Постоји озбиљан сноп ваздушних јона у чврсти материјал, јонски сноп до атома или молекула чврстог материјала у површину чврстог материјала, овај феномен се назива распршивањем јонског снопа; а када се чврсти материјал, површина чврстог материјала одбије назад, или из чврстог материјала до ових појава, назива се расејање; постоји још један феномен је да након снопа јона до чврстог материјала чврстим материјалом и смањи отпор полако доле, и на крају остане у чврстим материјалима, овај феномен се назива имплантација јона.
Техника јонске имплантације:
То је врста технологије модификације површине материјала која се брзо и широко користи у свету у последњих 30 година. Основни принцип је да се користи енергија јонског снопа који пада на ред од 100кеВ материјала на јонски сноп и материјали атома или молекула ће бити низ физичких и хемијских интеракција, губитак енергије упада јона постепено, последња станица у материјала, те проузрокују промену структуре и својстава површинског састава материјала. Да би се оптимизовала површинска својства материјала, или да би се добила нека нова својства. Нова технологија због својих јединствених предности, била је у допираном полупроводничком материјалу, металу, керамици, полимеру, модификација површине се широко користи, постигла је велике економске и друштвене користи.
Имплантација јона као важна технологија допинга у микроелектронској технологији игра кључну улогу у оптимизацији површинских својстава материјала. Технологија јонске имплантације је врло висока температура и отпорност материјала на хемијску корозију. Стога су главни делови јонизационе коморе направљени од материјала од волфрама, молибдена или графита. Гемеи година индустријског истраживања и производње јонском имплантацијом волфрам-молибденског материјала, производни процес има стабилно и богато искуство.
Врући производи за јонску имплантацију
