Filament de wolfram cu implantare ionică de înaltă puritate
Firul de tungsten pentru implantare ionică este o componentă cheie utilizată în mașinile de implantare ionică, în principal în procesele de fabricație a semiconductorilor. Acest tip de sârmă de tungsten joacă un rol important în echipamentele semiconductoare, iar calitatea și performanța acestuia afectează direct eficiența liniilor de proces IC. Mașina de implantare ionică este un echipament cheie în procesul de fabricație al VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), iar rolul firului de tungsten ca sursă de ioni nu poate fi ignorat.
Dimensiuni | Ca desenele tale |
Locul de origine | Luoyang, Henan |
Nume de marcă | FGD |
Aplicație | semiconductor |
Suprafaţă | Piele neagră, spălare alcalină, strălucire auto, lustruită |
Puritate | 99,95% |
Material | W1 |
Densitate | 19,3 g/cm3 |
Standarde de execuție | GB/T 4181-2017 |
Punct de topire | 3400℃ |
Conținut de impurități | 0,005% |
Componentele principale | W>99,95% |
Conținut de impurități≤ | |
Pb | 0,0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0,0005 |
C | 0,01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. Fabrica noastră este situată în orașul Luoyang, provincia Henan. Luoyang este o zonă de producție pentru mine de wolfram și molibden, așa că avem avantaje absolute în calitate și preț;
2. Compania noastră dispune de personal tehnic cu peste 15 ani de experiență și oferim soluții și sugestii specifice pentru nevoile fiecărui client.
3. Toate produsele noastre sunt supuse unei inspecții stricte de calitate înainte de a fi exportate.
4. Dacă primiți mărfuri defecte, ne puteți contacta pentru o rambursare.
1.Selectarea materiei prime
(Selectați materii prime de wolfram de înaltă calitate pentru a asigura puritatea și proprietățile mecanice ale produsului final. )
2. Topire și purificare
(Materiile prime de wolfram selectate sunt topite într-un mediu controlat pentru a îndepărta impuritățile și pentru a obține puritatea dorită.)
3. Trefilare
(Materialul de wolfram purificat este extrudat sau tras printr-o serie de matrițe pentru a obține diametrul și proprietățile mecanice necesare.)
4.Recoace
(Firul de wolfram tras este recoacet pentru a elimina stresul intern și pentru a-și îmbunătăți ductilitatea și performanța de procesare )
5. Procesul de implantare ionică
În acest caz particular, filamentul de tungsten în sine poate suferi un proces de implantare ionică, în care ionii sunt injectați în suprafața filamentului de wolfram pentru a-și schimba proprietățile pentru a îmbunătăți performanța în implantorul de ioni.)
În procesul de producție a cipurilor semiconductoare, mașina de implantare ionică este unul dintre echipamentele cheie utilizate pentru a transfera schema circuitului cipului de la mască pe placă de siliciu și pentru a atinge funcția cip țintă. Acest proces include pași precum lustruirea mecanică chimică, depunerea de peliculă subțire, fotolitografia, gravarea și implantarea ionică, printre care implantarea ionică este unul dintre mijloacele importante de îmbunătățire a performanței plachetelor de siliciu. Aplicarea mașinilor de implantare ionică controlează în mod eficient timpul și costul producției de cipuri, îmbunătățind în același timp performanța și fiabilitatea cipurilor.
Da, filamentele de wolfram sunt susceptibile la contaminare în timpul procesului de implantare ionică. Contaminarea poate apărea din cauza unei varietăți de factori, cum ar fi gazele reziduale, particulele sau impuritățile prezente în camera de implantare ionică. Acești contaminanți pot adera la suprafața filamentului de tungsten, afectându-i puritatea și pot afecta performanța procesului de implantare ionică. Prin urmare, menținerea unui mediu curat și controlat în camera de implantare ionică este esențială pentru a minimiza riscul de contaminare și pentru a asigura integritatea filamentului de tungsten. Procedurile regulate de curățare și întreținere pot ajuta, de asemenea, la atenuarea potențialului de contaminare în timpul implantării ionice.
Sârma de wolfram este cunoscută pentru punctul său de topire ridicat și proprietățile mecanice excelente, care îl fac rezistent la deformare în condiții normale de implantare ionică. Cu toate acestea, căldura generată în timpul bombardamentului cu ioni de mare energie și a implantării ionilor poate provoca distorsiuni în timp, mai ales dacă parametrii procesului nu sunt controlați cu atenție.
Factori precum intensitatea și durata fasciculului de ioni și nivelul de temperatură și tensiuni experimentate de firul de wolfram pot contribui cu toții la potențialul de deformare. În plus, orice impurități sau defecte ale firului de tungsten vor exacerba susceptibilitatea la deformare.
Pentru a reduce riscul de deformare, parametrii procesului trebuie monitorizați și controlați cu atenție, trebuie asigurată puritatea și calitatea filamentului de wolfram și trebuie implementate protocoale de întreținere și inspecție adecvate pentru echipamentele de implantare ionică. Evaluarea regulată a stării și performanței firului de tungsten poate ajuta la identificarea oricăror semne de distorsiune și la luarea măsurilor corective după cum este necesar.