Wiązka jonów powietrza dociera do materiału stałego, a atomy lub cząsteczki materiału stałego do powierzchni materiału stałego. Zjawisko to nazywa się rozpylaniem wiązką jonów; a kiedy materiał stały, powierzchnia materiału stałego odbiła się lub wyszła z materiału stałego, zjawisko to nazywa się rozpraszaniem; innym zjawiskiem jest to, że po wiązce jonów do materiału stałego przez materiał stały i powolnym zmniejszeniu oporu, ostatecznie pozostając w materiałach stałych, zjawisko to nazywa się implantacją jonów.
Technika implantacji jonów:
Jest rodzajem technologii modyfikacji powierzchni materiałów, która rozwinęła się szybko i jest szeroko stosowana na świecie w ciągu ostatnich 30 lat. Podstawową zasadą jest wykorzystanie energii wiązki jonów padającej rzędu 100keV materiał na wiązkę jonów, a materiały atomów lub cząsteczek będą serią oddziaływań fizycznych i chemicznych, przy czym padająca energia jonów stopniowo traci energię, ostatni przystanek w materiału i powodują zmianę struktury i właściwości składu powierzchni materiału. W celu optymalizacji właściwości powierzchni materiałów lub uzyskania nowych właściwości. Nowa technologia, ze względu na swoje unikalne zalety, została zastosowana w domieszkowanym materiale półprzewodnikowym, metalu, ceramice, polimerze, modyfikacja powierzchni jest szeroko stosowana, przyniosła ogromne korzyści ekonomiczne i społeczne.
Implantacja jonowa jako ważna technologia domieszkująca w technologii mikroelektronicznej odgrywa kluczową rolę w optymalizacji właściwości powierzchniowych materiałów. Technologia implantacji jonowej to bardzo wysoka wydajność temperaturowa i odporność materiału na korozję chemiczną. Dlatego główne części komory jonizacyjnej wykonane są z materiałów wolframowych, molibdenowych lub grafitowych. Dzięki latach badań branżowych i produkcji poprzez implantację jonów materiału wolframowo-molibdenowego, proces produkcyjny ma stabilne i bogate doświadczenie.
Gorące produkty do implantacji jonów
