Det finns en allvarlig luft jonstråle i ett fast material, jonstrålen till fast material atomer eller molekyler i fast material yta, detta fenomen kallas jonstråle sputtering; och när det fasta materialet, ytan av det fasta materialet studsade tillbaka, eller ut ur fast material till dessa fenomen kallas spridning; Det finns ett annat fenomen är att efter jonstrålen till det fasta materialet av fast material och minska motståndet långsamt ner, och i slutändan stanna i fasta material, kallas detta fenomen jonimplantation.
Jonimplantationsteknik:
Är en typ av ytmodifieringsteknik som har utvecklats snabbt och flitigt använt i världen under de senaste 30 åren. Grundprincipen är att använda energin från jonstrålen som faller in i storleksordningen 100keV material till jonstrålen och materialen i atomerna eller molekylerna kommer att vara en serie av fysiska och kemiska interaktioner, den infallande jonenergiförlusten gradvis, det sista stoppet i materialet, och orsaka att strukturen och egenskaperna hos materialytsammansättningen förändras. För att optimera ytegenskaperna hos material, eller för att få några nya egenskaper. Den nya tekniken på grund av dess unika fördelar, har varit i dopade halvledarmaterial, metall, keramik, polymer, ytmodifiering används i stor utsträckning, har uppnått stora ekonomiska och sociala fördelar.
Jonimplantation som en viktig dopningsteknik inom mikroelektronikteknik spelar en nyckelroll för att optimera materialens ytegenskaper. Jonimplantationsteknik är mycket hög temperaturprestanda och motståndskraft mot kemisk korrosionsbeständighet hos materialet. Därför är huvuddelarna av joniseringskammaren gjorda av volfram, molybden eller grafitmaterial. Gemei år av industri forskning och produktion av jonimplantation av volfram molybden material, produktionsprocessen har en stabil och rik erfarenhet.
Heta produkter för jonimplantation
