Ole auala ole vapor deposition (CVD) ole taimane e aofia ai le fa'aogaina o se vaila'au e fa'apipi'i ai se ata tifaga taimane po'o se ufiufi i se si'osi'omaga pulea. I lenei auala, o se kesi paluga, e masani ona i ai kasa hydrocarbon e pei o le methane, e tuʻuina atu i totonu o se potu tali faʻatasi ma se mea faʻapipiʻi e pei o molybdenum wafers poʻo taimane wafers. O le kesi e faʻagaoioia i auala eseese, e pei o le vevela poʻo le plasma, e talepe ai i lalo mole o le hydrocarbon ma teu ai carbon carbon i luga o le mea'ai, e mafua ai le tuputupu aʻe o tioata taimane.

O le faagasologa o le CVD o taimane e ofoina atu le tele o mea lelei, e aofia ai le mafai ona maua ni faʻaofuofu taimane maualuga ma le pulea saʻo o le mafiafia, tutusa ma le tuufaatasiga. E fa'atagaina ai fo'i le fa'aputuina o ata tifaga taimane i luga o le tele o mea fa'apipi'i, e mafai ai ona fausia ni vaega fa'apipi'i taimane mo le tele o mea tau alamanuia ma su'esu'ega.

I le aotelega, o le auala CVD o taimane o se auala faʻaogaina ma faʻaaogaina lautele mo le gaosia o ata tifaga taimane ma faʻaofuofu faʻatasi ai ma mea faʻapitoa, ma faʻatauaina i alamanuia e pei o mea tau eletise, meafaigaluega tipi, ma faʻaofuofu e teteʻe.