රික්ත ආලේපනය සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටයිටේනියම් ඉසින ඉලක්කය
ස්පුටර් ඉලක්ක යනු භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) ක්රියාවලීන්හි, විශේෂයෙන් ඉසින තාක්ෂණයේදී භාවිතා වන ඉහළ සංශුද්ධතාවයකි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, දෘශ්ය ආලේපන සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග සඳහා තුනී පටල තැන්පත් කිරීම ඇතුළු විවිධ කර්මාන්තවල උපස්ථර මත තුනී පටල සෑදීමට මෙම ද්රව්ය භාවිතා කරයි.
ස්පුටර් ඉලක්ක ද්රව්ය ලෝහ, මිශ්ර ලෝහ, ඔක්සයිඩ් සහ නයිට්රයිඩ ඇතුළු විවිධ මූලද්රව්ය සහ සංයෝග වලින් සෑදිය හැක. ස්පුටර් ඉලක්ක ද්රව්ය තෝරාගැනීම විද්යුත් සන්නායකතාව, දෘශ්ය ගුණ, දෘඪතාව සහ රසායනික ප්රතිරෝධය වැනි තුනී පටල ආලේපනය සඳහා අවශ්ය විශේෂිත ගුණාංග මත රඳා පවතී.
ටයිටේනියම්, ඇලුමිනියම් සහ තඹ වැනි ලෝහ මෙන්ම ඉන්ඩියම් ටින් ඔක්සයිඩ් (ITO) සහ විවිධ ලෝහ ඔක්සයිඩ වැනි සංයෝග ද සාමාන්ය ඉසීම ඉලක්ක වේ. තුනී පටල ආලේපනවල අපේක්ෂිත ලක්ෂණ සහ කාර්ය සාධනය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා සුදුසු ඉසින ඉලක්ක ද්රව්ය තෝරා ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ.
තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලියේ සහ ස්පුටර් කිරීමේ උපකරණවල නිශ්චිත අවශ්යතා මත ස්පුටරින් ඉලක්ක විවිධ ප්රමාණවලින් පැමිණේ. ඉසින ඉලක්කයේ විශාලත්වය සෙන්ටිමීටර කිහිපයක සිට සෙන්ටිමීටර දස දහස් ගණනක් දක්වා විෂ්කම්භයක් විය හැකි අතර ඝණකම ද වෙනස් විය හැක.
ආලේප කළ යුතු උපස්ථරයේ ප්රමාණය, ස්පුටරින් පද්ධතියේ වින්යාසය සහ අපේක්ෂිත තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ ඒකාකාරිත්වය වැනි සාධක මගින් ස්පටරින් ඉලක්කයේ ප්රමාණය තීරණය වේ. අතිරේකව, ආලේප කළ යුතු ප්රදේශය සහ සමස්ත ක්රියාවලි පරාමිතීන් වැනි තුනී පටල යෙදුමේ විශේෂිත අවශ්යතා මගින් ඉසින ඉලක්කයේ ප්රමාණය බලපෑ හැකිය.
අවසාන වශයෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, දෘශ්ය ආලේපන සහ අනෙකුත් අදාළ යෙදුම්වල තුනී පටල ආලේපන ක්රියාවලියේ නිශ්චිත අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා උපස්ථරය මත චිත්රපටය කාර්යක්ෂම හා ඒකාකාරව තැන්පත් කිරීම සහතික කිරීම සඳහා ස්පුටර් ඉලක්කයේ ප්රමාණය තෝරා ගනු ලැබේ.
ස්පුටර් කිරීමේ ක්රියාවලියක දී ඉසීමේ වේගය වැඩි කිරීමට ක්රම කිහිපයක් තිබේ:
1. බලය සහ පීඩන ප්රශස්තිකරණය: ස්පුටරින් පද්ධතියේ බලය සහ පීඩන පරාමිතීන් සකස් කිරීම ස්පටරින් අනුපාතයට බලපෑම් කළ හැකිය. බලය වැඩි කිරීම සහ පීඩන තත්ත්වයන් ප්රශස්ත කිරීම මගින් ස්පුටරින් අනුපාතය වැඩි දියුණු කළ හැකි අතර, තුනී පටලය වේගයෙන් තැන්පත් වීමට හේතු වේ.
2. ඉලක්ක ද්රව්ය සහ ජ්යාමිතිය: ප්රශස්ත ද්රව්ය සංයුතිය සහ ජ්යාමිතිය සමඟ ඉසින ඉලක්ක භාවිතා කිරීමෙන් ඉසින වේගය වැඩි දියුණු කළ හැක. උසස් තත්ත්වයේ, හොඳින් සැලසුම් කරන ලද ඉසින ඉලක්ක මඟින් ස්පුටර් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව ඉහළ නැංවීමට සහ ඉහළ තැන්පත් වීමේ අනුපාතවලට තුඩු දිය හැකිය.
3. ඉලක්ක මතුපිට සකස් කිරීම: ඉසින ඉලක්ක මතුපිට නිසි ලෙස පිරිසිදු කිරීම සහ සමීකරණය කිරීම ඉසින අනුපාතය වැඩි කිරීමට දායක විය හැක. ඉලක්කගත පෘෂ්ඨය අපවිත්ර ද්රව්යවලින් සහ ඔක්සයිඩවලින් තොර බව සහතික කිරීම මඟින් ස්පුටර් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැක.
4. උපස්ථර උෂ්ණත්වය: උපස්ථර උෂ්ණත්වය පාලනය කිරීම ඉසින අනුපාතයට බලපෑම් කළ හැකිය. සමහර අවස්ථාවලදී, යම් පරාසයක් තුළ උපස්ථර උෂ්ණත්වය ඉහළ නැංවීම, ඉසින අනුපාත වැඩි කිරීමට සහ චිත්රපටයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩි කිරීමට හේතු විය හැක.
5. ගෑස් ප්රවාහය සහ සංයුතිය: ස්පුටරින් කුටියේ වායු ප්රවාහය සහ සංයුතිය ප්රශස්ත කිරීම ස්පුටරින් අනුපාතයට බලපෑ හැකිය. ගෑස් ප්රවාහ අනුපාත ගැලපීම සහ සුදුසු ස්පුටරින් වායු මිශ්රණ භාවිතා කිරීමෙන් ඉසින ක්රියාවලියේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කළ හැක.
මෙම සාධක පරෙස්සමින් සලකා බැලීමෙන් සහ ස්පුටරින් ක්රියාවලි පරාමිතීන් ප්රශස්ත කිරීමෙන්, ස්පුටරින් අනුපාතය වැඩි කිරීමට සහ ස්පුටරින් යෙදුම්වල තුනී පටල තැන්පත් වීමේ සමස්ත කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීමට හැකි වේ.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com