Purity tinggi implantation Ion filamén tungsten
Kawat tungsten implantasi ion mangrupikeun komponén konci anu dianggo dina mesin implantasi ion, utamina dina prosés manufaktur semikonduktor. jenis ieu kawat tungsten muterkeun hiji peran penting dina parabot semikonduktor, sarta kualitas sarta kinerja langsung mangaruhan efisiensi garis prosés IC. Mesin implantasi ion mangrupikeun alat konci dina prosés manufaktur VLSI (Sirkuit Terpadu Skala Besar pisan), sareng peran kawat tungsten salaku sumber ion teu tiasa dipaliré. .
| Diménsi | Salaku gambar anjeun |
| Tempat Asal | Luoyang, Henan |
| Ngaran Brand | FGD |
| Aplikasi | semikonduktor |
| Beungeut | Kulit hideung, nyeuseuh alkali, caang mobil, digosok |
| Kasucian | 99,95% |
| Bahan | W1 |
| Kapadetan | 19,3 g/cm3 |
| Standar palaksanaan | GB / T 4181-2017 |
| Titik lebur | 3400 ℃ |
| eusi najis | 0,005% |
| Komponén utama | W> 99,95% |
| eusi najis≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. pabrik urang aya di Kota Luoyang, Propinsi Henan. Luoyang mangrupakeun aréa produksi pikeun tungsten na molybdenum Pertambangan, sangkan boga kaunggulan mutlak dina kualitas sarta harga;
2. parusahaan urang boga tanaga teknis kalawan leuwih 15 taun pangalaman, sarta kami nyadiakeun solusi sasaran sarta bongbolongan pikeun kaperluan unggal customer urang.
3. Sadaya produk urang ngalaman inspeksi kualitas ketat saméméh keur diékspor.
4. Upami anjeun nampi barang cacad, anjeun tiasa ngahubungi kami pikeun ngabalikeun duit.
1. pilihan bahan baku
(Pilih bahan baku tungsten kualitas luhur pikeun mastikeun purity jeung sipat mékanis tina produk ahir. )
2. Lebur jeung Purifikasi
(Bahan baku tungsten dipilih dilebur dina lingkungan dikawasa pikeun miceun pangotor sarta ngahontal purity dipikahoyong.)
3. Kawat gambar
(Bahan tungsten dimurnikeun ieu extruded atawa digambar ngaliwatan runtuyan paeh pikeun ngahontal diaméter kawat diperlukeun jeung sipat mékanis.)
4. Anil
(Kawat tungsten anu ditarik dianil pikeun ngaleungitkeun setrés internal sareng ningkatkeun ductility sareng kinerja ngolahna)
5. Prosés Implantation Ion
Dina hal husus ieu, filamén tungsten sorangan bisa ngalaman hiji prosés implantation ion, nu ion anu nyuntik kana beungeut filamén tungsten ngarobah sipatna pikeun ngaronjatkeun kinerja di implanter ion.)
Dina prosés produksi chip semikonduktor, mesin implantation ion mangrupa salah sahiji parabot konci dipaké pikeun mindahkeun diagram sirkuit chip tina topeng ka wafer silikon sarta ngahontal fungsi target chip. Proses ieu kalebet léngkah-léngkah sapertos polishing mékanis kimiawi, déposisi film ipis, fotolitografi, etching, sareng implantasi ion, diantarana implantasi ion mangrupikeun salah sahiji cara anu penting pikeun ningkatkeun kinerja wafer silikon. Aplikasi mesin implantation ion éféktif ngadalikeun waktu jeung biaya produksi chip, bari ngaronjatkeun kinerja sarta reliabilitas chip. .
Leres, filamén tungsten rentan ka kontaminasi nalika prosés implantasi ion. Kontaminasi bisa lumangsung alatan rupa-rupa faktor, kayaning gas sésa, partikel, atawa pangotor hadir dina chamber implantation ion. rereged ieu bisa taat kana beungeut filamén tungsten, mangaruhan purity sarta berpotensi mangaruhan kinerja prosés implantation ion. Ku alatan éta, ngajaga lingkungan beresih jeung dikawasa dina chamber implantation ion penting pisan pikeun ngaminimalkeun résiko kontaminasi jeung mastikeun integritas filamén tungsten. Prosedur beberesih sareng pangropéa teratur ogé tiasa ngabantosan ngirangan potensi kontaminasi nalika implantasi ion.
Kawat tungsten dipikanyaho pikeun titik lebur anu luhur sareng sipat mékanis anu saé, anu ngajantenkeun tahan ka deformasi dina kaayaan implantasi ion normal. Sanajan kitu, panas dihasilkeun salila bombardment ion-énergi tinggi na implantation ion bisa ngabalukarkeun distorsi kana waktu, utamana lamun parameter prosés teu dikawasa taliti.
Faktor sapertos inténsitas sareng durasi sinar ion sareng suhu sareng tingkat setrés anu dialaman ku kawat tungsten sadayana tiasa nyumbang kana poténsi deformasi. Salaku tambahan, sagala najis atanapi cacad dina kawat tungsten bakal exacerbate karentanan kana deformasi.
Pikeun ngirangan résiko deformasi, parameter prosés kedah diawaskeun sareng dikontrol sacara saksama, kamurnian sareng kualitas filamén tungsten kedah dipastikeun, sareng protokol pangropéa sareng pamariksaan anu pas kedah dilaksanakeun pikeun alat implantasi ion. Rutin ngevaluasi kaayaan sareng kinerja kawat tungsten tiasa ngabantosan ngaidentipikasi tanda-tanda distorsi sareng nyandak tindakan koréksi upami diperyogikeun.
