Filament tungsteni i implantimit të joneve me pastërti të lartë
Teli i tungstenit për implantimin e joneve është një komponent kyç i përdorur në makinat e implantimit të joneve, kryesisht në proceset e prodhimit të gjysmëpërçuesve. Ky lloj teli tungsteni luan një rol të rëndësishëm në pajisjet gjysmëpërçuese, dhe cilësia dhe performanca e tij ndikojnë drejtpërdrejt në efikasitetin e linjave të procesit IC. Makina e implantimit të joneve është një pajisje kyçe në procesin e prodhimit të VLSI (Qarku i Integruar në shkallë shumë të madhe), dhe roli i telit të tungstenit si një burim joni nuk mund të injorohet. ,
Dimensionet | Si vizatimet tuaja |
Vendi i origjinës | Luoyang, Henan |
Emri i markës | FGD |
Aplikimi | gjysmëpërçues |
Sipërfaqja | Lëkurë e zezë, larje me alkali, shkëlqim makinash, e lëmuar |
Pastërti | 99,95% |
Materiali | W1 |
Dendësia | 19.3 g/cm3 |
Standardet e ekzekutimit | GB/T 4181-2017 |
Pika e shkrirjes | 3400 ℃ |
Përmbajtja e papastërtive | 0,005% |
Komponentët kryesorë | W>99,95% |
Përmbajtja e papastërtisë≤ | |
Pb | 0.0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0.0005 |
C | 0.01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. Fabrika jonë ndodhet në qytetin Luoyang, Provinca Henan. Luoyang është një zonë prodhimi për minierat e tungstenit dhe molibdenit, kështu që ne kemi avantazhe absolute në cilësi dhe çmim;
2. Kompania jonë ka personel teknik me mbi 15 vjet përvojë dhe ne ofrojmë zgjidhje dhe sugjerime të synuara për nevojat e çdo klienti.
3. Të gjitha produktet tona i nënshtrohen inspektimit të rreptë të cilësisë përpara se të eksportohen.
4. Nëse merrni mallra me defekt, mund të na kontaktoni për rimbursim.
1.Përzgjedhja e lëndës së parë
(Zgjidhni lëndë të para të tungstenit me cilësi të lartë për të siguruar pastërtinë dhe vetitë mekanike të produktit përfundimtar. )
2. Shkrirja dhe pastrimi
(Lëndët e para të zgjedhura të tungstenit shkrihen në një mjedis të kontrolluar për të hequr papastërtitë dhe për të arritur pastërtinë e dëshiruar.)
3. Vizatim me tela
(Materiali i pastruar i tungstenit ekstrudohet ose tërhiqet përmes një serie makinerish për të arritur diametrin e kërkuar të telit dhe vetitë mekanike.)
4.Pjekja
(Teli i tungstenit i tërhequr është pjekur për të eliminuar stresin e brendshëm dhe për të përmirësuar duktilitetin e tij dhe performancën e përpunimit)
5. Procesi i implantimit të joneve
Në këtë rast të veçantë, vetë filamenti i tungstenit mund t'i nënshtrohet një procesi të implantimit të joneve, në të cilin jonet injektohen në sipërfaqen e filamentit të tungstenit për të ndryshuar vetitë e tij për të rritur performancën në implantuesin jonik.)
Në procesin e prodhimit të çipit gjysmëpërçues, makina e implantimit të joneve është një nga pajisjet kryesore që përdoret për të transferuar diagramin e qarkut të çipit nga maska në vaferën e silikonit dhe për të arritur funksionin e çipit të synuar. Ky proces përfshin hapa të tillë si lustrimi mekanik kimik, depozitimi i filmit të hollë, fotolitografia, gravurja dhe implantimi i joneve, ndër të cilët implantimi i joneve është një nga mjetet e rëndësishme për të përmirësuar performancën e vaferave të silikonit. Aplikimi i makinerive të implantimit të joneve kontrollon në mënyrë efektive kohën dhe koston e prodhimit të çipave, ndërkohë që përmirëson performancën dhe besueshmërinë e çipave. ,
Po, fijet e tungstenit janë të ndjeshme ndaj kontaminimit gjatë procesit të implantimit të joneve. Ndotja mund të ndodhë për shkak të një sërë faktorësh, të tillë si gazrat e mbetur, grimcat ose papastërtitë e pranishme në dhomën e implantimit të joneve. Këto ndotës mund të ngjiten në sipërfaqen e filamentit të tungstenit, duke ndikuar në pastërtinë e tij dhe duke ndikuar potencialisht në performancën e procesit të implantimit të joneve. Prandaj, mbajtja e një mjedisi të pastër dhe të kontrolluar brenda dhomës së implantimit të joneve është kritike për të minimizuar rrezikun e kontaminimit dhe për të siguruar integritetin e filamentit të tungstenit. Procedurat e rregullta të pastrimit dhe mirëmbajtjes mund të ndihmojnë gjithashtu në zbutjen e potencialit për kontaminim gjatë implantimit të joneve.
Teli tungsten është i njohur për pikën e tij të lartë të shkrirjes dhe vetitë e shkëlqyera mekanike, të cilat e bëjnë atë rezistent ndaj deformimeve në kushte normale të implantimit të joneve. Megjithatë, nxehtësia e gjeneruar gjatë bombardimit të joneve me energji të lartë dhe implantimit të joneve mund të shkaktojë shtrembërim me kalimin e kohës, veçanërisht nëse parametrat e procesit nuk kontrollohen me kujdes.
Faktorë të tillë si intensiteti dhe kohëzgjatja e rrezes jonike dhe nivelet e temperaturës dhe stresit të përjetuara nga teli i tungstenit mund të kontribuojnë të gjithë në potencialin për deformim. Për më tepër, çdo papastërti ose defekt në telin e tungstenit do të përkeqësojë ndjeshmërinë ndaj deformimit.
Për të zvogëluar rrezikun e deformimit, parametrat e procesit duhet të monitorohen dhe kontrollohen me kujdes, duhet të sigurohet pastërtia dhe cilësia e filamentit të tungstenit dhe duhet të zbatohen protokollet e duhura të mirëmbajtjes dhe inspektimit për pajisjet e implantimit të joneve. Vlerësimi i rregullt i gjendjes dhe performancës së telit të tungstenit mund të ndihmojë në identifikimin e çdo shenje shtrembërimi dhe marrjen e veprimeve korrigjuese sipas nevojës.