொருள் | W1 |
| அடர்த்தி | 19.3g/cm3 |
| செயல்படுத்தும் தரநிலைகள் | ஜிபி/டி 4181-2017 |
| உருகுநிலை | 3400℃ |
| தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் | 0.005% |
| முக்கிய கூறுகள் | W "99.95% |
| தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. எங்கள் தொழிற்சாலை ஹெனான் மாகாணத்தின் லுயோயாங் நகரில் அமைந்துள்ளது. லுயோயாங் டங்ஸ்டன் மற்றும் மாலிப்டினம் சுரங்கங்களுக்கான உற்பத்திப் பகுதியாகும், எனவே தரம் மற்றும் விலையில் எங்களுக்கு முழுமையான நன்மைகள் உள்ளன;
2. எங்கள் நிறுவனத்தில் 15 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான அனுபவமுள்ள தொழில்நுட்ப பணியாளர்கள் உள்ளனர், மேலும் ஒவ்வொரு வாடிக்கையாளரின் தேவைகளுக்கும் இலக்கு தீர்வுகள் மற்றும் பரிந்துரைகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
3. எங்கள் தயாரிப்புகள் அனைத்தும் ஏற்றுமதி செய்யப்படுவதற்கு முன் கடுமையான தர ஆய்வுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன.
4. நீங்கள் குறைபாடுள்ள பொருட்களைப் பெற்றால், பணத்தைத் திரும்பப் பெற எங்களைத் தொடர்புகொள்ளலாம்.
1. மூலப்பொருள் தேர்வு
(இறுதிப் பொருளின் தூய்மை மற்றும் இயந்திர பண்புகளை உறுதிப்படுத்த உயர்தர டங்ஸ்டன் மூலப்பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.)
2. உருகுதல் மற்றும் சுத்திகரிப்பு
(தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட டங்ஸ்டன் மூலப்பொருட்கள் அசுத்தங்களை அகற்றி, விரும்பிய தூய்மையை அடைய கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலில் உருகப்படுகின்றன.)
3. கம்பி வரைதல்
(தேவையான கம்பி விட்டம் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை அடைவதற்காக, சுத்திகரிக்கப்பட்ட டங்ஸ்டன் பொருள் வெளியேற்றப்படுகிறது அல்லது தொடர்ச்சியான டைஸ் மூலம் வரையப்படுகிறது.)
4.அனீலிங்
(வரையப்பட்ட டங்ஸ்டன் கம்பி உள் அழுத்தத்தை அகற்றவும், அதன் டக்டிலிட்டி மற்றும் செயலாக்க செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் இணைக்கப்பட்டுள்ளது)
5. அயன் உள்வைப்பு செயல்முறை
இந்த குறிப்பிட்ட வழக்கில், டங்ஸ்டன் இழை ஒரு அயனி பொருத்துதல் செயல்முறைக்கு உட்படுத்தப்படலாம், இதில் அயனிகள் அயனி உள்வைப்பில் செயல்திறனை மேம்படுத்த அதன் பண்புகளை மாற்ற டங்ஸ்டன் இழையின் மேற்பரப்பில் செலுத்தப்படுகின்றன.)
குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், சிப் சர்க்யூட் வரைபடத்தை முகமூடியிலிருந்து சிலிக்கான் வேஃபருக்கு மாற்றவும், இலக்கு சிப் செயல்பாட்டை அடையவும் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய உபகரணங்களில் அயன் பொருத்துதல் இயந்திரமும் ஒன்றாகும். இந்த செயல்முறையானது இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ், மெல்லிய ஃபிலிம் படிவு, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, எச்சிங் மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற படிகளை உள்ளடக்கியது, இவற்றில் சிலிக்கான் செதில்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு அயனி பொருத்துதலும் முக்கியமான ஒன்றாகும். சில்லுகளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தும் அதே வேளையில், அயன் பொருத்துதல் இயந்திரங்களின் பயன்பாடு சிப் உற்பத்தியின் நேரத்தையும் செலவையும் திறம்பட கட்டுப்படுத்துகிறது. .
ஆம், டங்ஸ்டன் இழைகள் அயன் பொருத்துதல் செயல்பாட்டின் போது மாசுபடுவதற்கு எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன. எஞ்சிய வாயுக்கள், துகள்கள் அல்லது அயனி உள்வைப்பு அறையில் இருக்கும் அசுத்தங்கள் போன்ற பல்வேறு காரணிகளால் மாசுபாடு ஏற்படலாம். இந்த அசுத்தங்கள் டங்ஸ்டன் இழையின் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்ளலாம், அதன் தூய்மையை பாதிக்கிறது மற்றும் அயனி பொருத்துதல் செயல்முறையின் செயல்திறனை பாதிக்கலாம். எனவே, அயன் உள்வைப்பு அறைக்குள் சுத்தமான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை பராமரிப்பது மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைப்பதற்கும் டங்ஸ்டன் இழையின் ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கும் முக்கியமானது. வழக்கமான சுத்தம் மற்றும் பராமரிப்பு நடைமுறைகள் அயனி பொருத்துதலின் போது மாசுபடுவதற்கான சாத்தியக்கூறுகளைத் தணிக்க உதவும்.
டங்ஸ்டன் கம்பி அதன் உயர் உருகும் புள்ளி மற்றும் சிறந்த இயந்திர பண்புகளுக்காக அறியப்படுகிறது, இது சாதாரண அயனி பொருத்துதல் நிலைமைகளின் கீழ் சிதைவை எதிர்க்கும். இருப்பினும், உயர் ஆற்றல் அயனி குண்டுவீச்சு மற்றும் அயனி பொருத்துதலின் போது உருவாகும் வெப்பம் காலப்போக்கில் சிதைவை ஏற்படுத்தும், குறிப்பாக செயல்முறை அளவுருக்கள் கவனமாக கட்டுப்படுத்தப்படாவிட்டால்.
அயன் கற்றையின் தீவிரம் மற்றும் காலம் மற்றும் டங்ஸ்டன் கம்பியால் உணரப்படும் வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்த நிலைகள் போன்ற காரணிகள் அனைத்தும் சிதைவதற்கான சாத்தியக்கூறுகளுக்கு பங்களிக்கும். கூடுதலாக, டங்ஸ்டன் கம்பியில் ஏதேனும் அசுத்தங்கள் அல்லது குறைபாடுகள் சிதைவடைய வாய்ப்பை அதிகப்படுத்தும்.
சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்க, செயல்முறை அளவுருக்கள் கவனமாக கண்காணிக்கப்பட வேண்டும் மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், டங்ஸ்டன் இழையின் தூய்மை மற்றும் தரம் உறுதி செய்யப்பட வேண்டும், மேலும் அயன் பொருத்துதல் கருவிகளுக்கு பொருத்தமான பராமரிப்பு மற்றும் ஆய்வு நெறிமுறைகள் செயல்படுத்தப்பட வேண்டும். டங்ஸ்டன் கம்பியின் நிலை மற்றும் செயல்திறனைத் தொடர்ந்து மதிப்பிடுவது, சிதைவின் அறிகுறிகளைக் கண்டறிந்து, தேவைக்கேற்ப சரியான நடவடிக்கை எடுக்க உதவும்.
