Filament tungsteni i implantimit të joneve me pastërti të lartë

Përshkrimi i shkurtër:

Filamenti i tungstenit për implantimin e joneve me pastërti të lartë është një filament i përdorur në pajisjet e implantimit të joneve. Është projektuar për t'i bërë ballë kushteve të vështira të procesit të implantimit të joneve, ku jonet përshpejtohen dhe injektohen në materialin e synuar.


Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Përshkrimet e produkteve

Teli i tungstenit për implantimin e joneve është një komponent kyç i përdorur në makinat e implantimit të joneve, kryesisht në proceset e prodhimit të gjysmëpërçuesve. Ky lloj teli tungsteni luan një rol të rëndësishëm në pajisjet gjysmëpërçuese, dhe cilësia dhe performanca e tij ndikojnë drejtpërdrejt në efikasitetin e linjave të procesit IC. Makina e implantimit të joneve është një pajisje kyçe në procesin e prodhimit të VLSI (Qarku i Integruar në shkallë shumë të madhe), dhe roli i telit të tungstenit si një burim joni nuk mund të injorohet. ,

Specifikimet e produktit

Dimensionet Si vizatimet tuaja
Vendi i origjinës Luoyang, Henan
Emri i markës FGD
Aplikimi gjysmëpërçues
Sipërfaqja Lëkurë e zezë, larje me alkali, shkëlqim makinash, e lëmuar
Pastërti 99,95%
Materiali W1
Dendësia 19.3 g/cm3
Standardet e ekzekutimit GB/T 4181-2017
Pika e shkrirjes 3400 ℃
Përmbajtja e papastërtive 0,005%
Implantimi jonik i filamentit të tungstenit

Përbërja Kimike

Komponentët kryesorë

W>99,95%

Përmbajtja e papastërtive≤

Pb

0.0005

Fe

0,0020

S

0,0050

P

0.0005

C

0.01

Cr

0,0010

Al

0,0015

Cu

0,0015

K

0,0080

N

0,003

Sn

0,0015

Si

0,0020

Ca

0,0015

Na

0,0020

O

0,008

Ti

0,0010

Mg

0,0010

Shkalla e avullimit të metaleve zjarrduruese

Presioni i avullit të metaleve zjarrdurues

Pse Na zgjidhni

1. Fabrika jonë ndodhet në qytetin Luoyang, Provinca Henan. Luoyang është një zonë prodhimi për minierat e tungstenit dhe molibdenit, kështu që ne kemi avantazhe absolute në cilësi dhe çmim;

2. Kompania jonë ka personel teknik me mbi 15 vjet përvojë dhe ne ofrojmë zgjidhje dhe sugjerime të synuara për nevojat e çdo klienti.

3. Të gjitha produktet tona i nënshtrohen inspektimit të rreptë të cilësisë përpara se të eksportohen.

4. Nëse merrni mallra me defekt, mund të na kontaktoni për rimbursim.

Implantimi jonik i filamentit të tungstenit (2)

Rrjedha e prodhimit

1.Përzgjedhja e lëndës së parë

(Zgjidhni lëndë të para të tungstenit me cilësi të lartë për të siguruar pastërtinë dhe vetitë mekanike të produktit përfundimtar. ‌)

2. Shkrirja dhe pastrimi

(Lëndët e para të zgjedhura të tungstenit shkrihen në një mjedis të kontrolluar për të hequr papastërtitë dhe për të arritur pastërtinë e dëshiruar.)

3. Vizatim me tela

(Materiali i pastruar i tungstenit ekstrudohet ose tërhiqet përmes një serie makinerish për të arritur diametrin e kërkuar të telit dhe vetitë mekanike.)

4.Pjekja

(Teli i tungstenit i tërhequr është pjekur për të eliminuar stresin e brendshëm dhe për të përmirësuar duktilitetin dhe performancën e përpunimit të tij)

5. Procesi i implantimit të joneve

Në këtë rast të veçantë, vetë filamenti i tungstenit mund t'i nënshtrohet një procesi të implantimit të joneve, në të cilin jonet injektohen në sipërfaqen e filamentit të tungstenit për të ndryshuar vetitë e tij për të rritur performancën në implantuesin jonik.)

Aplikacionet

Në procesin e prodhimit të çipit gjysmëpërçues, makina e implantimit të joneve është një nga pajisjet kryesore që përdoret për të transferuar diagramin e qarkut të çipit nga maska ​​në vaferën e silikonit dhe për të arritur funksionin e çipit të synuar. Ky proces përfshin hapa të tillë si lustrimi mekanik kimik, depozitimi i filmit të hollë, fotolitografia, gravurja dhe implantimi i joneve, ndër të cilët implantimi i joneve është një nga mjetet e rëndësishme për të përmirësuar performancën e vaferave të silikonit. Aplikimi i makinerive të implantimit të joneve kontrollon në mënyrë efektive kohën dhe koston e prodhimit të çipave, ndërkohë që përmirëson performancën dhe besueshmërinë e çipave. ,

Implantimi jonik i filamentit të tungstenit (3)

Certifikatat

Dëshmitë

水印1
水印2

Diagrami i transportit

1
2
3
Implantimi jonik i filamentit të tungstenit (4)

FAQES

A do të kontaminohet tela tungsteni gjatë implantimit të joneve?

Po, fijet e tungstenit janë të ndjeshme ndaj kontaminimit gjatë procesit të implantimit të joneve. Ndotja mund të ndodhë për shkak të një sërë faktorësh, të tillë si gazrat e mbetur, grimcat ose papastërtitë e pranishme në dhomën e implantimit të joneve. Këto ndotës mund të ngjiten në sipërfaqen e filamentit të tungstenit, duke ndikuar në pastërtinë e tij dhe duke ndikuar potencialisht në performancën e procesit të implantimit të joneve. Prandaj, mbajtja e një mjedisi të pastër dhe të kontrolluar brenda dhomës së implantimit të joneve është kritike për të minimizuar rrezikun e kontaminimit dhe për të siguruar integritetin e filamentit të tungstenit. Procedurat e rregullta të pastrimit dhe mirëmbajtjes mund të ndihmojnë gjithashtu në zbutjen e potencialit për kontaminim gjatë implantimit të joneve.

A do të deformohet teli tungsten gjatë implantimit të joneve?

Teli tungsten është i njohur për pikën e tij të lartë të shkrirjes dhe vetitë e shkëlqyera mekanike, të cilat e bëjnë atë rezistent ndaj deformimeve në kushte normale të implantimit të joneve. Megjithatë, nxehtësia e gjeneruar gjatë bombardimit të joneve me energji të lartë dhe implantimit të joneve mund të shkaktojë shtrembërim me kalimin e kohës, veçanërisht nëse parametrat e procesit nuk kontrollohen me kujdes.

Faktorë të tillë si intensiteti dhe kohëzgjatja e rrezes jonike dhe nivelet e temperaturës dhe stresit të përjetuara nga teli i tungstenit mund të kontribuojnë të gjithë në potencialin për deformim. Për më tepër, çdo papastërti ose defekt në telin e tungstenit do të përkeqësojë ndjeshmërinë ndaj deformimit.

Për të zvogëluar rrezikun e deformimit, parametrat e procesit duhet të monitorohen dhe kontrollohen me kujdes, duhet të sigurohet pastërtia dhe cilësia e filamentit të tungstenit dhe duhet të zbatohen protokollet e duhura të mirëmbajtjes dhe inspektimit për pajisjet e implantimit të joneve. Vlerësimi i rregullt i gjendjes dhe performancës së telit të tungstenit mund të ndihmojë në identifikimin e çdo shenje shtrembërimi dhe marrjen e veprimeve korrigjuese sipas nevojës.


  • E mëparshme:
  • Tjetër:

  • Shkruani mesazhin tuaj këtu dhe na dërgoni