Кина Висока чистоћа мете за распршивање титанијума за вакуумско премазивање Произвођач и добављач |Ковани волфрам

Циљ за распршивање титанијума високе чистоће за вакуумско премазивање

Мета за распршивање титанијума високе чистоће за вакуумско премазивање Истакнута слика

Кратак опис:

Мете за распршивање титанијума се користе у процесу физичког таложења паре (ПВД) за таложење танких филмова титанијума на подлоге.Направљене од титанијума високе чистоће, ове мете се користе у апликацијама као што су производња полупроводника, наношење танких филмова електронских и оптичких премаза и површинско инжењерство.

Пошаљите нам емаил Преузмите као ПДФ

Детаљи о производу

Ознаке производа

Шта је распршени циљни материјал?

Мете за распршивање су материјали високе чистоће који се користе у процесима физичког таложења паре (ПВД), посебно у технологији распршивања.Ови материјали се користе за формирање танких филмова на подлогама у разним индустријама, укључујући производњу полупроводника, оптичке премазе и таложење танких филмова за електронске уређаје.

Циљни материјали за распршивање могу бити направљени од разних елемената и једињења, укључујући метале, легуре, оксиде и нитриде.Избор циљаног материјала за распршивање зависи од специфичних својстава потребних за танкослојни премаз, као што су електрична проводљивост, оптичка својства, тврдоћа и хемијска отпорност.

Уобичајене мете за распршивање укључују метале као што су титанијум, алуминијум и бакар, као и једињења као што су индијум калај оксид (ИТО) и разни метални оксиди.Одабир одговарајућег циљаног материјала за распршивање је критичан за постизање жељених карактеристика и перформанси танкослојних премаза.

Које је величине мета за прскање?

Мете за распршивање долазе у различитим величинама у зависности од специфичних захтева процеса наношења танког филма и опреме за распршивање.Величина мете за прскање може се кретати од неколико центиметара до десетина центиметара у пречнику, а дебљина такође може варирати.

Величина мете за распршивање је одређена факторима као што су величина подлоге која се облаже, конфигурација система за распршивање и жељена брзина и униформност таложења.Поред тога, на величину мете за распршивање могу утицати специфични захтеви за наношење танког филма, као што су површина која се облаже и укупни параметри процеса.

Коначно, величина мете за распршивање је одабрана да обезбеди ефикасно и уједначено наношење филма на подлогу, задовољавајући специфичне потребе процеса танког филма у производњи полупроводника, оптичких премаза и другим сродним применама.

Како могу повећати брзину прскања?

Постоји неколико начина да се повећа брзина прскања у процесу прскања:

1. Оптимизација снаге и притиска: Подешавање параметара снаге и притиска у систему за распршивање може утицати на брзину распршивања.Повећање снаге и оптимизација услова притиска могу повећати брзину прскања, што доводи до бржег таложења танког филма.

2. Материјал и геометрија циља: Коришћење мета за распршивање са оптимизованом композицијом и геометријом материјала може побољшати брзину распршивања.Висококвалитетне, добро дизајниране мете за распршивање могу побољшати ефикасност распршивања и довести до већих стопа таложења.

3. Припрема површине мете: Правилно чишћење и кондиционирање циљне површине за распршивање може допринети повећању стопе распршивања.Обезбеђивање да циљна површина не садржи загађиваче и оксиде може побољшати ефикасност прскања.

4. Температура подлоге: Контролисање температуре подлоге може утицати на брзину распршивања.У неким случајевима, подизање температуре подлоге унутар одређеног опсега може довести до повећане брзине прскања и побољшаног квалитета филма.

5. Проток и састав гаса: Оптимизација протока и састава гаса у комори за распршивање може утицати на брзину распршивања.Подешавање протока гаса и коришћење одговарајућих мешавина гаса за распршивање може побољшати ефикасност процеса распршивања.

Пажљивим разматрањем ових фактора и оптимизацијом параметара процеса распршивања, могуће је повећати брзину распршивања и побољшати укупну ефикасност таложења танког филма у апликацијама за распршивање.