Tarcza do napylania tytanu o wysokiej czystości do powlekania próżniowego
Cele napylania to materiały o wysokiej czystości stosowane w procesach fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD), w szczególności w technologii napylania katodowego. Materiały te są wykorzystywane do tworzenia cienkich warstw na podłożach w różnych gałęziach przemysłu, w tym w produkcji półprzewodników, powłokach optycznych i osadzaniu cienkich warstw w urządzeniach elektronicznych.
Materiały docelowe do napylania mogą być wykonane z różnych pierwiastków i związków, w tym metali, stopów, tlenków i azotków. Wybór materiału docelowego do napylania zależy od konkretnych właściwości wymaganych dla cienkowarstwowej powłoki, takich jak przewodność elektryczna, właściwości optyczne, twardość i odporność chemiczna.
Typowe cele rozpylania obejmują metale, takie jak tytan, aluminium i miedź, a także związki, takie jak tlenek indu i cyny (ITO) i różne tlenki metali. Wybór odpowiedniego materiału docelowego do napylania ma kluczowe znaczenie dla osiągnięcia pożądanych właściwości i wydajności powłok cienkowarstwowych.
Cele do napylania są dostępne w różnych rozmiarach, w zależności od konkretnych wymagań procesu osadzania cienkowarstwowego i sprzętu do napylania. Rozmiar celu rozpylającego może mieć średnicę od kilku centymetrów do kilkudziesięciu centymetrów, a grubość może się również różnić.
Wielkość tarczy do napylania jest określana przez takie czynniki, jak wielkość powlekanego podłoża, konfiguracja układu napylania oraz pożądana szybkość i jednorodność osadzania. Dodatkowo na wielkość tarczy do napylania mogą mieć wpływ specyficzne wymagania aplikacji cienkowarstwowej, takie jak obszar do pokrycia i ogólne parametry procesu.
Ostatecznie rozmiar tarczy napylającej dobiera się tak, aby zapewnić wydajne i równomierne osadzanie folii na podłożu, spełniając specyficzne potrzeby procesu powlekania cienkowarstwowego w produkcji półprzewodników, powłok optycznych i innych powiązanych zastosowaniach.
Istnieje kilka sposobów zwiększenia szybkości napylania w procesie napylania:
1. Optymalizacja mocy i ciśnienia: Dostosowanie parametrów mocy i ciśnienia w systemie napylania może mieć wpływ na szybkość napylania. Zwiększenie mocy i optymalizacja warunków ciśnienia może zwiększyć szybkość rozpylania, co prowadzi do szybszego osadzania cienkiej warstwy.
2. Materiał tarczy i geometria: Stosowanie tarcz napylających o zoptymalizowanym składzie materiału i geometrii może poprawić szybkość napylania. Wysokiej jakości, dobrze zaprojektowane tarcze do napylania mogą zwiększyć wydajność napylania i prowadzić do wyższych szybkości osadzania.
3. Przygotowanie powierzchni docelowej: Właściwe czyszczenie i kondycjonowanie powierzchni docelowej do napylania może przyczynić się do zwiększenia szybkości napylania. Zapewnienie, że powierzchnia docelowa jest wolna od zanieczyszczeń i tlenków, może poprawić skuteczność rozpylania.
4. Temperatura podłoża: Kontrolowanie temperatury podłoża może mieć wpływ na szybkość rozpylania. W niektórych przypadkach podniesienie temperatury podłoża w pewnym zakresie może prowadzić do zwiększenia szybkości rozpylania i poprawy jakości folii.
5. Przepływ i skład gazu: Optymalizacja przepływu i składu gazu w komorze napylania może wpłynąć na szybkość napylania. Dostosowanie natężenia przepływu gazu i zastosowanie odpowiednich mieszanin gazów do rozpylania może zwiększyć wydajność procesu rozpylania.
Dokładne rozważenie tych czynników i optymalizacja parametrów procesu napylania umożliwia zwiększenie szybkości napylania i poprawę ogólnej wydajności osadzania cienkowarstwowego w zastosowaniach napylania.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
