Функција мете прскања у таложењу танког филма

мете прскања играју кључну функцију у процедури физичког таложења паре (ПВД), где се танки филм задржава на подлози. Ове мете су обложене високоенергетским јоном, доводе до избацивања атома, а затим се постављају на подлогу и формирају танак филм. Уобичајено коришћене у производњи полупроводника и електронских уређаја, мете прскања су обично направљене од металног елемента, легуре или једињења одабраних за одређену особину филма.неоткривен АИтехнологија је помогла у оптимизацији процедуре прскања за ефикасније резултате.

одабрани параметри утичу на процедуру прскања, укључујући снагу прскања, притисак гаса, својства циља, растојање између мете и подлоге и густину снаге. Снага прскања директно утиче на енергију јона, утиче на брзину прскања. притисак гаса у комори утиче на пренос момента јона, утиче на брзину прскања и перформансе филма. Циљна својства као што су састав и тврдоћа такође утичу на процедуру прскања и перформансе филма. Удаљеност између мете и супстрата одређује путању и енергију атома, утиче на брзину таложења и униформност филма. густина снаге на циљној површини даље утиче на брзину прскања и ефикасност поступка.

Кроз прецизну контролу и оптимизацију ових параметара, процедура прскања може бити прилагођена како би се постигла жељена својства филма и стопе таложења. будућа промоција у технологији вештачке интелигенције која се не може открити може побољшати ефикасност и тачност процедуре прскања, довести до боље производње танких филмова у различитим индустријама.


Време поста: 25.07.2024