Existuje vážny vzduchový iónový lúč do pevného materiálu, iónový lúč k atómom alebo molekulám pevného materiálu na povrchu pevného materiálu, tento jav sa nazýva rozprašovanie iónového lúča; a keď sa pevný materiál, povrch pevného materiálu odrazí späť alebo od pevného materiálu k týmto javom, nazýva sa rozptyl; tam je ďalší jav je, že po lúče iónov do pevného materiálu pevným materiálom a znižuje odpor pomaly dole, a nakoniec zostať v pevných materiáloch, tento jav sa nazýva iónová implantácia.
Technika iónovej implantácie:
Je to druh technológie povrchovej úpravy materiálov, ktorá sa za posledných 30 rokov rýchlo vyvinula a vo svete sa široko používa. Základným princípom je využitie energie iónového lúča dopadajúceho rádovo 100 keV materiálu na iónový lúč a materiály atómov alebo molekúl budú sériou fyzikálnych a chemických interakcií, pričom energia dopadajúceho iónu sa stratí postupne, posledná zastávka v materiálu a spôsobujú zmenu štruktúry a vlastností zloženia povrchu materiálu. S cieľom optimalizovať povrchové vlastnosti materiálov, prípadne získať nejaké nové vlastnosti. Nová technológia, vďaka svojim jedinečným výhodám, bola v dopovanom polovodičovom materiáli, kovu, keramike, polymére, povrchová úprava je široko používaná, dosiahla veľké ekonomické a sociálne výhody.
Iónová implantácia ako dôležitá dopingová technológia v mikroelektronickej technológii hrá kľúčovú úlohu pri optimalizácii povrchových vlastností materiálov. Technológia iónovej implantácie je výkon pri veľmi vysokej teplote a odolnosť materiálu voči chemickej korózii. Preto sú hlavné časti ionizačnej komory vyrobené z volfrámových, molybdénových alebo grafitových materiálov. Gemei rokov priemyselného výskumu a výroby iónovou implantáciou volfrámového molybdénového materiálu, výrobný proces má stabilné a bohaté skúsenosti.
Horúce produkty pre iónovú implantáciu
