Pane danda reiyoni remhepo rakakomba kuita chinhu chakasimba, danda reiyoni kusvika kune yakasimba maatomu ezvinhu kana mamorekuru kuita chinhu chakasimba, chiitiko ichi chinodaidzwa kuti ion beam sputtering; uye kana chinhu chakasimba, pamusoro pechinhu chakasimba chichidzokera shure, kana kunze kwechinhu chakasimba kune izvi zviitiko zvinonzi kuparadzira; pane chimwe chiitiko ndechekuti mushure meiyo ion danda kune yakasimba zvinhu nezvinhu zvakasimba uye kuderedza kupikisa zvishoma nezvishoma pasi, uye pakupedzisira kugara muzvinhu zvakasimba, chiitiko ichi chinonzi ion implantation.
Ion implantation nzira:
Imhando yezvigadzirwa zvekugadzirisa tekinoroji iyo yakagadzira nekukurumidza uye kushandiswa zvakanyanya munyika mumakore makumi matatu apfuura. Nheyo yakakosha ndeyekushandisa simba reiyo ion beam chiitiko kune iyo 100keV zvinhu kune ion danda uye zvinhu zveatomu kana mamorekuru zvichave zvakatevedzana zvemuviri nemakemikari kudyidzana, chiitiko ion kurasikirwa kwesimba zvishoma nezvishoma, yekupedzisira kumira mukati. izvo zvinhu, uye kukonzera chimiro uye zvimiro zvezvinhu zvekuumbwa kwepamusoro, shanduko. Kuti ugone kukwirisa pamusoro pezvinhu zvezvinhu, kana kuwana zvimwe zvitsva zvivakwa. Iyo tekinoroji nyowani nekuda kweiyo yakasarudzika mabhenefiti, yave mune doped semiconductor zvinhu, simbi, ceramic, polymer, kugadziridzwa kwepamusoro kunoshandiswa zvakanyanya, yakawana mabhenefiti makuru ehupfumi nemagariro.
Ion implantation seyakakosha doping tekinoroji mune micro electronic tekinoroji inoita basa rakakosha mukugadzirisa zvinhu zvepamusoro zvezvinhu. Ion implantation tekinoroji yakanyanya kupisa tembiricha kuita uye kuramba kupikisa makemikari ekuora kwezvinhu. Nokudaro, zvikamu zvikuru zvekamuri yeionization yakagadzirwa ne tungsten, molybdenum kana graphite zvinhu. Gemei makore ekutsvagisa indasitiri uye kugadzirwa neion kuisirwa tungsten molybdenum zvinhu, maitiro ekugadzira ane yakagadzikana uye akapfuma ruzivo.
Zvigadzirwa Zvinopisa zveIon Implantation
