ठोस पदार्थमा गम्भीर वायु आयन बीम हुन्छ, ठोस पदार्थको सतहमा आयन बीम वा अणुहरू ठोस पदार्थ सतहमा हुन्छन्, यो घटनालाई आयन बीम स्पटरिङ भनिन्छ; र जब ठोस पदार्थ, ठोस पदार्थको सतह पछाडि उछालियो, वा यी घटनाहरूमा ठोस पदार्थ बाहिर निस्कनुलाई स्क्याटरिङ भनिन्छ; त्यहाँ अर्को घटना छ कि ठोस पदार्थ द्वारा ठोस पदार्थमा आयन बीम पछि र प्रतिरोध बिस्तारै कम हुन्छ, र अन्ततः ठोस पदार्थहरूमा रहन्छ, यो घटनालाई आयन प्रत्यारोपण भनिन्छ।
आयन प्रत्यारोपण प्रविधि:
यो एक प्रकारको भौतिक सतह परिमार्जन प्रविधि हो जुन गत 30 वर्षमा विश्वमा द्रुत र व्यापक रूपमा प्रयोग भएको छ। आधारभूत सिद्धान्त आयन किरण घटना को ऊर्जा 100keV सामाग्री को आयन किरण को क्रम मा प्रयोग गर्न को लागी छ र परमाणुहरु वा अणुहरु को सामग्रीहरु को भौतिक र रासायनिक अन्तरक्रिया को एक श्रृंखला हुनेछ, घटना आयन ऊर्जा को बिस्तारै हानि, मा अन्तिम स्टप सामाग्री, र भौतिक सतह संरचना को संरचना र गुणहरु को कारण, परिवर्तन। सामग्रीको सतह गुणहरू अनुकूलन गर्न, वा केही नयाँ गुणहरू प्राप्त गर्न। नयाँ प्रविधिको कारणले गर्दा यसको अद्वितीय फाइदाहरू, डोप गरिएको सेमीकन्डक्टर सामग्रीमा भएको छ, धातु, सिरेमिक, पोलिमर, सतह परिमार्जन व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, ठूलो आर्थिक र सामाजिक लाभहरू हासिल गरेको छ।
माइक्रो इलेक्ट्रोनिक टेक्नोलोजीमा एक महत्त्वपूर्ण डोपिङ टेक्नोलोजीको रूपमा आयन इम्प्लान्टेशनले सामग्रीको सतह गुणहरू अनुकूलन गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। आयन इम्प्लान्टेशन टेक्नोलोजी धेरै उच्च तापमान प्रदर्शन र सामग्रीको रासायनिक जंग प्रतिरोधको प्रतिरोध हो। त्यसकारण, आयनीकरण कक्षका मुख्य भागहरू टंगस्टन, मोलिब्डेनम वा ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेका हुन्छन्। टंगस्टन मोलिब्डेनम सामाग्री को आयन प्रत्यारोपण द्वारा उद्योग अनुसन्धान र उत्पादन को Gemei वर्ष, उत्पादन प्रक्रिया स्थिर र समृद्ध अनुभव छ।