Sputter måler materialer som brukes til å avsette tynne filmer på underlag under prosessen med fysisk dampavsetning (PVD).Målmaterialet blir bombardert med høyenergi-ioner, noe som fører til at atomer blir kastet ut fra måloverflaten.Disse sprayede atomene avsettes deretter på et substrat og danner en tynn film.Sputtering-mål brukes ofte i produksjon av halvledere, solceller og andre elektroniske enheter.De er vanligvis laget av metaller, legeringer eller forbindelser som velges basert på de ønskede egenskapene til den avsatte filmen.

Sputteringsprosessen påvirkes av flere parametere, inkludert:

1. Sputterkraft: Mengden kraft som tilføres under sputterprosessen vil påvirke energien til de sputterede ionene, og dermed påvirke sputteringshastigheten.

2. Sputteringsgasstrykk: Trykket til sputtergassen i kammeret påvirker momentumoverføringen av sputterede ioner, og påvirker derved sputteringshastigheten og filmytelsen.

3. Målegenskaper: De fysiske og kjemiske egenskapene til sputtermålet, slik som sammensetning, hardhet, smeltepunkt, etc., kan påvirke sputteringsprosessen og ytelsen til den avsatte filmen.

4. Avstanden mellom målet og substratet: Avstanden mellom sprutmålet og substratet vil påvirke banen og energien til de sprutede atomene, og dermed påvirke avsetningshastigheten og jevnheten til filmen.

5. Effekttetthet: Effekttettheten som påføres måloverflaten påvirker sputteringshastigheten og effektiviteten til sputterprosessen.

Ved nøye å kontrollere og optimalisere disse parameterne, kan sputterprosessen skreddersys for å oppnå ønskede filmegenskaper og avsetningshastigheter.