Există un fascicul de ioni de aer serios într-un material solid, fascicul de ioni către atomi de material solid sau molecule în suprafața materialului solid, acest fenomen se numește pulverizare cu fascicul de ioni; și atunci când materialul solid, suprafața materialului solid a revenit înapoi sau din material solid la aceste fenomene se numește împrăștiere; Există un alt fenomen este că, după fascicul de ioni la materialul solid de material solid și reduce rezistența încet, și în cele din urmă rămâne în materiale solide, acest fenomen se numește implantare ionică.
Tehnica implantării ionice:
Este un fel de tehnologie de modificare a suprafeței materialelor care s-a dezvoltat rapid și pe scară largă în lume în ultimii 30 de ani. Principiul de bază este de a utiliza energia fasciculului ionic incident de ordinul materialului de 100 keV la fascicul de ioni și materialele atomilor sau moleculelor vor fi o serie de interacțiuni fizice și chimice, pierderea de energie ionică incidentă treptat, ultima oprire în materialul și provoacă modificarea structurii și proprietăților compoziției suprafeței materialului. Pentru a optimiza proprietățile de suprafață ale materialelor, sau pentru a obține unele proprietăți noi. Noua tehnologie, datorită avantajelor sale unice, a fost în materialul semiconductor dopat, metal, ceramică, polimer, modificarea suprafeței este utilizată pe scară largă, a obținut mari beneficii economice și sociale.
Implantarea ionică ca tehnologie de dopaj importantă în tehnologia micro electronică joacă un rol cheie în optimizarea proprietăților de suprafață ale materialelor. Tehnologia de implantare ionică are performanță la temperaturi foarte ridicate și rezistență la coroziune chimică a materialului. Prin urmare, părțile principale ale camerei de ionizare sunt realizate din materiale de wolfram, molibden sau grafit. Gemei ani de cercetare în industrie și producție prin implantare ionică de material tungsten molibden, procesul de producție are o experiență stabilă și bogată.
Produse fierbinți pentru implantarea ionică
