Bohloeki bo phahameng ba Ion ho kenngoa ha tungsten filament
Ion implantation tungsten terata ke karolo ea bohlokoa e sebelisoang mecheng ea ho kenya ion, haholo lits'ebetsong tsa tlhahiso ea semiconductor. Mofuta ona oa terata ea tungsten o phetha karolo ea bohlokoa ho thepa ea semiconductor, 'me boleng ba eona le ts'ebetso ea eona li ama ka ho toba katleho ea mela ea ts'ebetso ea IC. Mochini oa ho kenya Ion ke sesebelisoa sa bohlokoa ts'ebetsong ea tlhahiso ea VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), 'me karolo ea terata ea tungsten e le mohloli oa ion e ke ke ea hlokomolohuoa. "
| Litekanyo | Joalo ka litšoantšo tsa hau |
| Sebaka sa Tšimoloho | Luoyang, Henan |
| Lebitso la Brand | FGD |
| Kopo | semiconductor |
| Bokaholimo | Letlalo le letšo, ho hlatsoa alkali, ho khanya ha koloi, ho bentšitsoe |
| Bohloeki | 99.95% |
| Lintho tse bonahalang | W1 |
| Botenya | 19.3g/cm3 |
| Litekanyetso tsa ho phethahatsa | GB/T 4181-2017 |
| Sebaka se qhibilihang | 3400 ℃ |
| Lintho tse litšila | 0.005% |
| Likarolo tse ka sehloohong | W 99.95% |
| Lintho tse sa hloekang≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Feme ea rona e Motseng oa Luoyang, Profinseng ea Henan. Luoyang ke sebaka sa tlhahiso bakeng sa merafo ea tungsten le molybdenum, kahoo re na le melemo e feletseng ka boleng le theko;
2. Khampani ea rona e na le basebetsi ba theknoloji ba nang le phihlelo ea lilemo tse fetang 15, 'me re fana ka litharollo le litlhahiso tse lebisitsoeng bakeng sa litlhoko tsa moreki ka mong.
3. Lihlahisoa tsohle tsa rona li hlahlojoa ka thata boleng pele li romeloa linaheng tse ling.
4. Haeba o fumana thepa e nang le bokooa, o ka ikopanya le rona bakeng sa puseletso.
1.Khetho ea thepa e tala
(Khetha lisebelisoa tse tala tsa tungsten tsa boleng bo holimo ho netefatsa bohloeki le thepa ea mochini ea sehlahisoa sa ho qetela.)
2. Ho qhibiliha le ho Hloekisa
(Lisebelisoa tse tala tsa tungsten li qhibilihisoa sebakeng se laoloang ho tlosa litšila le ho fihlela bohloeki bo lakatsehang.)
3. Ho taka mohala
(Thepa e hloekisitsoeng ea tungsten e fetisoa kapa e huloa ka letoto la li-dies ho fihlela bophara bo hlokahalang ba terata le thepa ea mochini.)
4. Ho hlakisa
(Mohala oa tungsten o huleloa ho felisa khatello ea maikutlo le ho ntlafatsa ts'ebetso ea ona le ts'ebetso ea ts'ebetso)
5. Mokhoa oa ho kenya Ion
Tabeng ena, khoele ea tungsten ka boeona e ka kena ts'ebetsong ea ho kenngoa ha ion, moo li-ion li kenngoa ka holim'a lesela la tungsten ho fetola thepa ea eona ho ntlafatsa ts'ebetso ea ion implanter.)
Ts'ebetsong ea tlhahiso ea chip ea semiconductor, mochini oa ho kenya ion ke e 'ngoe ea lisebelisoa tsa bohlokoa tse sebelisetsoang ho fetisetsa setšoantšo sa potoloho ea chip ho tloha ho maske ho ea ho silicon wafer le ho fihlela sepheo sa chip. Ts'ebetso ena e kenyelletsa mehato e kang ho belisoa ha mochine oa lik'hemik'hale, ho behoa ha filimi e tšesaane, photolithography, etching, le ho kenngoa ha ion, tseo har'a tsona ho kenngoa ha ion ke e 'ngoe ea mekhoa ea bohlokoa ea ho ntlafatsa ts'ebetso ea li-wafers tsa silicon. Tšebeliso ea mechine ea ho kenya ion e laola ka katleho nako le litšenyehelo tsa tlhahiso ea chip, ha e ntse e ntlafatsa ts'ebetso le botšepehi ba li-chips. "
Ee, likhoele tsa tungsten li ka tšoaetsoa habonolo nakong ea ho kenngoa ha ion. Tšilafalo e ka hlaha ka lebaka la mabaka a fapaneng, joalo ka likhase tse setseng, likaroloana, kapa litšila tse teng ka phaposing ea ho kenya ion. Lintho tsena tse silafatsang li ka khomarela holim'a lesela la tungsten, la ama bohloeki ba eona 'me li ka ama ts'ebetso ea ts'ebetso ea ho kenngoa ha ion. Ka hona, ho boloka tikoloho e hloekileng le e laoloang ka har'a kamore ea ho kenngoa ha ion ke ea bohlokoa ho fokotsa kotsi ea tšilafalo le ho netefatsa botšepehi ba tungsten filament. Mekhoa ea kamehla ea ho hloekisa le ho hlokomela e ka thusa ho fokotsa monyetla oa ho silafala nakong ea ho kenngoa ha ion.
Tungsten terata e tsebahala ka ntlha ea eona e phahameng ea ho qhibiliha le lisebelisoa tse ntle tsa mochini, tse etsang hore e se ke ea hlola e fetoha tlas'a maemo a tloaelehileng a ho kenngoa ha ion. Leha ho le joalo, mocheso o hlahisoang nakong ea bombardment ea matla a matla a matla le ho kenngoa ha ion ho ka baka ho khopama ha nako e ntse e ea, haholo-holo haeba mekhoa ea ts'ebetso e sa laoloe ka hloko.
Lintho tse kang matla le nako ea beam ea ion le mocheso le maemo a khatello ea maikutlo a nang le terata ea tungsten kaofela li ka kenya letsoho molemong oa ho fetoha. Ho feta moo, litšila kapa bofokoli bofe kapa bofe ba terata ea tungsten bo tla mpefatsa monyetla oa ho senyeha.
Ho fokotsa kotsi ea deformation, litekanyetso tsa ts'ebetso li tlameha ho behoa leihlo le ho laoloa ka hloko, ho hloeka le boleng ba tungsten filament li tlameha ho netefatsoa, 'me ho tlameha ho kengoa ts'ebetsong mekhoa e nepahetseng ea tlhokomelo le tlhahlobo bakeng sa lisebelisoa tsa ho kenngoa ha ion. Ho hlahloba kamehla boemo le ts'ebetso ea terata ea tungsten ho ka thusa ho tseba matšoao leha e le afe a ho sotha le ho nka khato ea ho lokisa ha ho hlokahala.
