Волфрамова нит за имплантацију јона високе чистоће
Волфрамова жица за јонску имплантацију је кључна компонента која се користи у машинама за јонску имплантацију, углавном у процесима производње полупроводника. Ова врста волфрамове жице игра важну улогу у полупроводничкој опреми, а њен квалитет и перформансе директно утичу на ефикасност ИЦ процесних линија. Машина за јонску имплантацију је кључна опрема у производном процесу ВЛСИ (Вери Ларге Сцале Интегратед Цирцуит), а улога волфрамове жице као извора јона не може се занемарити.
| Димензије | Као ваши цртежи |
| Место порекла | Луоианг, Хенан |
| Бранд Наме | ФГД |
| Апликација | полупроводник |
| Површина | Црна кожа, алкално прање, сјај аутомобила, углачан |
| Чистоћа | 99,95% |
| Материјал | W1 |
| Густина | 19,3 г/цм3 |
| Стандарди извршења | ГБ/Т 4181-2017 |
| Тачка топљења | 3400℃ |
| Садржај нечистоћа | 0,005% |
| Главне компоненте | В＞99,95% |
| Садржај нечистоћа≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Наша фабрика се налази у граду Луоианг, провинција Хенан. Луоианг је производно подручје за руднике волфрама и молибдена, тако да имамо апсолутне предности у квалитету и цени;
2. Наша компанија има техничко особље са преко 15 година искуства, а ми пружамо циљана решења и предлоге за потребе сваког купца.
3. Сви наши производи пролазе строгу инспекцију квалитета пре извоза.
4. Ако примите неисправну робу, можете нас контактирати за повраћај новца.
1. Избор сировина
(Одаберите висококвалитетне сировине од волфрама да бисте осигурали чистоћу и механичка својства финалног производа. )
2. Топљење и пречишћавање
(Одабране сировине од волфрама се топе у контролисаном окружењу да би се уклониле нечистоће и постигла жељена чистоћа.)
3. Цртање жице
(Пречишћени материјал од волфрама се екструдира или провлачи кроз серију калупа да би се постигао потребан пречник жице и механичка својства.)
4.Аннеалинг
(Извучена волфрамова жица је жарена да би се елиминисао унутрашњи стрес и побољшала њена дуктилност и перформансе обраде )
5. Процес јонске имплантације
У овом конкретном случају, сама волфрамова нит може да се подвргне процесу јонске имплантације, у којој се јони убризгавају у површину волфрамове нити да би променили њена својства како би се побољшале перформансе јонског имплантатора.)
У процесу производње полупроводничких чипова, машина за имплантацију јона је једна од кључних опреме која се користи за пренос дијаграма кола чипа са маске на силиконску плочицу и постизање циљне функције чипа. Овај процес укључује кораке као што су хемијско механичко полирање, таложење танког филма, фотолитографија, јеткање и јонска имплантација, међу којима је јонска имплантација једно од важних средстава за побољшање перформанси силицијумских плочица. Примена машина за јонску имплантацију ефикасно контролише време и цену производње чипова, док истовремено побољшава перформансе и поузданост чипова.
Да, волфрамови филаменти су подложни контаминацији током процеса имплантације јона. До контаминације може доћи услед разних фактора, као што су заостали гасови, честице или нечистоће присутне у комори за имплантацију јона. Ови загађивачи могу да се залепе за површину волфрамовог филамента, утичући на његову чистоћу и потенцијално утичући на перформансе процеса имплантације јона. Због тога је одржавање чистог и контролисаног окружења унутар коморе за имплантацију јона кључно за минимизирање ризика од контаминације и обезбеђивање интегритета волфрамове нити. Редовне процедуре чишћења и одржавања такође могу помоћи у ублажавању потенцијалне контаминације током имплантације јона.
Волфрамова жица је позната по високој тачки топљења и одличним механичким својствима, што је чини отпорном на деформације у нормалним условима имплантације јона. Међутим, топлота настала током бомбардовања високоенергетским јонима и имплантације јона може да изазове изобличење током времена, посебно ако се параметри процеса не контролишу пажљиво.
Фактори као што су интензитет и трајање снопа јона и нивои температуре и напрезања које доживљава волфрамова жица могу допринети потенцијалу за деформацију. Поред тога, било какве нечистоће или дефекти у волфрамској жици ће погоршати подложност деформацијама.
Да би се смањио ризик од деформације, параметри процеса морају бити пажљиво праћени и контролисани, чистоћа и квалитет волфрамовог филамента морају бити обезбеђени, и морају се применити одговарајући протоколи одржавања и инспекције за опрему за имплантацију јона. Редовно процењивање стања и перформанси волфрам жице може помоћи да се идентификују сви знаци изобличења и предузму корективне мере по потреби.
