Hög renhet jonimplantation volfram filament
Jonimplantation volframtråd är en nyckelkomponent som används i jonimplantationsmaskiner, främst i halvledartillverkningsprocesser. Denna typ av volframtråd spelar en viktig roll i halvledarutrustning, och dess kvalitet och prestanda påverkar direkt effektiviteten hos IC-processlinjer. Jonimplantationsmaskin är en nyckelutrustning i tillverkningsprocessen för VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), och volframtrådens roll som jonkälla kan inte ignoreras.
| Mått | Som dina teckningar |
| Ursprungsort | Luoyang, Henan |
| Varumärke | FGD |
| Ansökan | halvledare |
| Yta | Svart hud, alkalisk tvätt, bilglans, polerad |
| Renhet | 99,95 % |
| Material | W1 |
| Densitet | 19,3 g/cm3 |
| Utförandestandarder | GB/T 4181-2017 |
| Smältpunkt | 3400 ℃ |
| Orenhetsinnehåll | 0,005 % |
| Huvudkomponenter | W＞99,95 % |
| Föroreningsinnehåll≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Vår fabrik ligger i Luoyang City, Henan-provinsen. Luoyang är ett produktionsområde för volfram- och molybdengruvor, så vi har absoluta fördelar i kvalitet och pris;
2. Vårt företag har teknisk personal med över 15 års erfarenhet, och vi tillhandahåller riktade lösningar och förslag för varje kunds behov.
3. Alla våra produkter genomgår en strikt kvalitetskontroll innan de exporteras.
4. Om du får defekta varor kan du kontakta oss för återbetalning.
1.Råvaruval
(Välj högkvalitativa volframråvaror för att säkerställa slutproduktens renhet och mekaniska egenskaper. )
2. Smältning och rening
(Utvalda volframråvaror smälts i en kontrollerad miljö för att ta bort orenheter och uppnå önskad renhet.)
3. Tråddragning
(Renat volframmaterial extruderas eller dras genom en serie stansar för att uppnå önskad tråddiameter och mekaniska egenskaper.)
4.Glödgning
(Den dragna volframtråden är glödgad för att eliminera inre spänningar och förbättra dess duktilitet och bearbetningsprestanda )
5. Jonimplantationsprocess
I det här speciella fallet kan själva volframtråden genomgå en jonimplantationsprocess, där joner injiceras i ytan av volframfilamentet för att ändra dess egenskaper för att förbättra prestanda i jonimplantatören.)
I produktionsprocessen för halvledarchip är jonimplantationsmaskin en av nyckelutrustningarna som används för att överföra kretsdiagrammet för kretsen från masken till kiselskivan och uppnå målchipfunktionen. Denna process inkluderar steg som kemisk-mekanisk polering, tunnfilmsavsättning, fotolitografi, etsning och jonimplantation, bland vilka jonimplantation är ett av de viktiga medlen för att förbättra prestanda hos kiselskivor. Tillämpningen av jonimplantationsmaskiner kontrollerar effektivt tiden och kostnaden för chipproduktion, samtidigt som prestanda och tillförlitlighet hos chip förbättras.
Ja, volframfilament är känsliga för kontaminering under jonimplantationsprocessen. Kontaminering kan uppstå på grund av en mängd olika faktorer, såsom restgaser, partiklar eller föroreningar som finns i jonimplantationskammaren. Dessa föroreningar kan fästa vid ytan av volframfilamentet, påverka dess renhet och potentiellt påverka prestanda för jonimplantationsprocessen. Därför är det avgörande att upprätthålla en ren och kontrollerad miljö i jonimplantationskammaren för att minimera risken för kontaminering och säkerställa integriteten hos volframfilamentet. Regelbundna rengörings- och underhållsprocedurer kan också bidra till att minska risken för kontaminering under jonimplantation.
Volframtråd är känd för sin höga smältpunkt och utmärkta mekaniska egenskaper, vilket gör den motståndskraftig mot deformation under normala jonimplantationsförhållanden. Värmen som genereras under högenergijonbombardement och jonimplantation kan dock orsaka förvrängning över tid, särskilt om processparametrar inte kontrolleras noggrant.
Faktorer som intensiteten och varaktigheten av jonstrålen och temperatur- och spänningsnivåerna som volframtråden upplever kan alla bidra till risken för deformation. Dessutom kommer eventuella föroreningar eller defekter i volframtråden att förvärra känsligheten för deformation.
För att minska risken för deformation måste processparametrar övervakas och kontrolleras noggrant, renheten och kvaliteten på volframfilamentet måste säkerställas och lämpliga underhålls- och inspektionsprotokoll måste implementeras för jonimplantationsutrustningen. Att regelbundet utvärdera tillståndet och prestanda för volframtråd kan hjälpa till att identifiera eventuella tecken på distorsion och vidta korrigerande åtgärder vid behov.
