سخت مادي ۾ هڪ سنگين ايئر آئن شعاع هوندو آهي، آئن شعاع کي سڪل مادي جي ايٽم يا ماليڪيولن کي مضبوط مادي سطح تي، هن رجحان کي آئن بيم اسپٽرنگ سڏيو ويندو آهي. ۽ جڏهن جامد مادو، سڪل مادي جي مٿاڇري کي پوئتي ڌڪي، يا انهن واقعن ڏانهن جامد مادي کان ٻاهر نڪري وڃي، ان کي اسڪيٽرنگ چئبو آهي؛ هڪ ٻيو واقعو اهو آهي ته آئن شعاع کان پوءِ جامد مادو سان ٺهڪندڙ مادو ۽ مزاحمت آهستي آهستي گهٽجي وڃي، ۽ آخرڪار جامد مادي ۾ رهي، ان رجحان کي آئن امپلانٽيشن چئبو آهي.
آئن امپلانٽيشن ٽيڪنڪ:
مواد جي مٿاڇري جي ترميمي ٽيڪنالاجي جو هڪ قسم آهي جنهن تيزي سان ترقي ڪئي آهي ۽ وڏي پيماني تي گذريل 30 سالن ۾ دنيا ۾ استعمال ڪيو ويو آهي. بنيادي اصول اهو آهي ته آئن بيم واقعي جي توانائي کي 100keV مواد جي آئن بيم جي ترتيب ۾ استعمال ڪيو وڃي ۽ ايٽم يا ماليڪيولز جو مواد جسماني ۽ ڪيميائي رابطي جو هڪ سلسلو هوندو، واقعي جي آئن توانائي جو نقصان بتدريج، آخري اسٽاپ ۾. مواد، ۽ مادي جي مٿاڇري جي جوڙجڪ جي ساخت ۽ خاصيتن جو سبب، تبديلي. مواد جي مٿاڇري جي خاصيتن کي بهتر ڪرڻ لاء، يا ڪجهه نئين ملڪيت حاصل ڪرڻ لاء. نئين ٽيڪنالاجي ان جي منفرد فائدن جي ڪري، doped semiconductor مواد ۾ ڪيو ويو آهي، ڌاتو، ceramic، پوليمر، مٿاڇري ترميمي وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويندو آهي، وڏي اقتصادي ۽ سماجي فائدا حاصل ڪري چڪو آهي.
آئن امپلانٽيشن هڪ اهم ڊوپنگ ٽيڪنالاجي جي طور تي مائڪرو اليڪٽرانڪ ٽيڪنالاجي ۾ مواد جي سطح جي خاصيتن کي بهتر ڪرڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿي. آئن امپلانٽيشن ٽيڪنالاجي تمام اعلي درجه حرارت جي ڪارڪردگي ۽ مواد جي ڪيميائي corrosion مزاحمت جي مزاحمت آهي. تنهن ڪري، آئنائيزيشن چيمبر جا مکيه حصا ٽنگسٽن، موليبڊينم يا گرافائٽ مواد مان ٺهيل آهن. tungsten molybdenum مواد جي آئن امپلانٽيشن پاران صنعت جي تحقيق ۽ پيداوار جي Gemei سالن، پيداوار جي عمل کي مستحڪم ۽ امير تجربو ڪيو آهي.