Høy renhet Ionimplantasjon wolframfilament
Ioneimplantasjon wolframtråd er en nøkkelkomponent som brukes i ionimplantasjonsmaskiner, hovedsakelig i halvlederproduksjonsprosesser. Denne typen wolframtråd spiller en viktig rolle i halvlederutstyr, og dens kvalitet og ytelse påvirker direkte effektiviteten til IC-prosesslinjer. Ioneimplantasjonsmaskin er et nøkkelutstyr i produksjonsprosessen til VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), og rollen til wolframtråd som ionekilde kan ikke ignoreres.
Dimensjoner | Som dine tegninger |
Opprinnelsessted | Luoyang, Henan |
Merkenavn | FGD |
Søknad | halvleder |
Flate | Svart hud, alkalisk vask, bilglans, polert |
Renhet | 99,95 % |
Materiale | W1 |
Tetthet | 19,3 g/cm3 |
Utførelsesstandarder | GB/T 4181-2017 |
Smeltepunkt | 3400 ℃ |
Urenhetsinnhold | 0,005 % |
Hovedkomponenter | W>99,95 % |
Urenhetsinnhold≤ | |
Pb | 0,0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0,0005 |
C | 0,01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. Vår fabrikk ligger i Luoyang City, Henan-provinsen. Luoyang er et produksjonsområde for wolfram- og molybdengruver, så vi har absolutte fordeler i kvalitet og pris;
2. Vårt firma har teknisk personell med over 15 års erfaring, og vi gir målrettede løsninger og forslag til hver enkelt kundes behov.
3. Alle våre produkter gjennomgår streng kvalitetskontroll før de eksporteres.
4. Hvis du mottar defekte varer, kan du kontakte oss for refusjon.
1.Råvarevalg
(Velg høykvalitets wolframråmaterialer for å sikre renheten og de mekaniske egenskapene til sluttproduktet. )
2. Smelting og rensing
(Utvalgte wolframråvarer smeltes i et kontrollert miljø for å fjerne urenheter og oppnå ønsket renhet.)
3. Trådtegning
(Renset wolframmateriale ekstruderes eller trekkes gjennom en serie dyser for å oppnå nødvendig tråddiameter og mekaniske egenskaper.)
4.Gløding
(Den trukket wolframtråd er glødet for å eliminere indre stress og forbedre dens duktilitet og prosessytelse )
5. Ioneimplantasjonsprosess
I dette spesielle tilfellet kan wolframfilamentet i seg selv gjennomgå en ioneimplantasjonsprosess, der ioner injiseres inn i overflaten av wolframfilamentet for å endre egenskapene for å forbedre ytelsen i ioneimplantatoren.)
I produksjonsprosessen for halvlederbrikke er ionimplantasjonsmaskin et av nøkkelutstyret som brukes til å overføre brikkekretsdiagrammet fra masken til silisiumplaten og oppnå målbrikkefunksjonen. Denne prosessen inkluderer trinn som kjemisk mekanisk polering, tynnfilmavsetning, fotolitografi, etsing og ioneimplantasjon, blant annet ioneimplantasjon er et av de viktige virkemidlene for å forbedre ytelsen til silisiumskiver. Anvendelsen av ioneimplantasjonsmaskiner kontrollerer effektivt tiden og kostnadene for brikkeproduksjon, samtidig som ytelsen og påliteligheten til brikkene forbedres.
Ja, wolframfilamenter er mottakelige for forurensning under ioneimplantasjonsprosessen. Kontaminering kan oppstå på grunn av en rekke faktorer, for eksempel gjenværende gasser, partikler eller urenheter i ioneimplantasjonskammeret. Disse forurensningene kan feste seg til overflaten av wolframfilamentet, påvirke renheten og potensielt påvirke ytelsen til ioneimplantasjonsprosessen. Derfor er det avgjørende å opprettholde et rent og kontrollert miljø i ioneimplantasjonskammeret for å minimere risikoen for kontaminering og sikre integriteten til wolframfilamentet. Regelmessige rengjørings- og vedlikeholdsprosedyrer kan også bidra til å redusere potensialet for kontaminering under ioneimplantasjon.
Wolframtråd er kjent for sitt høye smeltepunkt og utmerkede mekaniske egenskaper, som gjør den motstandsdyktig mot deformasjon under normale ioneimplantasjonsforhold. Imidlertid kan varmen som genereres under høyenergiionebombardement og ioneimplantasjon forårsake forvrengning over tid, spesielt hvis prosessparametere ikke er nøye kontrollert.
Faktorer som intensiteten og varigheten til ionestrålen og temperatur- og spenningsnivåene som oppleves av wolframtråden kan alle bidra til potensialet for deformasjon. I tillegg vil eventuelle urenheter eller defekter i wolframtråden forverre mottakelighet for deformasjon.
For å redusere risikoen for deformasjon må prosessparametere overvåkes og kontrolleres nøye, renheten og kvaliteten til wolframfilamentet må sikres, og passende vedlikeholds- og inspeksjonsprotokoller må implementeres for ioneimplantasjonsutstyret. Regelmessig vurdering av tilstanden og ytelsen til wolframtråd kan bidra til å identifisere tegn på forvrengning og iverksette korrigerende tiltak etter behov.