Włókno wolframowe o wysokiej czystości do implantacji jonów
Drut wolframowy do implantacji jonów jest kluczowym elementem stosowanym w maszynach do implantacji jonów, głównie w procesach produkcji półprzewodników. Ten typ drutu wolframowego odgrywa ważną rolę w sprzęcie półprzewodnikowym, a jego jakość i wydajność bezpośrednio wpływają na wydajność linii technologicznych układów scalonych. Maszyna do implantacji jonów jest kluczowym sprzętem w procesie produkcyjnym VLSI (ang. Very Large Scale Integrated Circuit), dlatego nie można ignorować roli drutu wolframowego jako źródła jonów.
| Wymiary | Jak Twoje rysunki |
| Miejsce pochodzenia | Luoyang, Henan |
| Nazwa marki | IOS |
| Aplikacja | półprzewodnik |
| Powierzchnia | Czarna skóra, mycie alkaliczne, nabłyszczanie samochodu, polerowanie |
| Czystość | 99,95% |
| Tworzywo | W1 |
| Gęstość | 19,3 g/cm3 |
| Standardy wykonania | GB/T 4181-2017 |
| Temperatura topnienia | 3400 ℃ |
| Zawartość zanieczyszczeń | 0,005% |
| Główne komponenty | W > 99,95% |
| Zawartość zanieczyszczeń≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Nasza fabryka znajduje się w mieście Luoyang w prowincji Henan. Luoyang to obszar produkcyjny kopalni wolframu i molibdenu, dlatego mamy absolutną przewagę pod względem jakości i ceny;
2. Nasza firma posiada personel techniczny z ponad 15-letnim doświadczeniem i zapewnia ukierunkowane rozwiązania i sugestie na potrzeby każdego klienta.
3. Wszystkie nasze produkty przed eksportem przechodzą ścisłą kontrolę jakości.
4. Jeśli otrzymasz wadliwy towar, możesz skontaktować się z nami w celu uzyskania zwrotu pieniędzy.
1. Wybór surowca
(Wybierz wysokiej jakości surowce wolframowe, aby zapewnić czystość i właściwości mechaniczne produktu końcowego.)
2. Topienie i oczyszczanie
(Wybrane surowce wolframowe są topione w kontrolowanym środowisku w celu usunięcia zanieczyszczeń i osiągnięcia pożądanej czystości.)
3. Ciągnienie drutu
(Oczyszczony materiał wolframowy jest wytłaczany lub przeciągany przez szereg matryc w celu uzyskania wymaganej średnicy drutu i właściwości mechanicznych.)
4.Wyżarzanie
(Ciągniony drut wolframowy jest wyżarzany w celu wyeliminowania naprężeń wewnętrznych oraz poprawy jego ciągliwości i wydajności przetwarzania)
5. Proces implantacji jonów
W tym konkretnym przypadku samo włókno wolframowe może zostać poddane procesowi implantacji jonów, podczas którego jony są wtryskiwane na powierzchnię włókna wolframowego w celu zmiany jego właściwości i zwiększenia wydajności implantera jonów.)
W procesie produkcji chipów półprzewodnikowych maszyna do implantacji jonów jest jednym z kluczowych urządzeń używanych do przeniesienia schematu obwodu chipa z maski na płytkę krzemową i osiągnięcia docelowej funkcji chipa. Proces ten obejmuje takie etapy, jak polerowanie chemiczno-mechaniczne, osadzanie cienkich warstw, fotolitografia, trawienie i implantacja jonów, wśród których implantacja jonów jest jednym z ważnych sposobów poprawy wydajności płytek krzemowych. Zastosowanie maszyn do implantacji jonów skutecznie kontroluje czas i koszt produkcji chipów, poprawiając jednocześnie wydajność i niezawodność chipów.
Tak, włókna wolframowe są podatne na zanieczyszczenia podczas procesu implantacji jonów. Zanieczyszczenie może nastąpić na skutek różnych czynników, takich jak resztkowe gazy, cząstki lub zanieczyszczenia obecne w komorze implantacji jonów. Zanieczyszczenia te mogą przylegać do powierzchni włókna wolframowego, wpływając na jego czystość i potencjalnie wpływając na wydajność procesu implantacji jonów. Dlatego utrzymanie czystego i kontrolowanego środowiska w komorze implantacji jonów ma kluczowe znaczenie dla zminimalizowania ryzyka zanieczyszczenia i zapewnienia integralności włókna wolframowego. Regularne procedury czyszczenia i konserwacji mogą również pomóc w zmniejszeniu ryzyka zanieczyszczenia podczas implantacji jonów.
Drut wolframowy znany jest z wysokiej temperatury topnienia i doskonałych właściwości mechanicznych, dzięki czemu jest odporny na odkształcenia w normalnych warunkach implantacji jonów. Jednakże ciepło wytwarzane podczas bombardowania jonami o wysokiej energii i implantacji jonów może z czasem powodować zniekształcenia, zwłaszcza jeśli parametry procesu nie są dokładnie kontrolowane.
Czynniki takie jak intensywność i czas trwania wiązki jonów oraz temperatura i poziom naprężeń działających na drut wolframowy mogą przyczyniać się do potencjalnej deformacji. Dodatkowo wszelkie zanieczyszczenia lub wady drutu wolframowego zwiększają podatność na odkształcenia.
Aby zmniejszyć ryzyko odkształcenia, należy dokładnie monitorować i kontrolować parametry procesu, zapewnić czystość i jakość żarnika wolframowego oraz wdrożyć odpowiednie protokoły konserwacji i kontroli sprzętu do implantacji jonów. Regularna ocena stanu i wydajności drutu wolframowego może pomóc w zidentyfikowaniu wszelkich oznak zniekształceń i w razie potrzeby podjąć działania naprawcze.
