Kuna kubwa hewa ion boriti katika nyenzo imara, boriti ion kwa atomi nyenzo imara au molekuli katika uso imara nyenzo, jambo hili inaitwa ion boriti sputtering; na wakati nyenzo imara, uso wa nyenzo imara bounced nyuma, au nje ya nyenzo imara kwa matukio haya inaitwa kutawanyika; kuna jambo jingine ni kwamba baada ya boriti ion kwa nyenzo imara na nyenzo imara na kupunguza upinzani polepole chini, na hatimaye kukaa katika nyenzo imara, jambo hili inaitwa ion implantation.
Mbinu ya uwekaji wa ion:
Ni aina ya teknolojia ya urekebishaji wa uso wa nyenzo ambayo imeendelea kwa kasi na kutumika sana ulimwenguni katika miaka 30 iliyopita. Kanuni ya msingi ni kutumia nishati ya tukio la boriti ya ioni kwa utaratibu wa nyenzo za 100keV kwa boriti ya ioni na nyenzo za atomi au molekuli zitakuwa mfululizo wa mwingiliano wa kimwili na kemikali, tukio la kupoteza nishati ya ion hatua kwa hatua, kuacha mwisho katika nyenzo, na kusababisha muundo na mali ya utungaji nyenzo uso, mabadiliko. Ili kuongeza mali ya uso wa vifaa, au kupata mali mpya. teknolojia mpya kwa sababu ya faida yake ya kipekee, imekuwa katika semiconductor doped nyenzo, chuma, kauri, polymer, uso muundo ni sana kutumika, imepata faida kubwa ya kiuchumi na kijamii.
Uwekaji wa ion kama teknolojia muhimu ya doping katika teknolojia ndogo ya kielektroniki ina jukumu muhimu katika kuboresha sifa za uso wa nyenzo. Ion implantation teknolojia ni joto ya juu sana utendaji na upinzani dhidi ya upinzani kemikali ulikaji wa nyenzo. Kwa hiyo, sehemu kuu za chumba cha ionization zinafanywa kwa tungsten, molybdenum au vifaa vya grafiti. Miaka ya Gemei ya utafiti na uzalishaji wa tasnia kwa uwekaji wa ion ya nyenzo za molybdenum ya Tungsten, mchakato wa uzalishaji una uzoefu thabiti na tajiri.
Bidhaa Moto kwa ajili ya Ion Implantation
