Há um feixe de íons de ar sério em um material sólido, o feixe de íons para átomos ou moléculas de material sólido na superfície de material sólido, esse fenômeno é chamado de pulverização catódica de feixe de íons; e quando o material sólido, a superfície do material sólido saltou para trás, ou fora do material sólido para esses fenômenos é chamado de espalhamento; há outro fenômeno é que após o feixe de íons para o material sólido por material sólido e reduzir a resistência lentamente e, finalmente, permanecer em materiais sólidos, esse fenômeno é chamado de implantação iônica.
Técnica de implantação iônica:
É um tipo de tecnologia de modificação de superfície de material que se desenvolveu rapidamente e é amplamente utilizada no mundo nos últimos 30 anos. O princípio básico é usar a energia do feixe de íons incidente na ordem de 100keV do material ao feixe de íons e os materiais dos átomos ou moléculas serão uma série de interações físicas e químicas, a perda de energia do íon incidente gradualmente, a última parada em o material e faz com que a estrutura e as propriedades da composição da superfície do material mudem. Para otimizar as propriedades superficiais dos materiais ou para obter algumas novas propriedades. A nova tecnologia devido às suas vantagens únicas, tem sido amplamente utilizada no material semicondutor dopado, metal, cerâmica, polímero, modificação de superfície, alcançou grandes benefícios econômicos e sociais.
A implantação de íons como uma importante tecnologia de dopagem na tecnologia microeletrônica desempenha um papel fundamental na otimização das propriedades superficiais dos materiais. A tecnologia de implantação de íons apresenta desempenho em temperaturas muito altas e resistência à corrosão química do material. Portanto, as partes principais da câmara de ionização são feitas de materiais de tungstênio, molibdênio ou grafite. Gemei anos de pesquisa e produção industrial por implantação iônica de material de tungstênio e molibdênio, o processo de produção tem experiência estável e rica.
Produtos quentes para implantação iônica
