Sputter målär material som används för att avsätta tunna filmer på substrat under den fysiska ångavsättningsprocessen (PVD).Målmaterialet bombarderas med högenergijoner, vilket gör att atomer stöts ut från målytan.Dessa sprutade atomer avsätts sedan på ett substrat och bildar en tunn film.Sputtringsmål används ofta vid tillverkning av halvledare, solceller och andra elektroniska enheter.De är vanligtvis gjorda av metaller, legeringar eller föreningar som väljs utifrån de önskade egenskaperna hos den avsatta filmen.

Sputtringsprocessen påverkas av flera parametrar, inklusive:

1. Sputtringskraft: Mängden effekt som appliceras under förstoftningsprocessen kommer att påverka energin hos de förstoftade jonerna och därigenom påverka förstoftningshastigheten.

2. Sputtringsgastryck: Förstoftningsgasens tryck i kammaren påverkar impulsöverföringen av sputtrade joner, vilket påverkar sputterhastigheten och filmens prestanda.

3. Målegenskaper: Förstoftningsmålets fysikaliska och kemiska egenskaper, såsom dess sammansättning, hårdhet, smältpunkt, etc., kan påverka förstoftningsprocessen och den avsatta filmens prestanda.

4. Avståndet mellan målet och substratet: Avståndet mellan förstoftningsmålet och substratet kommer att påverka de förstoftade atomernas bana och energi, och därigenom påverka avsättningshastigheten och likformigheten hos filmen.

5. Effekttäthet: Den effekttäthet som appliceras på målytan påverkar förstoftningshastigheten och effektiviteten i förstoftningsprocessen.

Genom att noggrant kontrollera och optimera dessa parametrar kan förstoftningsprocessen skräddarsys för att uppnå önskade filmegenskaper och avsättningshastigheter.