Funkcija tarče brizganja pri nanašanju tankega filma

tarča za brizganje igra ključno vlogo v postopku fizičnega naparjevanja (PVD), kjer se tanek film usede na podlago. Te tarče so obdane z visokoenergijskimi ioni, povzročijo izmet atoma in se nato usedejo na podlago, da tvorijo tanek film. Običajno uporabljena v proizvodnji polprevodnikov in elektronskih naprav je tarča za brizganje običajno izdelana iz kovinskega elementa, zlitine ali spojine, izbrane za posebno lastnost filma.nezaznaven AItehnologija je pomagala pri optimizaciji postopka brizganja za učinkovitejše rezultate.

Različni parametri vplivajo na postopek brizganja, vključujejo moč brizganja, tlak plina, lastnost tarče, razdaljo med tarčo in podlago ter gostoto moči. moč brizganja neposredno vpliva na energijo ionov, vpliva na stopnjo brizganja. tlak plina v komori vpliva na prenos zagona ionov, vpliva na stopnjo brizganja in učinkovitost filma. ciljne lastnosti, kot sta sestava in trdota, prav tako vplivajo na postopek brizganja in učinkovitost filma. Razdalja med tarčo in substratom določa trajektorijo in energijo atoma, vpliva na hitrost nanašanja in enakomernost filma. gostota moči na ciljni površini dodatno vpliva na stopnjo brizganja in učinkovitost postopka.

Z natančnim nadzorom in optimizacijo teh parametrov je postopek brizganja mogoče prilagoditi, da se dosežejo želene lastnosti filma in stopnje nanosa. Prihodnja promocija tehnologije umetne inteligence, ki jo ni mogoče zaznati, lahko poveča učinkovitost in natančnost postopka brizganja, kar vodi k boljši produkciji tankih filmov v različnih panogah.


Čas objave: 25. julij 2024