د لوړ پاکوالي آیون امپلانټیشن ټنګسټن فلیمینټ
د آیون امپلانټیشن ټنګسټن تار یوه کلیدي برخه ده چې د آئن امپلانټیشن ماشینونو کې کارول کیږي ، په عمده توګه د سیمی کنډکټر تولید پروسو کې. دا ډول ټنګسټن تار د سیمیکمډکټر تجهیزاتو کې مهم رول لوبوي ، او د دې کیفیت او فعالیت په مستقیم ډول د IC پروسې لینونو موثریت اغیزه کوي. د آیون امپلانټیشن ماشین د VLSI (ډیر لوی پیمانه مدغم سرکټ) د تولید پروسې کې کلیدي تجهیزات دي ، او د آئن سرچینې په توګه د ټنګسټن تار رول له پامه غورځول کیدی نشي. د
| ابعاد | ستاسو د انځورونو په توګه |
| د اصلي ځای ځای | لوویانګ، هینان |
| د برانډ نوم | FGD |
| غوښتنلیک | سیمی کنډکټر |
| سطحه | تور پوستکی، الکلي واش، د موټر شین، پالش |
| پاکوالی | 99.95% |
| مواد | W1 |
| کثافت | 19.3g/cm3 |
| د اجرا کولو معیارونه | GB/T 4181-2017 |
| خټکی | 3400℃ |
| ناپاکۍ منځپانګه | 0.005% |
| اصلي اجزا | W <99.95% |
| ناپاکی منځپانګه≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. زموږ فابریکه د هینان ولایت په Luoyang ښار کې موقعیت لري. لوویانګ د ټنګسټن او مولیبډینم کانونو لپاره د تولید ساحه ده، نو موږ په کیفیت او قیمت کې مطلق ګټې لرو؛
2. زموږ شرکت تخنیکي پرسونل لري چې د 15 کلونو تجربه لري، او موږ د هر پیرودونکي اړتیاوو لپاره هدفي حلونه او وړاندیزونه چمتو کوو.
3. زموږ ټول محصولات د صادرولو دمخه د کیفیت سخت تفتیش څخه تیریږي.
4. که تاسو عیب لرونکي توکي ترلاسه کړئ، تاسو کولی شئ د بیرته ورکولو لپاره موږ سره اړیکه ونیسئ.
1. د خامو موادو انتخاب
(د وروستي محصول پاکوالي او میخانیکي ملکیتونو ډاډ ترلاسه کولو لپاره د لوړ کیفیت ټنګسټن خام توکي غوره کړئ.)
2. خټکی او پاکول
(ټاکل شوي ټنګسټن خام مواد په کنټرول شوي چاپیریال کې خړوب شوي ترڅو ناپاکۍ لرې کړي او مطلوب پاکوالی ترلاسه کړي.)
3. د تار رسمول
(پاک شوي ټنګسټن مواد د اړتیا وړ تار قطر او میخانیکي ملکیتونو ترلاسه کولو لپاره د یو لړ ډیزونو له لارې ایستل یا ایستل کیږي.)
4. annealing
(د ټنګسټن تار د داخلي فشار له مینځه وړو او د هغې نرموالي او پروسس کولو فعالیت ښه کولو لپاره انیل شوی)
5. د ایون امپلانټیشن پروسه
په دې ځانګړي حالت کې، د ټنګسټن فیلامینټ پخپله د آیون امپلانټریشن پروسې څخه تیریږي، په کوم کې چې آیونونه د ټنګسټن فلیمینټ سطح ته داخلیږي ترڅو د آیون امپلانټر کې د فعالیت لوړولو لپاره خپل ځانګړتیاوې بدل کړي.)
د سیمیکمډکټر چپ تولید پروسې کې ، د آئن امپلانټیشن ماشین یو له کلیدي تجهیزاتو څخه دی چې د چپ سرکټ ډیاګرام له ماسک څخه سیلیکون ویفر ته لیږدولو او د هدف چپ فعالیت ترلاسه کولو لپاره کارول کیږي. پدې پروسه کې مرحلې شاملې دي لکه کیمیاوي میخانیکي پالش کول ، د پتلي فلم زیرمه کول ، فوتو لیتوګرافي ، نقاشي ، او د آیون امپلانټیشن ، چې له دې جملې څخه د سیلیکون ویفرونو فعالیت ښه کولو لپاره د آیون امپلانټیشن یو مهم وسیله ده. د آیون امپلانټیشن ماشینونو غوښتنلیک په مؤثره توګه د چپ تولید وخت او لګښت کنټرولوي ، پداسې حال کې چې د چپس فعالیت او اعتبار ته وده ورکوي. د
هو، د ټنګسټن فلامینټونه د آیون امپلانټیشن پروسې په جریان کې د ککړتیا لپاره حساس دي. ککړتیا د مختلف فکتورونو له امله رامینځته کیدی شي ، لکه پاتې ګازونه ، ذرات ، یا د آیون امپلانټیشن چیمبر کې موجود ناپاکۍ. دا ککړونکي کولی شي د ټنګسټن فلیمینټ سطح ته غاړه کیږدي، د دې پاکوالي اغیزه کوي او په بالقوه توګه د آیون امپلانټیشن پروسې فعالیت اغیزه کوي. له همدې امله، د آیون امپلانټیشن چیمبر کې د پاک او کنټرول شوي چاپیریال ساتل د ککړتیا خطر کمولو او د ټنګسټن فلیمینټ بشپړتیا ډاډمن کولو لپاره خورا مهم دی. د پاکولو او ساتنې منظم پروسیجرونه کولی شي د آیون امپلانټیشن پرمهال د ککړتیا احتمال کمولو کې هم مرسته وکړي.
د ټنګسټن تار د خپل لوړ خټکي نقطې او غوره میخانیکي ملکیتونو لپاره پیژندل کیږي، کوم چې دا د نورمال آئن امپلانټیشن شرایطو لاندې د خرابیدو په وړاندې مقاومت کوي. په هرصورت، د لوړې انرژی ایون بمبارۍ او د آیون امپلانټیشن په جریان کې تولید شوی تودوخه کولی شي د وخت په تیریدو سره د تحریف لامل شي، په ځانګړې توګه که د پروسې پیرامیټونه په احتیاط سره کنټرول نشي.
فکتورونه لکه د آئن بیم شدت او موده او د تودوخې او فشار کچه چې د ټنګسټن تار لخوا تجربه کیږي ټول کولی شي د خرابیدو احتمال کې مرسته وکړي. برسیره پردې، په ټنګسټن تار کې هر ډول ناپاکۍ یا نیمګړتیاوې به د خرابیدو حساسیت زیات کړي.
د خرابیدو خطر کمولو لپاره ، د پروسې پیرامیټونه باید په دقت سره وڅیړل شي او کنټرول شي ، د ټنګسټن فلیمینټ پاکوالی او کیفیت باید ډاډمن شي ، او د آیون امپلانټیشن تجهیزاتو لپاره د ساتنې او تفتیش مناسب پروتوکولونه باید پلي شي. په منظمه توګه د ټنګسټن تار د حالت او فعالیت ارزونه کولی شي د تحریف نښې پیژندلو کې مرسته وکړي او د اړتیا په صورت کې اصلاحي اقدام وکړي.
