Usafi wa juu wa Ion ya kupandikiza filamenti ya tungsten
Waya ya tungsten ya ioni ni sehemu muhimu inayotumika katika mashine za upandikizaji wa ioni, haswa katika michakato ya utengenezaji wa semiconductor. Aina hii ya waya ya tungsten ina jukumu muhimu katika vifaa vya semiconductor, na ubora na utendaji wake huathiri moja kwa moja ufanisi wa mistari ya mchakato wa IC. Mashine ya kupandikiza ioni ni kifaa muhimu katika mchakato wa utengenezaji wa VLSI (Mzunguko Uliounganishwa wa Kiwango Kikubwa Sana), na jukumu la waya wa tungsten kama chanzo cha ayoni haliwezi kupuuzwa. .
| Vipimo | Kama michoro yako |
| Mahali pa asili | Luoyang, Henan |
| Jina la Biashara | FGD |
| Maombi | semicondukta |
| Uso | Ngozi nyeusi, kuosha kwa alkali, kuangaza gari, kung'olewa |
| Usafi | 99.95% |
| Nyenzo | W1 |
| Msongamano | 19.3g/cm3 |
| Viwango vya utekelezaji | GB/T 4181-2017 |
| Kiwango myeyuko | 3400 ℃ |
| Maudhui ya uchafu | 0.005% |
| Vipengele kuu | W 99.95% |
| Maudhui ya uchafu≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Kiwanda chetu kiko katika Jiji la Luoyang, Mkoa wa Henan. Luoyang ni eneo la uzalishaji wa migodi ya tungsten na molybdenum, kwa hiyo tuna faida kamili katika ubora na bei;
2. Kampuni yetu ina wafanyakazi wa kiufundi wenye uzoefu wa zaidi ya miaka 15, na tunatoa ufumbuzi na mapendekezo yaliyolengwa kwa mahitaji ya kila mteja.
3. Bidhaa zetu zote hupitia ukaguzi mkali wa ubora kabla ya kusafirishwa nje ya nchi.
4. Ukipokea bidhaa zenye kasoro, unaweza kuwasiliana nasi ili urejeshewe pesa.
1.Uteuzi wa malighafi
(Chagua malighafi ya tungsten ya ubora wa juu ili kuhakikisha usafi na sifa za kiufundi za bidhaa ya mwisho.)
2. Kuyeyuka na Utakaso
(Malighafi ya tungsten iliyochaguliwa huyeyushwa katika mazingira yaliyodhibitiwa ili kuondoa uchafu na kufikia usafi unaotaka.)
3. Mchoro wa waya
(Nyenzo za tungsten zilizosafishwa hutolewa nje au kuchorwa kupitia safu kadhaa ili kufikia kipenyo cha waya kinachohitajika na sifa za kiufundi.)
4.Annealing
(Waya ya tungsten iliyochorwa hunaswa ili kuondoa mfadhaiko wa ndani na kuboresha utengamano wake na utendakazi wa kuchakata)
5. Mchakato wa Kuweka Ion
Katika hali hii, nyuzi za tungsten zenyewe zinaweza kupitia mchakato wa upandikizaji wa ayoni, ambapo ayoni hudungwa kwenye uso wa filamenti ya tungsten ili kubadilisha sifa zake ili kuboresha utendakazi katika kipandikizi cha ayoni.)
Katika mchakato wa uzalishaji wa chip za semiconductor, mashine ya kupandikiza ioni ni mojawapo ya vifaa muhimu vinavyotumiwa kuhamisha mchoro wa mzunguko wa chip kutoka kwenye kinyago hadi kwenye kaki ya silicon na kufikia utendakazi wa chip lengwa. Mchakato huu unajumuisha hatua kama vile ung'arishaji wa kemikali, uwekaji wa filamu nyembamba, upigaji picha, uchongaji na upandikizaji wa ayoni, ambapo upandikizaji wa ayoni ni mojawapo ya njia muhimu za kuboresha utendakazi wa kaki za silicon. Utumiaji wa mashine za kupandikiza ioni hudhibiti vyema wakati na gharama ya utengenezaji wa chip, huku ukiboresha utendakazi na kutegemewa kwa chipsi. .
Ndiyo, nyuzinyuzi za tungsten huathiriwa na uchafuzi wakati wa mchakato wa uwekaji wa ioni. Uchafuzi unaweza kutokea kutokana na sababu mbalimbali, kama vile gesi mabaki, chembe chembe au uchafu uliopo kwenye chemba ya upandikizaji wa ayoni. Uchafuzi huu unaweza kuambatana na uso wa filamenti ya tungsten, kuathiri usafi wake na uwezekano wa kuathiri utendaji wa mchakato wa upandikizaji wa ion. Kwa hivyo, kudumisha mazingira safi na kudhibitiwa ndani ya chemba ya upandikizaji wa ioni ni muhimu ili kupunguza hatari ya uchafuzi na kuhakikisha uadilifu wa filamenti ya tungsten. Taratibu za kusafisha na matengenezo ya mara kwa mara pia zinaweza kusaidia kupunguza uwezekano wa uchafuzi wakati wa uwekaji wa ayoni.
Waya ya Tungsten inajulikana kwa kiwango chake cha juu cha kuyeyuka na sifa bora za mitambo, ambayo huifanya kuwa sugu kwa deformation chini ya hali ya kawaida ya uwekaji wa ioni. Hata hivyo, joto linalozalishwa wakati wa milipuko ya ioni ya juu ya nishati na uwekaji wa ioni inaweza kusababisha upotoshaji kwa muda, hasa ikiwa vigezo vya mchakato havitadhibitiwa kwa uangalifu.
Mambo kama vile ukubwa na muda wa boriti ya ayoni na viwango vya joto na mkazo vinavyoathiriwa na waya wa tungsten vyote vinaweza kuchangia uwezekano wa mgeuko. Zaidi ya hayo, uchafu wowote au kasoro katika waya ya tungsten itaongeza uwezekano wa deformation.
Ili kupunguza hatari ya deformation, vigezo vya mchakato lazima vifuatiliwe na kudhibitiwa kwa uangalifu, usafi na ubora wa filament ya tungsten lazima uhakikishwe, na itifaki za matengenezo na ukaguzi zinazofaa lazima zitekelezwe kwa vifaa vya implantation ya ion. Kutathmini mara kwa mara hali na utendakazi wa waya wa tungsten kunaweza kusaidia kutambua dalili zozote za upotoshaji na kuchukua hatua za kurekebisha inapohitajika.
