Iónové implantačné volfrámové vlákno s vysokou čistotou
Iónový implantačný volfrámový drôt je kľúčovým komponentom používaným v strojoch na implantáciu iónov, najmä v procesoch výroby polovodičov. Tento typ volfrámového drôtu hrá dôležitú úlohu v polovodičových zariadeniach a jeho kvalita a výkon priamo ovplyvňujú účinnosť procesných liniek IC. Iónový implantačný stroj je kľúčovým zariadením vo výrobnom procese VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) a nemožno ignorovať úlohu volfrámového drôtu ako zdroja iónov.
| Rozmery | Ako vaše kresby |
| Miesto pôvodu | Luoyang, Henan |
| Názov značky | FGD |
| Aplikácia | polovodič |
| Povrch | Čierna koža, alkalické umývanie, lesk auta, leštené |
| Čistota | 99,95 % |
| Materiál | W1 |
| Hustota | 19,3 g/cm3 |
| Normy vykonávania | GB/T 4181-2017 |
| Teplota topenia | 3400 ℃ |
| Obsah nečistôt | 0,005 % |
| Hlavné komponenty | W＞ 99,95 % |
| Obsah nečistôt≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Naša továreň sa nachádza v meste Luoyang v provincii Henan. Luoyang je oblasť výroby volfrámových a molybdénových baní, takže máme absolútne výhody v kvalite a cene;
2. Naša spoločnosť má technický personál s viac ako 15-ročnými skúsenosťami a poskytujeme cielené riešenia a návrhy pre potreby každého zákazníka.
3. Všetky naše výrobky prechádzajú pred exportom prísnou kontrolou kvality.
4. Ak dostanete chybný tovar, môžete nás kontaktovať so žiadosťou o vrátenie peňazí.
1. Výber surovín
(Vyberte vysokokvalitné volfrámové suroviny, aby ste zabezpečili čistotu a mechanické vlastnosti konečného produktu. )
2. Tavenie a čistenie
(Vybrané volfrámové suroviny sa tavia v kontrolovanom prostredí, aby sa odstránili nečistoty a dosiahla sa požadovaná čistota.)
3. Drôtovanie
(Čistený volfrámový materiál sa vytláča alebo ťahá cez sériu lisovníc, aby sa dosiahol požadovaný priemer drôtu a mechanické vlastnosti.)
4.Žíhanie
(Ťahaný volfrámový drôt je žíhaný, aby sa eliminovalo vnútorné napätie a zlepšila sa jeho ťažnosť a spracovateľský výkon )
5. Proces iónovej implantácie
V tomto konkrétnom prípade môže samotné volfrámové vlákno prejsť procesom implantácie iónov, pri ktorom sa ióny vstrekujú do povrchu volfrámového vlákna, aby sa zmenili jeho vlastnosti, aby sa zlepšil výkon v iónovom implantátore.)
V procese výroby polovodičových čipov je stroj na implantáciu iónov jedným z kľúčových zariadení používaných na prenos schémy obvodu čipu z masky na kremíkový plátok a na dosiahnutie cieľovej funkcie čipu. Tento proces zahŕňa kroky, ako je chemické mechanické leštenie, nanášanie tenkých vrstiev, fotolitografia, leptanie a implantácia iónov, medzi ktorými je implantácia iónov jedným z dôležitých prostriedkov na zlepšenie výkonu kremíkových doštičiek. Aplikácia strojov na implantáciu iónov efektívne kontroluje čas a náklady na výrobu čipov a zároveň zlepšuje výkon a spoľahlivosť čipov.
Áno, volfrámové vlákna sú počas procesu implantácie iónov náchylné na kontamináciu. Ku kontaminácii môže dôjsť v dôsledku rôznych faktorov, ako sú zvyškové plyny, častice alebo nečistoty prítomné v komore na implantáciu iónov. Tieto kontaminanty môžu priľnúť k povrchu volfrámového vlákna, čo ovplyvňuje jeho čistotu a potenciálne ovplyvňuje výkon procesu implantácie iónov. Preto je udržiavanie čistého a kontrolovaného prostredia v komore na implantáciu iónov rozhodujúce pre minimalizáciu rizika kontaminácie a zabezpečenie integrity volfrámového vlákna. Pravidelné postupy čistenia a údržby môžu tiež pomôcť zmierniť potenciál kontaminácie počas implantácie iónov.
Volfrámový drôt je známy svojou vysokou teplotou topenia a vynikajúcimi mechanickými vlastnosťami, vďaka ktorým je odolný voči deformácii za normálnych podmienok implantácie iónov. Teplo generované počas bombardovania vysokoenergetickými iónmi a implantácie iónov však môže časom spôsobiť skreslenie, najmä ak parametre procesu nie sú starostlivo kontrolované.
Faktory, ako je intenzita a trvanie iónového lúča a úroveň teploty a napätia, ktorým je volfrámový drôt vystavený, môžu prispieť k potenciálu deformácie. Okrem toho akékoľvek nečistoty alebo chyby vo volfrámovom drôte zhoršia náchylnosť na deformáciu.
Aby sa znížilo riziko deformácie, parametre procesu sa musia starostlivo monitorovať a kontrolovať, musí sa zabezpečiť čistota a kvalita volfrámového vlákna a musia sa zaviesť vhodné protokoly údržby a kontroly pre zariadenie na implantáciu iónov. Pravidelné hodnotenie stavu a výkonu volfrámového drôtu môže pomôcť identifikovať akékoľvek známky skreslenia a podľa potreby prijať nápravné opatrenia.
